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一種多模式熒光收集系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):11316447閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種多模式熒光收集系統(tǒng),其特征在于,所述多模式熒光收集系統(tǒng)包括:第一熒光收集裝置、第二熒光收集裝置、光譜儀、電動(dòng)調(diào)節(jié)架和橢球面收集透鏡;其中,所述第一熒光收集裝置設(shè)置在電動(dòng)調(diào)節(jié)架上,電動(dòng)調(diào)節(jié)架位于激光束與樣品的軸線(xiàn)的旁側(cè);所述橢球面收集透鏡位于激光束與樣品的軸線(xiàn)上,正對(duì)著樣品表面;所述樣品位于橢球面收集透鏡的一個(gè)焦點(diǎn)上,所述第二熒光收集裝置位于橢球面收集透鏡的另一個(gè)焦點(diǎn)上;所述多模式熒光收集系統(tǒng)具有旁軸收集模式、同軸收集模式以及二者相結(jié)合的復(fù)合收集模式三種模式;在旁軸收集模式中,所述光譜儀通過(guò)輸入光纖連接至第一熒光收集裝置,激光束入射到樣品上,產(chǎn)生的熒光由位于樣品的旁側(cè)的一個(gè)角度的第一熒光收集裝置收集,電動(dòng)調(diào)節(jié)架自動(dòng)精密調(diào)節(jié)熒光收集裝置對(duì)樣品的俯仰角,以熒光譜線(xiàn)的強(qiáng)度達(dá)到最強(qiáng)的角度為收集角;在同軸收集模式中,所述光譜儀通過(guò)輸入光纖連接至第二熒光收集裝置,激光透過(guò)橢球面收集透鏡入射到位于一個(gè)焦點(diǎn)上的樣品上,產(chǎn)生的熒光經(jīng)橢球面收集透鏡反射匯聚到位于另一個(gè)焦點(diǎn)上的第二熒光收集裝置,由第二熒光收集裝置收集;在復(fù)合收集模式中,所述光譜儀通過(guò)兩根輸入光纖分別連接至第一和第二熒光收集裝置,第一熒光收集裝置旁軸收集熒光,同時(shí)第二熒光收集裝置同軸收集熒光。

2.如權(quán)利要求1所述的多模式熒光收集系統(tǒng),其特征在于,所述電動(dòng)調(diào)節(jié)架采用壓電陶瓷,第一熒光收集裝置設(shè)置在壓電陶瓷上,通過(guò)壓電陶瓷的伸縮,精密地調(diào)節(jié)第一熒光收集裝置對(duì)樣品的俯仰角,使得光譜儀上測(cè)得的熒光譜線(xiàn)的強(qiáng)度達(dá)到最強(qiáng),停止電動(dòng)調(diào)節(jié)架,以此時(shí)的角度作為旁軸收集模式的收集角。

3.如權(quán)利要求1所述的多模式熒光收集系統(tǒng),其特征在于,所述橢球面收集透鏡的形狀為截取橢球面中的一塊。

4.如權(quán)利要求1所述的多模式熒光收集系統(tǒng),其特征在于,所述樣品位于樣品室內(nèi),第一熒光收集裝置位于樣品室內(nèi),通過(guò)支架安裝在樣品室的內(nèi)壁上。

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