本實(shí)用新型涉及拉曼光譜技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種拉曼光譜面成像設(shè)備。

背景技術(shù)：

拉曼光譜作為一種無(wú)損的、指紋性的檢測(cè)方法已經(jīng)廣泛應(yīng)用在科研、生產(chǎn)和生活領(lǐng)域,而圖像可以給人提供直觀的、形象的空間分布信息。拉曼光譜成像技術(shù)集成了光譜和圖像兩者的優(yōu)點(diǎn)，可以通過(guò)圖像的方式表達(dá)出樣品化學(xué)成分空間分布的信息，不僅形象直觀，而且完整的包含了樣品的分子結(jié)構(gòu)信息，特別適合分析具有微納結(jié)構(gòu)的樣品。傳統(tǒng)拉曼光譜儀通過(guò)固定波長(zhǎng)的激光激發(fā)樣品上的一點(diǎn)、單色儀分光、線(xiàn)陣列CCD(Charge-coupled Device，電荷耦合元件)接收的檢測(cè)方式，通過(guò)逐點(diǎn)或線(xiàn)掃描實(shí)現(xiàn)拉曼光譜成像，成像分辨率低且成像速度慢。

成像分辨率低及成像速度慢是限制拉曼光譜成像技術(shù)廣泛應(yīng)用的瓶頸問(wèn)題。成像分辨率是成像技術(shù)最重要的參數(shù)之一，分辨率低的圖像不能很好的反應(yīng)出樣品的真實(shí)狀況。而成像速度慢(一般數(shù)十分鐘甚至數(shù)十小時(shí))則對(duì)儀器和樣品穩(wěn)定性要求極高，使拉曼成像技術(shù)難以實(shí)用化。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種拉曼光譜面成像設(shè)備，能夠有效地提高拉曼光譜成像的空間分辨率和成像速度。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案如下：

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種拉曼光譜面成像設(shè)備，包括激光產(chǎn)生裝置、濾光裝置以及面陣檢測(cè)器。所述激光產(chǎn)生裝置發(fā)出的激光光束以面照明的方式照射到樣品表面的預(yù)設(shè)區(qū)域，所述樣品在所述激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光入射到所述濾光裝置，經(jīng)所述濾光裝置選通后成像到所述面陣檢測(cè)器，被所述面陣檢測(cè)器接收，其中，所述激光產(chǎn)生裝置的輸出波長(zhǎng)可調(diào)。

進(jìn)一步的，上述濾光裝置包括帶通濾光片和法布里-珀羅干涉器，所述法布里-珀羅干涉器設(shè)置于所述帶通濾光片與所述面陣檢測(cè)器之間，所述樣品在所述激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光入射到所述帶通濾光片，經(jīng)所述帶通濾光片的選通后入射到所述法布里-珀羅干涉器，由所述法布里-珀羅干涉器出射后成像到所述面陣檢測(cè)器，其中，所述法布里-珀羅干涉器的自由光譜范圍大于所述帶通濾光片帶通寬度的一半。通過(guò)在檢測(cè)光路上設(shè)置法布里-珀羅干涉器大幅提高光譜分辨率，從而實(shí)現(xiàn)兼?zhèn)涓吖庾V分辨率和空間分辨率的拉曼光譜快速成像，有利于檢測(cè)具有復(fù)雜拉曼光譜的樣品，發(fā)揮拉曼光譜的指紋特征的優(yōu)勢(shì)。

進(jìn)一步的，上述帶通濾光片為窄帶濾光片。

進(jìn)一步的，入射到所述窄帶濾光片的拉曼散射光的入射角可調(diào)。

進(jìn)一步的，上述帶通濾光片為固定中心波長(zhǎng)的帶通濾光片。

進(jìn)一步的，上述濾光裝置還包括長(zhǎng)通濾光片，所述樣品在所述激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光依次經(jīng)所述長(zhǎng)通濾光片、所述帶通濾光片、所述法布里-珀羅干涉器后成像到所述面陣檢測(cè)器。

