1.一種應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其包括：
安裝靶材(11)的基座零件(12)；
發(fā)出激光束濺射靶材(11)的激光器(16)；
其特征在于：其還包括：
安裝激光器(16)且驅(qū)動(dòng)激光器(16)升降的升降臺(tái)(17)；
將該激光束反射至靶材(11)的激光濺射作用區(qū)上的反射鏡(14)；
安裝反射鏡(14)且驅(qū)動(dòng)反射鏡(14)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)臺(tái)(15)，反射鏡(14)的旋轉(zhuǎn)面垂直于激光器(16)的升降軌跡。
2.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其特征在于：反射鏡(14)的旋轉(zhuǎn)角度范圍為[－θ,θ]，當(dāng)反射鏡(14)的旋轉(zhuǎn)角度為0時(shí)，該激光束從激光器(16)到反射鏡(14)再到靶材(11)的總光程等于該激光束的焦距，當(dāng)反射鏡(14)的旋轉(zhuǎn)角度分別為－θ和θ時(shí)，該激光束分別濺射在靶材(11)的激光濺射作用區(qū)的水平寬度方向的相對(duì)兩側(cè)上。
3.如權(quán)利要求2所述的應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其特征在于：升降臺(tái)(17)的升降高度范圍滿足該激光束的濺射能覆蓋靶材(11)的激光濺射作用區(qū)的整個(gè)垂直高度。
4.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其特征在于：反射鏡(14)的安裝角度滿足反射鏡(14)的初始位置與該激光束成45度夾角。
5.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其特征在于：通過(guò)控制旋轉(zhuǎn)臺(tái)(15)和升降臺(tái)(17)的前后啟動(dòng)順序以及運(yùn)行時(shí)間，使該激光束采用行列掃描方式在靶材(11)上完成整個(gè)激光濺射作用區(qū)的濺射、或采用旋渦掃描方式在靶材(11)上完成整個(gè)激光濺射作用區(qū)的濺射。
6.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其特征在于：該激光掃描裝置還包括安裝在基座零件(12)上的光窗(13)，該激光束透過(guò)光窗(13)濺射在靶材(11)上。
7.如權(quán)利要求6所述的應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其特征在于：該激光掃描裝置還包括壓環(huán)一(18)，光窗(13)通過(guò)壓環(huán)一(18)安裝在基座零件(12)上。
8.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其特征在于：該激光掃描裝置還包括壓環(huán)二(19)，靶材(11)通過(guò)壓環(huán)二(19)安裝在基座零件(12)上。
9.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其特征在于：旋轉(zhuǎn)臺(tái)(15)為利用步進(jìn)電機(jī)控制蝸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)蝸輪轉(zhuǎn)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)安裝在該蝸輪上的平臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的電控旋轉(zhuǎn)臺(tái)，反射鏡(14)安裝在該平臺(tái)上。
10.如權(quán)利要求1所述的應(yīng)用于激光濺射離子源的激光掃描裝置，其特征在于：升降臺(tái)(17)為利用步進(jìn)電機(jī)控制滾珠絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)，從而驅(qū)動(dòng)安裝在該滾珠絲杠上的螺母上的楔形塊推動(dòng)安裝臺(tái)面進(jìn)行上下升降的電控升降臺(tái)，激光器(16)安裝在該安裝臺(tái)面上。