技術總結
本實用新型提供了一種光譜共焦檢測裝置,包括直線電機位移平臺,直線電機位移平臺的動子上設置有檢測平臺或光譜共焦位移傳感器,通過將直線電機位移平臺和光譜共焦位移傳感器相結合,可移動平臺相對于靜態(tài)檢測或者僅光譜共焦位移傳感器移動而言,極大地提高了檢測效率,適用于更復雜形狀的檢測,直線電機位移平臺移動控制精度高、結構簡單、運行穩(wěn)定,提高了檢測精度。
技術研發(fā)人員:王俊民;廖福秀;賀佳貴;鄒志英
受保護的技術使用者:王俊民
文檔號碼:201720244064
技術研發(fā)日:2017.03.13
技術公布日:2017.10.17