進(jìn)一步的，上述激光產(chǎn)生裝置包括可調(diào)諧激光器以及擴(kuò)束鏡，所述可調(diào)諧激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)所述擴(kuò)束鏡的擴(kuò)束后照射到所述樣品表面，所述面照明的方式為科勒式或臨界式或散焦形式的面照明方式。

進(jìn)一步的，上述拉曼光譜面成像設(shè)備還包括會(huì)聚透鏡以及物鏡，所述可調(diào)諧激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)所述擴(kuò)束鏡的擴(kuò)束后，依次經(jīng)過(guò)所述會(huì)聚透鏡和所述物鏡后照射到所述樣品表面。

進(jìn)一步的，上述拉曼光譜面成像設(shè)備還包括二向色鏡，所述激光產(chǎn)生裝置發(fā)出的激光光束入射到所述二向色鏡，經(jīng)所述二向色鏡反射后照射到樣品表面的預(yù)設(shè)區(qū)域，所述樣品在所述激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光入射到所述二向色鏡，透過(guò)所述二向色鏡后入射到所述濾光裝置。

進(jìn)一步的，上述激光產(chǎn)生裝置的輸出波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)。

相比于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的拉曼光譜面成像設(shè)備中，激光產(chǎn)生裝置輸出的激光光束以面照明方式照射在樣品的預(yù)設(shè)區(qū)域，所產(chǎn)生的拉曼散射光經(jīng)濾光裝置進(jìn)行光譜選通后成像到面陣檢測(cè)器，直接得到樣品表面預(yù)設(shè)區(qū)域的拉曼光譜圖像，采用這種面激發(fā)、面成像的方式有效地提高了拉曼光譜成像的成像速度以及成像空間分辨率。此外，通過(guò)調(diào)節(jié)激光產(chǎn)生裝置的輸出波長(zhǎng)，能夠在不切換濾光裝置的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品拉曼位移的選擇和連續(xù)掃描，適用于檢測(cè)不同物質(zhì)的拉曼光譜成像。

為使本實(shí)用新型的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種拉曼光譜面成像設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為窄帶濾光片的透射光譜示意圖；

圖3為法-珀干涉器的透射光譜示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例中法-珀干涉器與窄帶濾光片配合使用時(shí)的透射光譜示意圖。

圖中：10-拉曼光譜面成像設(shè)備；110-激光產(chǎn)生裝置；111-可調(diào)諧激光器；112-擴(kuò)束鏡；113-短通濾光片；114-第一反射鏡；115-第二反射鏡；120-會(huì)聚透鏡；130-二向色鏡；140-物鏡；150-濾光裝置；151-窄帶濾光片；152-法-珀干涉器；153-長(zhǎng)通濾光片；160-成像透鏡；170-面陣檢測(cè)器；20-樣品。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。通常在此處附圖中描述和示出的本實(shí)用新型實(shí)施例的組件可以以各種不同的配置來(lái)布置和設(shè)計(jì)。因此，以下對(duì)在附圖中提供的本實(shí)用新型的實(shí)施例的詳細(xì)描述并非旨在限制要求保護(hù)的本實(shí)用新型的范圍，而是僅僅表示本實(shí)用新型的選定實(shí)施例。應(yīng)注意到：相似的標(biāo)號(hào)和字母在下面的附圖中表示類(lèi)似項(xiàng)，因此，一旦某一項(xiàng)在一個(gè)附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“前”、“后”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，或者是該實(shí)用新型產(chǎn)品使用時(shí)慣常擺放的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”等僅用于區(qū)分描述，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

在本實(shí)用新型的描述中，還需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“設(shè)置”應(yīng)做廣義理解。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。

