技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型公開了一種垂直掃描測(cè)量白光干涉測(cè)頭，包括白光顯微干涉裝置、垂直運(yùn)動(dòng)裝置、雙光柵位移計(jì)量裝置、圖像采集系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)；白光顯微干涉裝置包括照明光路、顯微干涉組件和CCD圖像拾取組件，垂直運(yùn)動(dòng)裝置包括垂直運(yùn)動(dòng)組件，其內(nèi)平臺(tái)帶動(dòng)Mirau干涉顯微鏡對(duì)被測(cè)工件進(jìn)行垂直掃描，同時(shí)內(nèi)平臺(tái)帶動(dòng)雙光柵位移計(jì)量裝置的動(dòng)光柵移動(dòng)，經(jīng)靜光柵發(fā)生二次衍射并產(chǎn)生干涉條紋，光電接收器接受干涉條紋，經(jīng)信號(hào)處理電路處理后得到垂直運(yùn)動(dòng)組件的內(nèi)平臺(tái)實(shí)時(shí)位移。計(jì)算機(jī)處理系統(tǒng)通過(guò)處理垂直掃描過(guò)程中的白光干涉圖像和垂直運(yùn)動(dòng)組件的內(nèi)平臺(tái)的位移，可得到被測(cè)表面的三維形貌。本實(shí)用新型具有結(jié)構(gòu)緊湊、測(cè)量精度高等特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：王淑珍;黃桂琴;馬利民;張旦聞;楊高杰;杜志強(qiáng);吳銳
受保護(hù)的技術(shù)使用者：洛陽(yáng)理工學(xué)院
文檔號(hào)碼：201720263953
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.17
技術(shù)公布日：2017.10.13