本發(fā)明涉及屏幕顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種剝離藥液成分量測(cè)方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

在tft制程中，剝離（stripper）工藝起到光阻剝離的作用，即把定義圖形（patten）的光阻（photorisist，簡(jiǎn)稱pr）用stripper藥液去除的工藝。待進(jìn)行光阻剝離制程的玻璃經(jīng)過stripper制程后光阻溶解在stripper藥液中。藥液中的pr濃度和其有效成分胺（amine，剝離光阻的有效成分）是影響光阻去除能力的關(guān)鍵性參數(shù)，通常主設(shè)備會(huì)配備附屬設(shè)備—光阻分析儀來(lái)量測(cè)和監(jiān)控藥液中pr、h2o及amine等成分含量。

業(yè)界均采用forcedrain模式來(lái)管控striper藥液的pr濃度，即在run貨時(shí)不斷排液、補(bǔ)液來(lái)維持藥液中pr濃度在一定水準(zhǔn)。而排液、補(bǔ)液的量則根據(jù)pr濃度來(lái)自動(dòng)調(diào)整。pr濃度高時(shí)加大排液量，pr濃度低時(shí)降低排液量以減少藥液消耗。因此對(duì)于藥液中pr濃度的量測(cè)需要具有實(shí)時(shí)性，能及時(shí)準(zhǔn)確的反饋藥液中pr濃度。

量測(cè)amine等成分的周期較長(zhǎng)，一般量測(cè)時(shí)間為20分鐘左右，而通常分析儀會(huì)量測(cè)兩個(gè)槽體（tank）的藥液成分后再一同產(chǎn)出數(shù)據(jù)，故其量測(cè)一筆data的時(shí)間約40分鐘，由于量測(cè)時(shí)間較長(zhǎng)，在連續(xù)run貨時(shí)，以str設(shè)備的run片速度，此期間已經(jīng)run過超過60片玻璃，此時(shí)又有大量光阻溶解在藥液中，而其forcedrain的量還維持在較低水準(zhǔn)，可能導(dǎo)致下筆data產(chǎn)出時(shí)pr濃度已急劇飄高，這樣就無(wú)法有效控制pr濃度。當(dāng)濃度過高時(shí)，通常采用將藥液全部排掉補(bǔ)新液的方式，這樣會(huì)造成藥液極大的浪費(fèi)，且pr濃度飄高期間過貨的產(chǎn)品也有良率降低的風(fēng)險(xiǎn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于，提供一種可縮短量測(cè)周期，實(shí)時(shí)反饋光阻濃度的剝離藥液成分量測(cè)方法及系統(tǒng)。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種剝離藥液成分量測(cè)方法，包括：

執(zhí)行紫外分光光度uv量測(cè)模式，在第一量測(cè)周期內(nèi)對(duì)剝離藥液中的光阻濃度和水濃度進(jìn)行量測(cè)，并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)；

執(zhí)行滴定量測(cè)模式，在第二量測(cè)周期內(nèi)對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)，并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)；

所述uv量測(cè)模式至少執(zhí)行一次之后再執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式，或者所述uv量測(cè)模式和所述滴定量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行。

其中，執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式時(shí)，在所述第二量測(cè)周期內(nèi)還對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)。

其中，所述uv量測(cè)模式執(zhí)行多次之后再執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式，執(zhí)行所述uv量測(cè)模式花費(fèi)的總時(shí)間不超過所述第二量測(cè)周期。

其中，所述uv量測(cè)模式和所述滴定量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行時(shí)，所述uv量測(cè)模式每次執(zhí)行后，用于量測(cè)的剝離藥液均回流至主機(jī)臺(tái)。

其中，所述第一量測(cè)周期是量測(cè)兩個(gè)槽體的剝離藥液中的光阻濃度和水濃度的時(shí)間，所述第二量測(cè)周期是量測(cè)兩個(gè)槽體的剝離藥液中的胺、二氧化碳-胺的時(shí)間。