如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種拉曼光譜面成像設(shè)備10，包括激光產(chǎn)生裝置110、濾光裝置150以及面陣檢測(cè)器170。激光產(chǎn)生裝置110發(fā)出的激光光束以面照明的方式照射到樣品20表面的預(yù)設(shè)區(qū)域，該樣品20在激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光入射到濾光裝置150，經(jīng)濾光裝置150選通后成像到面陣檢測(cè)器170，被面陣檢測(cè)器170接收。需要說(shuō)明的是，圖1中帶箭頭的實(shí)線(xiàn)用于示意光束的傳輸方向。

不同于傳統(tǒng)的拉曼光譜儀通過(guò)固定波長(zhǎng)的激光激發(fā)樣品20上的某一點(diǎn)或線(xiàn)，本實(shí)用新型實(shí)施例中，激光產(chǎn)生裝置110發(fā)出的激光光束照射到樣品20表面的預(yù)設(shè)區(qū)域，該預(yù)設(shè)區(qū)域的具體面積即本拉曼光譜面成像設(shè)備10的視場(chǎng)面積可以根據(jù)需要設(shè)計(jì)。例如，該預(yù)設(shè)區(qū)域可以為一個(gè)方形區(qū)域或圓形區(qū)域。本實(shí)施例中，將這種激發(fā)方式定義為面激發(fā)方式，結(jié)合面陣檢測(cè)器170，能夠直接得到樣品20表面預(yù)設(shè)區(qū)域的拉曼光譜圖像，有效地提高了拉曼光譜成像的成像速度以及成像空間分辨率。

本實(shí)施例中，激光產(chǎn)生裝置110用于輸出激發(fā)光，其輸出波長(zhǎng)可調(diào)。優(yōu)選的，其輸出波長(zhǎng)連續(xù)可調(diào)。具體的，激光產(chǎn)生裝置110可以包括可調(diào)諧激光器111。其中，可調(diào)諧激光器111可以是但不局限于是染料激光器、半導(dǎo)體激光器、Ti藍(lán)寶石激光器、準(zhǔn)分子激光器等連續(xù)輸出或脈沖輸出的波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器111中的任意一種。

為了增加可調(diào)諧激光器111發(fā)出的激光光束的直徑，激光產(chǎn)生裝置110還包括擴(kuò)束鏡112，用于對(duì)可調(diào)諧激光器111發(fā)出的激光光束進(jìn)行擴(kuò)束。

為了抑制熒光背底等影響拉曼成像效果，上述激光產(chǎn)生裝置110還可以包括短通濾光片113，可調(diào)諧激光器111發(fā)出的激光經(jīng)過(guò)短通濾光片113濾光，去除熒光背底等影響拉曼成像的雜散光。例如，短通濾光片113可以設(shè)置在可調(diào)諧激光器111與擴(kuò)束鏡112之間。

考慮到激光產(chǎn)生裝置110空間布局的合理性，激光產(chǎn)生裝置110還可以包括第一反射鏡114和第二反射鏡115，如圖1所示。可調(diào)諧激光器111發(fā)出的激光經(jīng)第一反射鏡114和第二反射鏡115反射到擴(kuò)束鏡112，此時(shí)，可以將上述短通濾光片113設(shè)置在第一反射鏡114和第二反射鏡115之間的光傳播路徑上。

為了使得經(jīng)過(guò)擴(kuò)束的激光光束均勻的照射到樣品20上，如圖1所示，本拉曼光譜面成像設(shè)備10還可以包括會(huì)聚透鏡120以及物鏡140。可調(diào)諧激光器111發(fā)出的激光光束經(jīng)擴(kuò)束鏡112的擴(kuò)束后，入射到會(huì)聚透鏡120。會(huì)聚透鏡120將入射的激光光束投射到物鏡140的后焦平面，使得激光均勻照射到樣品20表面。照在樣品20上的激發(fā)光的能量分布均勻，有利于拉曼成像。當(dāng)然，除了上述利用會(huì)聚透鏡120和物鏡140實(shí)現(xiàn)的科勒照明方式以外，本實(shí)施例也可以采用其他的面照明方式使得激光光束照射到樣品20上，例如，光纖照明方式、臨界照明方式、散焦形式的面照明方式等。

