1.一種垂直掃描測量白光干涉測頭，其特征在于：包括白光顯微干涉裝置（3）、垂直運(yùn)動(dòng)裝置（2）、雙光柵位移計(jì)量裝置（1）、圖像采集系統(tǒng)（9）、信號處理系統(tǒng)（7）和計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（8）；
所述白光顯微干涉裝置（3）包括用于發(fā)出光束的照明光路（4）、用于接收光束并產(chǎn)生干涉條紋的顯微干涉組件（5）和用于攝像并能夠呈現(xiàn)出白光干涉圖像的CCD圖像拾取組件（6）；顯微干涉組件（5）包括Mirau干涉顯微鏡（501），白光干涉圖像經(jīng)圖像采集系統(tǒng)（9）采集后，輸送至計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（8）；
所述垂直運(yùn)動(dòng)裝置（2）包括垂直運(yùn)動(dòng)組件（201），其包括外平臺(tái)和設(shè)置在外平臺(tái)內(nèi)的能夠沿與待測工件（10）表面平行的方向作微運(yùn)動(dòng)的內(nèi)平臺(tái)，Mirau干涉顯微鏡（501）與內(nèi)平臺(tái)固定連接；垂直運(yùn)動(dòng)組件（201）上還設(shè)有壓電陶瓷（202），壓電陶瓷（202）在壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源的驅(qū)動(dòng)下能夠帶動(dòng)內(nèi)平臺(tái)作微運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)Mirau干涉顯微鏡（501）運(yùn)動(dòng)，完成對待測工件（10）表面的垂直掃描測量，壓電陶瓷微位移器驅(qū)動(dòng)電源由計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（8）控制；所述雙光柵位移計(jì)量裝置（1）與內(nèi)平臺(tái)固定連接，雙光柵位移計(jì)量裝置（1）在內(nèi)平臺(tái)的驅(qū)動(dòng)下產(chǎn)生周期移動(dòng)的干涉條紋并傳輸至信號處理系統(tǒng)（7），信號處理系統(tǒng)（7）進(jìn)行處理后得到垂直運(yùn)動(dòng)組件（201）的內(nèi)平臺(tái)的實(shí)時(shí)位移，并傳輸至計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（8）；
計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（8）通過處理白光干涉圖像和垂直運(yùn)動(dòng)組件（201）的內(nèi)平臺(tái)的位移，得到待測工件（10）表面的三維形貌。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種垂直掃描測量白光干涉測頭，其特征在于：所述照明光路（4）包括白光光源（401）、光源支架（402）、第一照明光路鏡筒（403）、第二照明光路鏡筒（404）、照明光路鏡筒支架（405）、照明光路支承板（406）、透鏡組（407）、孔徑光闌（408）、視場光闌（409）、第一反射鏡（410）和第一透鏡（411）；所述白光光源（401）固設(shè)在光源支架（402）上，光源支架（402）與第一照明光路鏡筒（403）的一端可拆卸固定連接，第一照明光路鏡筒（403）的另一端與第二照明光路鏡筒（404）的一端可拆卸固定連接，第二照明光路鏡筒（404）的另一端固設(shè)在照明光路鏡筒支架（405）上，照明光路鏡筒支架（405）固設(shè)在照明光路支承板（406）上，照明光路鏡筒支架（405）的側(cè)面開設(shè)有通孔A，透鏡組（407）安裝在第一照明光路鏡筒（403）內(nèi)，孔徑光闌（408）和視場光闌（409）從上往下依次安裝在第二照明光路鏡筒（404）內(nèi)，第一反射鏡（410）設(shè)置在照明光路鏡筒支架（405）內(nèi)，第一透鏡（411）安裝在照明光路鏡筒支架（405）內(nèi)部靠近通孔A的位置，照明光路支承板（406）安裝在垂直運(yùn)動(dòng)組件（201）一側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種垂直掃描測量白光干涉測頭，其特征在于：所述顯微干涉組件（5）還包括顯微鏡支架（502）、第二反射鏡（503）和分光鏡（504），Mirau干涉顯微鏡（501）固設(shè)在顯微鏡支架（502）上，顯微鏡支架（502）與內(nèi)平臺(tái)固定連接，在壓電陶瓷（202）驅(qū)動(dòng)內(nèi)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)，顯微鏡支架（502）跟隨內(nèi)平臺(tái)同步運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)Mirau干涉顯微鏡（501）運(yùn)動(dòng)，完成對待測工件（10）表面的垂直掃描測量；所述垂直運(yùn)動(dòng)組件（201）上開設(shè)有矩形槽，第二反射鏡（503）安裝在矩形槽內(nèi)部的上端，分光鏡（504）安裝在矩形槽內(nèi)部的下端，第一透鏡（411）的光軸經(jīng)過分光鏡（504）的