技術(shù)編號：11315096
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及測量裝置技術(shù)領(lǐng)域，具體地說是涉及一種垂直掃描測量白光干涉測頭，該測頭可用于大量程垂直掃描三維表面形貌光學(xué)輪廓測量儀。背景技術(shù)隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展與進步，對零件表面精度測量的要求也越來越高，先進的檢測技術(shù)已經(jīng)被各個國家高度重視并廣泛應(yīng)用。表面形貌測量可以根據(jù)是否與被測物體接觸分為接觸式和非接觸式兩大類。垂直掃描白光干涉測量法是一種十分重要的表面形貌測量方法，具有非接觸、大量程的優(yōu)點，且可進行三維測量，在表面測量領(lǐng)域有著十分廣泛的應(yīng)用。現(xiàn)有技術(shù)中公開了一種白光干涉光學(xué)輪廓儀，其存在的弊端...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。