本實(shí)用新型涉及的是傳感器,具體涉及的是橫向CFEC波導(dǎo)/單晶基底構(gòu)型樂(lè)甫波傳感器。
背景技術(shù):
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樂(lè)甫波重力傳感器是一種利用聲表面波技術(shù)測(cè)量微小質(zhì)量的超聲波傳感器,適用于檢測(cè)微量液體質(zhì)量等。樂(lè)甫波是一種表面橫波,一般情況下液體或氣體中橫波波速為零,將此條件帶入微擾理論可以得出樂(lè)甫波重力傳感器的靈敏度。利用樂(lè)甫波重力傳感器測(cè)量有、無(wú)質(zhì)量負(fù)載時(shí)樂(lè)甫波的頻率變化量,可以精密測(cè)量微小質(zhì)量或監(jiān)測(cè)質(zhì)量的微小變化。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
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本實(shí)用新型的目的是提供橫向CFEC波導(dǎo)/單晶基底構(gòu)型樂(lè)甫波傳感器,這種橫向CFEC波導(dǎo)/單晶基底構(gòu)型樂(lè)甫波傳感器用于解決現(xiàn)有的樂(lè)甫波重力傳感器靈敏度不高的問(wèn)題。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:這種橫向CFEC波導(dǎo)/單晶基底構(gòu)型樂(lè)甫波傳感器包括信號(hào)源、第一叉指換能器、第二叉指換能器、示波器負(fù)載、波導(dǎo)層、基底,基底采用PZN-0.07PT單晶,波導(dǎo)層采用碳纖維樹(shù)脂復(fù)合材料,且碳纖維樹(shù)脂復(fù)合材料中碳纖維為橫向的,碳纖維取向垂直于樂(lè)甫波的傳播方向;波導(dǎo)層位于基底之上,第一叉指換能器和第二叉指換能器均設(shè)置在波導(dǎo)層與基底之間,信號(hào)源設(shè)置在波導(dǎo)層一側(cè),示波器負(fù)載設(shè)置在波導(dǎo)層的另一側(cè),信號(hào)源連接第一叉指換能器,示波器負(fù)載連接第二叉指換能器。
本實(shí)用新型具有以下有益效果:
1、本實(shí)用新型在檢測(cè)質(zhì)量時(shí),可以提高器件的靈敏度,精確檢測(cè)出非常微小的質(zhì)量;采用沿[011]極化的PZN-0.07PT單晶,可以提高電能與機(jī)械能的轉(zhuǎn)換效率。比原有器件的轉(zhuǎn)化率高。因?yàn)榇藛尉У臋C(jī)電耦合系數(shù)比傳統(tǒng)材料高。
2、本實(shí)用新型采用CFEC作為波導(dǎo)層,可以減少聲波器件的聲衰減和插入損耗。
附圖說(shuō)明
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本實(shí)用新型的應(yīng)用示意圖。
1.信號(hào)源, 2.第一叉指換能器, 3.第二叉指換能器, 4.示波器負(fù)載, 5.波導(dǎo)層, 6.基底, 7.質(zhì)量負(fù)載。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的說(shuō)明:
如圖1所示,這種橫向CFEC波導(dǎo)/單晶基底構(gòu)型樂(lè)甫波傳感器包括信號(hào)源1、第一叉指換能器2、第二叉指換能器3、示波器負(fù)載4、波導(dǎo)層5、基底6,基底6采用PZN-0.07PT單晶,PZN-0.07PT單晶沿[011]方向極化。波導(dǎo)層5采用碳纖維樹(shù)脂復(fù)合材料,且碳纖維樹(shù)脂復(fù)合材料中碳纖維為橫向的,碳纖維取向垂直于樂(lè)甫波的傳播方向;波導(dǎo)層5位于基底6之上,第一叉指換能器2和第二叉指換能器3均設(shè)置在波導(dǎo)層5與基底6之間,信號(hào)源1設(shè)置在波導(dǎo)層5一側(cè),示波器負(fù)載4設(shè)置在波導(dǎo)層5的另一側(cè),信號(hào)源1連接第一叉指換能器2,示波器負(fù)載4連接第二叉指換能器3。第一叉指換能器2和第二叉指換能器3均選擇24微米的叉指換能器。
如圖2所示,在波導(dǎo)層5表面有質(zhì)量負(fù)載7時(shí),測(cè)得一個(gè)接收頻率。此頻率比無(wú)質(zhì)量負(fù)載情況時(shí)低,利用兩種情況下頻率的差值可以計(jì)算出質(zhì)量負(fù)載7的質(zhì)量。具體實(shí)施可以利用計(jì)算編程,輸入頻率差值,然后計(jì)算負(fù)載質(zhì)量7。
使用本實(shí)用新型時(shí),首先做好如下工作:
1、選擇24微米的叉指換能器;示波器負(fù)載4選擇寬帶、高采樣率示波器;
2、連接信號(hào)源1。
本實(shí)用新型可以由科研工作者使用,也可以由公司使用制作生物、液相、氣相傳感器。