1.一種光學(xué)測(cè)量臺(tái)架裝置，其特征在于，該臺(tái)架結(jié)構(gòu)從上至下包括：均勻照明系統(tǒng)、平板支撐結(jié)構(gòu)、下層支撐框架、位移臺(tái)、可移動(dòng)氣浮基座。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述均勻照明系統(tǒng)包括光束變換元件，所述均勻照明系統(tǒng)通過光源傳輸模塊支架與平板相連，用于提高光源光能分布的均勻性和光束的穩(wěn)定性。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述平板支撐結(jié)構(gòu)包括透鏡部件及多個(gè)位移傳感器，所述平板支撐結(jié)構(gòu)在X、Y、Z、θx、θy五個(gè)自由度上實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述下層支撐框架包括基礎(chǔ)框架，其底部具有四個(gè)高度水平位移調(diào)節(jié)塊，所述四個(gè)高度水平位移調(diào)節(jié)塊分別與最下層可移動(dòng)氣浮基座的螺栓相連接，所述下層支撐框架的中部具有四個(gè)加強(qiáng)筋塊，所述四個(gè)加強(qiáng)筋塊都與最下層可移動(dòng)氣浮基座相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述位移臺(tái)具有運(yùn)動(dòng)集成部件，使其在X、Y兩自由度宏動(dòng)、在X、Y、Z、θx、θy、θz六自由度微動(dòng)，用于運(yùn)載圖像采集模塊采集不同位置的成像，所述位移臺(tái)直接安裝于可移動(dòng)氣浮基座上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述可移動(dòng)氣浮基座用于承載整個(gè)檢測(cè)系統(tǒng)，其包括基座，在所述基座之上具有四個(gè)氣浮隔振器，在所述可移動(dòng)氣浮基座的底部具有四支萬向輪。