基于上述內(nèi)容，本實(shí)施例通過(guò)擴(kuò)束鏡112、會(huì)聚透鏡120以及物鏡140形成的激發(fā)光路使得可調(diào)諧激光器111發(fā)出的激光光束均勻入射到樣品20表面，樣品20被激發(fā)產(chǎn)生的拉曼信號(hào)，成像到面陣檢測(cè)器170上、被面陣檢測(cè)器170接收。

需要進(jìn)一步說(shuō)明的是，拉曼散射光的接收光路與上述激發(fā)光路可以相互獨(dú)立，也可以共用部分元件。本實(shí)用新型優(yōu)選實(shí)施例中，為了優(yōu)化設(shè)備的光路結(jié)構(gòu)，接收光路與激發(fā)光路可以共用物鏡140。此時(shí)，本拉曼光譜面成像設(shè)備還可以包括二向色鏡130，二向色鏡130起到反射激光光束，透過(guò)拉曼散射光的作用，可使得接收光路與激發(fā)光路共用物鏡140分別實(shí)現(xiàn)激發(fā)和檢測(cè)。也就是說(shuō)，通過(guò)設(shè)置二向色鏡130，使得激發(fā)光路的光軸與接收光路的光軸重合。如圖1所示，擴(kuò)束后的激光光束經(jīng)會(huì)聚透鏡120后入射到二向色鏡130，經(jīng)二向色鏡130反射后經(jīng)物鏡140照射到樣品20表面。樣品20在激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的部分拉曼散射光經(jīng)物鏡140入射到二向色鏡130。透過(guò)二向色鏡130的拉曼散射光經(jīng)過(guò)濾光裝置150過(guò)濾后成像到面陣檢測(cè)器170。

為了方便在接收光路中添加濾波器件，本實(shí)用新型優(yōu)選采用無(wú)限遠(yuǎn)成像方式，即激光光束入射到樣品20后形成的部分散射光(包括瑞利散射光和拉曼散射光)入射到物鏡140后，被物鏡140準(zhǔn)直為平行光出射，經(jīng)二向色鏡130、濾光裝置150后成像到面陣檢測(cè)器170、被面陣檢測(cè)器170接收。當(dāng)物鏡140出射的平行光束的直徑較大，與面陣檢測(cè)器170的尺寸不適配時(shí)，可以在濾光裝置150與面陣檢測(cè)器170之間的光路中設(shè)置成像透鏡160，成像透鏡160將物鏡140所成的像縮小到適當(dāng)尺寸后成像到面陣檢測(cè)器170上。

本實(shí)施例中，濾光裝置150設(shè)置于接收光路中，用于抑制樣品20在入射的激光光束的作用下產(chǎn)生的拉曼特征峰以外的光，如瑞利散射背景光，選擇性通過(guò)特定中心波長(zhǎng)的拉曼特征峰，以實(shí)現(xiàn)拉曼光譜成像。具體的，濾光裝置150至少包括帶通濾光片。本實(shí)施例中，帶通濾光片可以為固定中心波長(zhǎng)的帶通濾光片，該中心波長(zhǎng)拉曼特征峰可以透過(guò)帶通濾光片成像到面陣檢測(cè)器170。

為了提高拉曼光譜成像的光譜分辨率，上述帶通濾光片優(yōu)選為窄帶濾光片151。為了能夠?qū)崿F(xiàn)窄帶濾光片151的中心波長(zhǎng)的微調(diào)，優(yōu)選的，入射到窄帶濾光片151的拉曼散射光的入射角是可以調(diào)節(jié)的。通過(guò)調(diào)節(jié)入射到帶通濾光片的拉曼散射光的入射角，對(duì)窄帶濾光片151的透射峰的峰值波長(zhǎng)進(jìn)行微調(diào)，以得到更精確的拉曼光譜信息。例如，可以通過(guò)調(diào)節(jié)窄帶濾光片151的角度以調(diào)節(jié)入射到窄帶濾光片151的光束的入射角。