其中，所述第一量測(cè)周期為4分鐘，所述第二量測(cè)周期為40分鐘。

本發(fā)明還提供一種剝離藥液成分量測(cè)系統(tǒng)，包括：

紫外分光光度uv量測(cè)單元，用于執(zhí)行uv量測(cè)模式，在第一量測(cè)周期內(nèi)對(duì)剝離藥液中的光阻濃度和水濃度進(jìn)行量測(cè)，并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)；

滴定量測(cè)單元，用于執(zhí)行滴定量測(cè)模式，在第二量測(cè)周期內(nèi)對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)，并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)；

所述uv量測(cè)單元至少執(zhí)行一次所述uv量測(cè)模式之后，所述滴定量測(cè)單元再執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式，或者所述uv量測(cè)模式和所述滴定量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行。

其中，所述滴定量測(cè)單元還用于執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式時(shí)，在所述第二量測(cè)周期內(nèi)還對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)。

其中，所述uv量測(cè)模式執(zhí)行多次之后再執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式，執(zhí)行所述uv量測(cè)模式花費(fèi)的總時(shí)間不超過所述第二量測(cè)周期。

其中，所述uv量測(cè)模式和所述滴定量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行時(shí)，所述uv量測(cè)模式每次執(zhí)行后，用于量測(cè)的剝離藥液均回流至主機(jī)臺(tái)。

本發(fā)明實(shí)施例的有益效果在于：根據(jù)uv量測(cè)速度快的特點(diǎn)，可在其量測(cè)完成后即反饋量測(cè)數(shù)據(jù)，同時(shí)再次取樣立即進(jìn)行下一次量測(cè)，這樣pr濃度數(shù)據(jù)的產(chǎn)出周期可大大縮短，且能及時(shí)量測(cè)pr濃度，以減少藥液消耗，維持pr濃度在一定水準(zhǔn)，提高制程穩(wěn)定性；而amine、co2-amine滴定量測(cè)時(shí)間較長(zhǎng)，可使其單獨(dú)量測(cè)，這樣能監(jiān)控藥液所有成分濃度。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1是本發(fā)明實(shí)施例一一種剝離藥液成分量測(cè)方法的流程示意圖。

圖2是本發(fā)明實(shí)施例二一種剝離藥液成分量測(cè)系統(tǒng)的原理框圖。

圖3是本發(fā)明實(shí)施例二一種剝離藥液成分量測(cè)系統(tǒng)的另一原理框圖。

具體實(shí)施方式

以下各實(shí)施例的說(shuō)明是參考附圖，用以示例本發(fā)明可以用以實(shí)施的特定實(shí)施例。

請(qǐng)參照?qǐng)D1所示，本發(fā)明實(shí)施例一提供一種剝離藥液成分量測(cè)方法，包括：

執(zhí)行紫外分光光度量測(cè)模式，在第一量測(cè)周期內(nèi)對(duì)剝離藥液中的光阻濃度和水濃度進(jìn)行量測(cè)，并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)；

執(zhí)行滴定量測(cè)模式，在第二量測(cè)周期內(nèi)對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)，并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)；

所述uv量測(cè)模式至少執(zhí)行一次之后再執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式，或者所述uv量測(cè)模式和所述滴定量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行

stripper制程中，剝離藥液中光阻pr、水h2o、胺amine、二氧化碳-胺co2-amine等成分濃度均為評(píng)估其光阻去除能力的關(guān)鍵性參數(shù)。本實(shí)施例對(duì)量測(cè)pr、h2o采用紫外分光光度（uv）量測(cè)模式，其量測(cè)周期短，量測(cè)結(jié)果較為準(zhǔn)確；而amine與co2-amine的濃度量測(cè)則是以滴定量測(cè)方式，其優(yōu)點(diǎn)為量測(cè)準(zhǔn)確，但量測(cè)時(shí)間較長(zhǎng)。

