技術(shù)編號:11316558
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及濕度傳感器技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種QCM濕度傳感器。背景技術(shù)QCM濕度傳感器的核心是石英晶體,它是由一定切向的石英晶體薄片與噴涂在其表面上的金屬激勵電極構(gòu)成,根據(jù)石英晶體的壓電效應(yīng),當對石英晶體施加突變電壓時,石英晶體就會振動,當震蕩電路的頻率與石英晶體的固有頻率一致時,便會產(chǎn)生共振,此時的振動最穩(wěn)定。石英晶體的固有頻率隨著吸附質(zhì)量的改變而變化。當石英晶體表面敷在有其他的物質(zhì)時,固有頻率會發(fā)生變化。QCM濕度傳感器就是根據(jù)這一原理,在石英晶體表面涂覆上一層敏感薄膜,利用敏感薄膜對待...
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