由于窄帶濾光片151的帶通寬度限制，光譜分辨率一般不高于7cm^-1，使得拉曼光譜成像的光譜分辨率有限。因此，本實(shí)施例中，濾光裝置150還包括法布里-珀羅干涉器，以下簡(jiǎn)稱(chēng)法-珀干涉器152。法-珀干涉器152設(shè)置于窄帶濾光片151與面陣檢測(cè)器170之間。經(jīng)窄帶濾光片151選通后入射到法-珀干涉器152的拉曼散射光，進(jìn)一步經(jīng)過(guò)法-珀干涉器152的多光束干涉作用后，由法-珀干涉器152出射并成像到面陣檢測(cè)器170。通過(guò)法-珀干涉器152和窄帶濾光片151的配合使用，實(shí)現(xiàn)在大光譜范圍內(nèi)的超窄線(xiàn)寬的帶通濾光效果，有利于得到更精確的拉曼光譜信息，發(fā)揮拉曼光譜指紋特性的優(yōu)勢(shì)。

本實(shí)施例中，法-珀干涉器152可以是但不局限于空氣間隙法-珀干涉器152、固體間隙法-珀干涉器152及液晶可調(diào)法-珀干涉器152等中的一種。

如圖2所示，窄帶濾光片151的透過(guò)光譜包括一個(gè)具有一定帶寬的透射峰，圖2中的橫坐標(biāo)為波長(zhǎng)，縱坐標(biāo)為光強(qiáng)。而法-珀干涉器152的透射光譜包括多個(gè)分離的透射峰，類(lèi)似于梳狀結(jié)構(gòu)，如圖3所示。圖3中的橫坐標(biāo)為波數(shù)，縱坐標(biāo)為光強(qiáng)。相鄰兩個(gè)級(jí)次的透射峰的波長(zhǎng)間距即為法-珀干涉器152的自由光譜范圍。為了得到高光譜分辨率，盡量保證單一中心波長(zhǎng)透過(guò)，本實(shí)施例中，法-珀干涉器152的自由光譜范圍大于帶通濾光片帶通寬度的一半。

為了增強(qiáng)對(duì)瑞利散射背景光的抑制，濾光裝置150還可以包括長(zhǎng)通濾光片153。長(zhǎng)通濾光片153設(shè)置在窄帶濾光片151之前的光路中。此時(shí)，樣品20在激光光束的激發(fā)下產(chǎn)生的拉曼散射光入射到濾光裝置150后，具體先入射到長(zhǎng)通濾光片153，透過(guò)長(zhǎng)通濾光片153的光再入射到窄帶濾光片151，透過(guò)窄帶濾光片151后進(jìn)一步入射到法-珀干涉器152，由法-珀干涉器152出射后成像到面陣檢測(cè)器170。

面陣檢測(cè)器170用于將接收到的光學(xué)影像轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，以得到拉曼光譜圖像。根據(jù)拉曼光譜圖像可以進(jìn)一步得到拉曼光譜信息，從而得到樣品20中與該拉曼光譜信息對(duì)應(yīng)的物質(zhì)的分布情況。本實(shí)施例中，面陣檢測(cè)器170可以為常規(guī)面陣CCD(Charge-coupled Device，電荷耦合元件)、面陣電子倍增CCD(Electron-Multiplying CCD，EMCCD)、面陣COMS檢測(cè)器或面陣增強(qiáng)電荷耦合器件(ICCD)等。

