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高精度薄膜壓力傳感器的制作方法

文檔序號:11560166閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種高精度薄膜壓力傳感器,包括開口呈淺“U”形的圓形膜片(1),下端焊接所述圓形膜片(1)、中心開圓孔、上端焊接彈性體的支撐座(2),下端焊接在所述支撐座(2)的上部邊緣、帶有中心梁(31)的“E”形彈性體(3),穿過所述支撐座(2)的中心圓孔、下端焊接在所述圓形膜片(1)中心、上端焊接在所述彈性體(3)的中心梁(31)處的傳力柱(4)和外殼(5)組成,其特征在于:所述彈性體(3)外周焊接有支撐電路板的電路板支架(33),所述電路板支架(33)上固定有電路板(34);所述彈性體(3)是采用濺射薄膜技術(shù)在彈性體上表面(32)上制造有四個應(yīng)變電阻(38)并形成惠斯電橋,當(dāng)所述圓形膜片(1)受到壓力作用時,均勻分布的壓力通過所述傳力柱(4)集中并傳遞到所述彈性體(3)的中心梁(31)上,所述彈性體上表面(32)上的所述四個應(yīng)變電阻(38)阻值發(fā)生變化,惠斯電橋失去平衡,通過一端焊接在焊盤(39)、另一端焊接在所述電路板(34)的內(nèi)引線(35)輸出與所受壓力成比例的電信號;所述電信號通過焊接在所述電路板(34)上的外引線(36)向外輸出。

2.如權(quán)利要求1所述的高精度薄膜壓力傳感器,其特征在于:所述圓形膜片(1)采用不銹鋼、鈦、非晶材料中的一種制成。

3.如權(quán)利要求1所述的高精度薄膜壓力傳感器,其特征在于:所述電路板(34)上方灌注有保護所述電路板(34)、所述內(nèi)引線(35)和所述外引線(36)的質(zhì)軟保護膠(37)。

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