為避免如現(xiàn)有技術(shù)一樣，等待滴定量測(cè)模式量測(cè)出amine與co2-amine的濃度后再進(jìn)行調(diào)整所帶來(lái)的量測(cè)周期長(zhǎng)的缺陷，本實(shí)施例在執(zhí)行uv量測(cè)模式時(shí)，在第一量測(cè)周期內(nèi)對(duì)剝離液中的光阻濃度和水濃度進(jìn)行量測(cè)，獲得量測(cè)數(shù)據(jù)即實(shí)時(shí)反饋，使主機(jī)直接可以根據(jù)uv量測(cè)模式獲得的量測(cè)數(shù)據(jù)（pr濃度、h2o濃度）對(duì)剝離藥液濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整。作為一種示例，第一量測(cè)周期為4分鐘?？梢岳斫獾氖?，第一量測(cè)周期是量測(cè)兩個(gè)tank的剝離藥液中的光阻濃度和水濃度的時(shí)間。

本實(shí)施例中，在第一量測(cè)周期內(nèi)執(zhí)行uv量測(cè)模式，獲得剝離藥液中的光阻濃度和水濃度量測(cè)數(shù)據(jù)并反饋后，將繼續(xù)多次執(zhí)行uv量測(cè)模式，對(duì)剝離藥液中的光阻濃度和水濃度進(jìn)行量測(cè)，并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)，例如，在20分鐘的時(shí)長(zhǎng)內(nèi)可以執(zhí)行5次uv量測(cè)模式，獲得5個(gè)剝離藥液中的光阻濃度和水濃度的量測(cè)數(shù)據(jù)。每一次反饋的量測(cè)數(shù)據(jù)，都可以供主機(jī)對(duì)剝離藥液濃度進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整。

滴定量測(cè)模式耗時(shí)較長(zhǎng)，基于此特點(diǎn)，本實(shí)施例的uv量測(cè)模式會(huì)先于所述滴定量測(cè)模式執(zhí)行，或者與滴定量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行。由于在執(zhí)行uv量測(cè)模式時(shí)，量測(cè)數(shù)據(jù)會(huì)實(shí)時(shí)反饋，不用等待滴定量測(cè)模式獲得量測(cè)數(shù)據(jù)后再一起反饋，將有效消除滴定量測(cè)模式的時(shí)長(zhǎng)帶來(lái)的負(fù)面影響。作為一種示例，第二量測(cè)周期為40分鐘?？梢岳斫獾氖?，第二量測(cè)周期是量測(cè)兩個(gè)tank的剝離藥液中的胺、二氧化碳-胺的時(shí)間。

考慮到滴定量測(cè)模式獲得的量測(cè)數(shù)據(jù)準(zhǔn)確率較高，因此也可以在執(zhí)行滴定量測(cè)模式時(shí)，也對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)，這樣滴定量測(cè)模式在第二量測(cè)周期獲得量測(cè)數(shù)據(jù)就包括了光阻濃度、水濃度、胺濃度和二氧化碳-胺濃度，監(jiān)控了所有成分。

uv量測(cè)模式至少執(zhí)行一次之后再執(zhí)行滴定量測(cè)模式，相當(dāng)于單線順序量測(cè)。uv量測(cè)模式和滴定量測(cè)模式可以各自執(zhí)行不同的數(shù)量，執(zhí)行uv量測(cè)模式的次數(shù)多于執(zhí)行滴定量測(cè)模式的次數(shù)，例如uv量測(cè)模式執(zhí)行x1次，滴定量測(cè)模式執(zhí)行x2次，量測(cè)x1次pr、h2o濃度后，再量測(cè)x2次amine、co2-amine濃度，這樣可在不改造硬件結(jié)構(gòu)條件下縮短pr量測(cè)周期，更實(shí)時(shí)反饋pr濃度。當(dāng)然，為了不過分拖延滴定量測(cè)的執(zhí)行，uv量測(cè)模式花費(fèi)的總時(shí)間應(yīng)不超過滴定量測(cè)模式的第二量測(cè)周期。例如在80分鐘內(nèi)，執(zhí)行10次uv量測(cè)模式（耗時(shí)4分鐘×10=40分鐘）后，再執(zhí)行1次滴定量測(cè)（耗時(shí)40分鐘），可產(chǎn)出10筆pr&h2o的量測(cè)數(shù)據(jù)+1筆amine、co2-amine的量測(cè)數(shù)據(jù)；在執(zhí)行滴定量測(cè)模式時(shí)如果也對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)，則在前述80分鐘內(nèi)可產(chǎn)出11筆pr&h2o的量測(cè)數(shù)據(jù)+1筆amine、co2-amine的量測(cè)數(shù)據(jù)。而采用現(xiàn)有的量測(cè)模式，80分鐘僅可產(chǎn)出2筆pr、h2o、amine、co2-amine的數(shù)據(jù)。由于pr濃度管控是以pr濃度調(diào)整forcedrain的量，故這樣可大大縮短pr的量測(cè)周期。可以理解的是，如果是在60分鐘內(nèi)，執(zhí)行5次uv量測(cè)模式（耗時(shí)4分鐘×5=20分鐘）后，再執(zhí)行1次滴定量測(cè)（耗時(shí)40分鐘），可產(chǎn)出5筆pr&h2o的量測(cè)數(shù)據(jù)+1筆amine、co2-amine的量測(cè)數(shù)據(jù)；在執(zhí)行滴定量測(cè)模式時(shí)如果也對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)，則在前述60分鐘內(nèi)可產(chǎn)出6筆pr&h2o的量測(cè)數(shù)據(jù)+1筆amine、co2-amine的量測(cè)數(shù)據(jù)。而采用現(xiàn)有的量測(cè)模式，60分鐘僅可產(chǎn)出1筆pr、h2o、amine、co2-amine的數(shù)據(jù)。

