技術(shù)編號(hào):11382309
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。:本實(shí)用新型涉及的是傳感器,具體涉及的是橫向CFEC波導(dǎo)/單晶基底構(gòu)型樂(lè)甫波傳感器。背景技術(shù):樂(lè)甫波重力傳感器是一種利用聲表面波技術(shù)測(cè)量微小質(zhì)量的超聲波傳感器,適用于檢測(cè)微量液體質(zhì)量等。樂(lè)甫波是一種表面橫波,一般情況下液體或氣體中橫波波速為零,將此條件帶入微擾理論可以得出樂(lè)甫波重力傳感器的靈敏度。利用樂(lè)甫波重力傳感器測(cè)量有、無(wú)質(zhì)量負(fù)載時(shí)樂(lè)甫波的頻率變化量,可以精密測(cè)量微小質(zhì)量或監(jiān)測(cè)質(zhì)量的微小變化。發(fā)明內(nèi)容:本實(shí)用新型的目的是提供橫向CFEC波導(dǎo)/單晶基底構(gòu)型樂(lè)甫波傳感器,這種橫向CFEC波導(dǎo)/單...
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