下面將以一個(gè)具體示例對(duì)本實(shí)施例提供的拉曼光譜面成像設(shè)備10中各部件的參數(shù)要求進(jìn)行說(shuō)明。例如，拉曼光譜面成像設(shè)備10中，可調(diào)諧激光器111采用YAG激光器泵浦的連續(xù)波染料激光器，其輸出功率200-2000mW，波長(zhǎng)調(diào)節(jié)范圍535-700nm，假設(shè)拉曼光譜成像波長(zhǎng)固定為671nm，即帶通濾光片的中心波長(zhǎng)為671nm，圖2示出了窄帶濾波裝置的透過(guò)光譜。也就是說(shuō)，能夠通過(guò)濾光裝置150的拉曼特征峰的中心波長(zhǎng)為671nm。此時(shí)，通過(guò)調(diào)節(jié)激光器的輸出波長(zhǎng)，可以在200-2800cm^-1范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)對(duì)拉曼位移的選擇和連續(xù)掃描，可以在不切換濾光片的基礎(chǔ)上適用于檢測(cè)不同物質(zhì)的拉曼光譜成像，有利于檢測(cè)具有復(fù)雜拉曼光譜的樣品20。

相應(yīng)地，短通濾光片113的截止波長(zhǎng)可以設(shè)計(jì)為668nm。二向色鏡130反射波長(zhǎng)可以小于667nm，透過(guò)波長(zhǎng)可以大于670nm。物鏡140為50倍長(zhǎng)工作距離物鏡140。面陣檢測(cè)器170為EMCCD。濾光裝置150中，長(zhǎng)通濾光片153的截止波長(zhǎng)可以為668nm。

如圖2所示，窄帶濾光片151中心波長(zhǎng)為671nm，帶通寬度約2.5nm約合65cm^-1，雖然透過(guò)效率高但帶通寬度難以滿(mǎn)足拉曼光譜成像需求。法-珀干涉器152具有極高的光譜分辨率，然而其自由光譜范圍(兩個(gè)級(jí)次干涉峰的波長(zhǎng)間距)卻非常小，因此需要設(shè)計(jì)特殊的法-珀腔從而擴(kuò)大其自由光譜范圍，本實(shí)施例中為定制空氣間隙法-珀干涉器152，其獨(dú)立使用時(shí)的透光光譜圖如圖3所示，自由光譜范圍較寬為1.3nm，帶通寬度為0.06nm。將法-珀干涉器152與窄帶濾光片151配合使用時(shí)，可實(shí)現(xiàn)在大光譜范圍內(nèi)的超窄線(xiàn)寬的帶通濾光效果，如圖4所示，可達(dá)到大光譜范圍內(nèi)1.5cm^-1的帶通寬度。圖4中的橫坐標(biāo)為波數(shù)，縱坐標(biāo)為光強(qiáng)。當(dāng)采用帶通寬度更窄的前級(jí)濾光片及更高精細(xì)度的法-珀干涉器152可達(dá)到亞波數(shù)的光譜分辨率，從而實(shí)現(xiàn)高光譜分辨率的拉曼光譜成像，理論上可達(dá)到皮米以上的光譜分辨率。

綜上所述，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的拉曼光譜面成像設(shè)備10中，激光產(chǎn)生裝置110輸出的激光光束以面照明方式照射在樣品20的預(yù)設(shè)區(qū)域，所產(chǎn)生的拉曼散射光經(jīng)濾光裝置150進(jìn)行光譜選通后成像到面陣檢測(cè)器170，直接得到樣品20表面預(yù)設(shè)區(qū)域的拉曼光譜圖像，采用這種面激發(fā)、面成像的方式有效地提高了拉曼光譜成像的成像速度以及成像空間分辨率。此外，通過(guò)調(diào)節(jié)激光產(chǎn)生裝置110的輸出波長(zhǎng)，能夠在不切換濾光裝置150的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品20拉曼位移的選擇和連續(xù)掃描，適用于檢測(cè)不同物質(zhì)的拉曼光譜成像，有利于檢測(cè)具有復(fù)雜拉曼光譜的樣品20。

以上所述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本實(shí)用新型，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本實(shí)用新型可以有各種更改和變化。凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。