中心點(diǎn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種垂直掃描測量白光干涉測頭，其特征在于：所述CCD圖像拾取組件（6）包括CCD相機(jī)（601）、CCD相機(jī)架（602）、第二透鏡（603）、第三反射鏡（604）、圖像拾取光路鏡筒（605）、圖像拾取光路鏡筒支架（606）和圖像拾取光路支撐板（607），圖像拾取光路鏡筒支架（606）的側(cè)面開設(shè)有通孔B，CCD相機(jī)（601）固設(shè)在CCD相機(jī)架（602）的一端，CCD相機(jī)架（602）的另一端與圖像拾取光路鏡筒（605）的一端可拆卸固定連接，圖像拾取光路鏡筒（605）的另一端固設(shè)在圖像拾取光路鏡筒支架（606）上，圖像拾取光路鏡筒支架（606）固設(shè)在圖像拾取光路支撐板（607）上，透鏡（603）安裝在圖像拾取光路鏡筒（605）內(nèi)，第三反射鏡（604）安裝在圖像拾取光路鏡筒支架（606）內(nèi)，第三反射鏡（604）的反射面與第二反射鏡（503）的反射面相對安裝，圖像拾取光路支撐板（607）安裝在垂直運(yùn)動(dòng)組件（201）另一側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種垂直掃描測量白光干涉測頭，其特征在于：所述雙光柵位移計(jì)量裝置（1）包括激光器（101）、放大鏡（102）、放大鏡鏡筒（103）、靜光柵（104）、靜光柵支架（105）、靜光柵調(diào)整板（106）、動(dòng)光柵（107）、動(dòng)光柵支架（108）、動(dòng)光柵運(yùn)動(dòng)連接板（109）、反射鏡A（110）、反射鏡支架A（111）、反射鏡B（112）、反射鏡支架B（113）、光電接收器（114）和傳感器盒（115）；動(dòng)光柵（107）安裝在動(dòng)光柵支架（108）上，動(dòng)光柵支架（108）固定在動(dòng)光柵運(yùn)動(dòng)連接板（109）下部，動(dòng)光柵運(yùn)動(dòng)連接板（109）下部和垂直運(yùn)動(dòng)組件（201）的內(nèi)平臺(tái)相連；靜光柵（104）安裝在靜光柵支架（105）上，靜光柵支架（105）安裝在靜光柵調(diào)整板（106）上，靜光柵調(diào)整板（106）安裝在傳感器盒（115）的內(nèi)部；激光器（101）和放大鏡鏡筒（103）均安裝在傳感器盒（115）的上部且在相對兩側(cè)，放大鏡（102）安裝在放大鏡鏡筒（103）內(nèi)，反射鏡A（110）安裝在反射鏡支架A（111）上，反射鏡支架A（111）安裝在傳感器盒（115）內(nèi)部、靠近激光器（101）的一側(cè)，反射鏡B（112）安裝在反射鏡支架B（113）上，反射鏡支架B（113）安裝在傳感器盒（115）內(nèi)部、靠近放大鏡（102）的一側(cè)；
在激光器（101）發(fā)射的光束經(jīng)反射鏡A（110）反射的狀態(tài)下，光束依次經(jīng)過動(dòng)光柵（107）和靜光柵（104）發(fā)生衍射后產(chǎn)生干涉條紋，在垂直運(yùn)動(dòng)組件的內(nèi)平臺(tái)帶動(dòng)動(dòng)光柵（107）移動(dòng)時(shí)，光電接收器（114）接收到周期移動(dòng)的干涉條紋，并傳輸至信號處理系統(tǒng)（7），信號處理系統(tǒng)（7）進(jìn)行處理后得到垂直運(yùn)動(dòng)組件（201）的內(nèi)平臺(tái)的實(shí)時(shí)位移，并傳輸至計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)（8）。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種垂直掃描測量白光干涉測頭，其特征在于：所述第一反射鏡（410）與水平方向成45°角，第三反射鏡（604）與水平方向成45°角；第二反射鏡（503）安裝在矩形槽內(nèi)部的上端，且與水平方向成45°角，分光鏡（504）安裝在矩形槽內(nèi)部的下端，且與水平方向成45°角；反射鏡支架A（111）的正下方與水平方向成45O角，反射鏡支架B（113）的正下方與水平方向成45O角。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種垂直掃描測量白光干涉測頭，其特征在于：所述顯微鏡支架（502）一側(cè)設(shè)置有顯微鏡旋入筒（5021），顯微鏡旋入筒（5021）設(shè)置有內(nèi)螺紋，Mirau干涉顯微鏡（501）的一端與顯微鏡旋入筒（5021）之間螺紋連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種垂直掃描測量白光干涉測頭，其特征在于：所述 CCD相機(jī)架（602）下部設(shè)有外螺紋，圖像拾取光路鏡筒（605）的上部設(shè)有內(nèi)螺紋，CCD相機(jī)架（602）與圖像拾取光路鏡筒（605）之間通過螺紋連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的一種垂直掃描測量白光干涉測頭，其特征在于：所述垂直運(yùn)動(dòng)組件（201）為柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)。