uv量測(cè)模式和滴定量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行，相當(dāng)于雙線并行量測(cè)，則需要對(duì)現(xiàn)有的量測(cè)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)進(jìn)行調(diào)整（后述本發(fā)明實(shí)施例二將具體說(shuō)明）。兩種量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行，沒有時(shí)間上的先后，相互之間完全獨(dú)立開來(lái)，互不干擾。uv量測(cè)模式下獲得pr、h2o濃度后立即向主機(jī)反饋，然后進(jìn)行下一次量測(cè)，同時(shí)用于量測(cè)的剝離藥液可直接回流回主機(jī)臺(tái)，不會(huì)因此造成藥液浪費(fèi)。滴定量測(cè)可單獨(dú)進(jìn)行，待滴定量測(cè)完成后再反饋量測(cè)數(shù)據(jù)。這樣在80分鐘內(nèi)，對(duì)比現(xiàn)有量測(cè)方式僅能獲得2筆量測(cè)數(shù)據(jù)，本實(shí)施例的雙線并行量測(cè)可獲得20筆pr&h2o的量測(cè)數(shù)據(jù)+2筆amine、co2-amine的量測(cè)數(shù)據(jù)；同時(shí)，在同樣的時(shí)間內(nèi)雙線并行量測(cè)獲得的量測(cè)數(shù)據(jù)也多于前述本實(shí)施例的單線順序量測(cè)，對(duì)于藥液濃度的調(diào)整更精確。

請(qǐng)參照?qǐng)D2、圖3所示，相應(yīng)于本發(fā)明實(shí)施例一，本發(fā)明實(shí)施例二提供一種剝離藥液成分量測(cè)系統(tǒng)，包括：

紫外分光光度uv量測(cè)單元，用于執(zhí)行uv量測(cè)模式，在第一量測(cè)周期內(nèi)對(duì)剝離藥液中的光阻濃度和水濃度進(jìn)行量測(cè)，并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)；

滴定量測(cè)單元，用于執(zhí)行滴定量測(cè)模式，在第二量測(cè)周期內(nèi)對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)，并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)；

所述uv量測(cè)單元至少執(zhí)行一次所述uv量測(cè)模式之后，所述滴定量測(cè)單元再執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式，或者所述uv量測(cè)模式和所述滴定量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行。

具體地，圖2所示為uv量測(cè)模式和滴定量測(cè)模式單線順序量測(cè)時(shí)，本實(shí)施例的量測(cè)系統(tǒng)的原理框圖。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)施例在uv量測(cè)單元執(zhí)行uv量測(cè)模式時(shí)，實(shí)時(shí)向主機(jī)反饋量測(cè)數(shù)據(jù)，不用等待滴定量測(cè)單元執(zhí)行滴定量測(cè)模式獲得量測(cè)數(shù)據(jù)后再一起反饋，將有效消除滴定量測(cè)模式的時(shí)長(zhǎng)帶來(lái)的負(fù)面影響。

