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QCM濕度傳感器的制作方法

文檔序號:11316558閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種QCM濕度傳感器,其特征在于,包括基座以及設(shè)于所述基座上的檢測模塊,所述檢測模塊包括石英基片和所述石英基片的下端的固定板,所述固定板與所述基座可拆卸鏈接,所述石英基片的兩側(cè)面分別均勻鍍有銀電極層,所述銀電極層的外側(cè)設(shè)有聚酰亞胺保護(hù)膜,所述聚酰亞胺保護(hù)膜的外側(cè)設(shè)有濕敏薄膜,所述電極連接有引線,所述固定板的下端設(shè)有電極接頭,所述引線與所述電極接頭連接,所述基座上設(shè)有與所述QCM濕度傳感器的電極接頭匹配的接線槽,所述接線槽與所述基座內(nèi)的電源連接。

2.如權(quán)利要求1所述的QCM濕度傳感器,其特征在于,所述固定板上設(shè)有定位柱,所述基座上設(shè)有與所述定位柱匹配的定位槽。

3.如權(quán)利要求1所述的QCM濕度傳感器,其特征在于,所述石英基片外設(shè)有防護(hù)罩,所述防護(hù)罩與所述固定板可拆卸鏈接,所述防護(hù)罩包括兩層過濾網(wǎng)以及兩層所述過濾網(wǎng)之間的合成纖維濾料。

4.如權(quán)利要求1所述的QCM濕度傳感器,其特征在于,所述濕敏薄膜為SBA-15有序介孔材料或納米氧化鋅。

5.如權(quán)利要求1所述的QCM濕度傳感器,其特征在于,所述檢測模塊至少設(shè)置2個。

6.如權(quán)利要求1所述的QCM濕度傳感器,其特征在于,所述QCM濕度傳感器還包括無線通訊模塊,所述無線通訊用于無線發(fā)送所述QCM濕度傳感器檢測的濕度。

7.如權(quán)利要求1所述的QCM濕度傳感器,其特征在于,所述基座上設(shè)有與所述固定板大小匹配的凹槽,所述基座上設(shè)有夾片,所述夾片與所述基座旋轉(zhuǎn)連接,用于將所述固定板固定在所述基座上。

8.如權(quán)利要求1所述的QCM濕度傳感器,其特征在于,所述石英基片的兩側(cè)面呈波浪狀。

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