相應(yīng)地，圖3所示為uv量測(cè)模式和滴定量測(cè)模式雙線并行量測(cè)時(shí)，本實(shí)施例的量測(cè)系統(tǒng)的原理框圖。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)施例改進(jìn)了線路連接，uv量測(cè)單元和滴定量測(cè)單元均直接對(duì)剝離藥液采樣進(jìn)行量測(cè)，兩種量測(cè)模式同時(shí)執(zhí)行，沒有時(shí)間上的先后，相互之間完全獨(dú)立開來(lái)，互不干擾。uv量測(cè)模式下獲得pr、h2o濃度后立即向主機(jī)反饋，然后進(jìn)行下一次量測(cè)，同時(shí)用于量測(cè)的剝離藥液可直接回流回主機(jī)臺(tái)，不會(huì)因此造成藥液浪費(fèi)。滴定量測(cè)可單獨(dú)進(jìn)行，待滴定量測(cè)完成后再反饋量測(cè)數(shù)據(jù)。

進(jìn)一步地，所述滴定量測(cè)單元還用于執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式時(shí)，在所述第二量測(cè)周期內(nèi)還對(duì)剝離藥液中的胺濃度和二氧化碳-胺的濃度進(jìn)行量測(cè)并反饋量測(cè)數(shù)據(jù)。這樣滴定量測(cè)模式在第二量測(cè)周期獲得量測(cè)數(shù)據(jù)就包括了光阻濃度、水濃度、胺濃度和二氧化碳-胺濃度，監(jiān)控了所有成分。

進(jìn)一步地，所述uv量測(cè)模式執(zhí)行多次之后再執(zhí)行所述滴定量測(cè)模式，執(zhí)行uv量測(cè)模式的次數(shù)多于執(zhí)行滴定量測(cè)模式的次數(shù)，例如uv量測(cè)模式執(zhí)行x1次，滴定量測(cè)模式執(zhí)行x2次，量測(cè)x1次pr、h2o濃度后，再量測(cè)x2次amine、co2-amine濃度，這樣可在不改造硬件結(jié)構(gòu)條件下縮短pr量測(cè)周期，更實(shí)時(shí)反饋pr濃度。當(dāng)然，為了不過分拖延滴定量測(cè)的執(zhí)行，uv量測(cè)模式花費(fèi)的總時(shí)間應(yīng)不超過滴定量測(cè)模式的第二量測(cè)周期。

作為一種示例，第一量測(cè)周期為4分鐘?？梢岳斫獾氖?，第一量測(cè)周期是量測(cè)兩個(gè)tank的剝離藥液中的光阻濃度和水濃度的時(shí)間。作為一種示例，第二量測(cè)周期為40分鐘?？梢岳斫獾氖?，第二量測(cè)周期是量測(cè)兩個(gè)tank的剝離藥液中的胺、二氧化碳-胺的時(shí)間。

通過上述說(shuō)明可知，本發(fā)明實(shí)施例的有益效果在于：根據(jù)uv量測(cè)速度快的特點(diǎn)，可在其量測(cè)完成后即反饋量測(cè)數(shù)據(jù)，同時(shí)再次取樣立即進(jìn)行下一次量測(cè)，這樣pr濃度數(shù)據(jù)的產(chǎn)出周期可大大縮短，且能及時(shí)量測(cè)pr濃度，以減少藥液消耗，維持pr濃度在一定水準(zhǔn)，提高制程穩(wěn)定性；而amine、co2-amine滴定量測(cè)時(shí)間較長(zhǎng)，可使其單獨(dú)量測(cè)，這樣能監(jiān)控藥液所有成分濃度。

以上所揭露的僅為本發(fā)明較佳實(shí)施例而已，當(dāng)然不能以此來(lái)限定本發(fā)明之權(quán)利范圍，因此依本發(fā)明權(quán)利要求所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。