技術特征：

技術總結
本發(fā)明公開了一種MEMS重力儀；包括：振子單元，位移傳感結構，位移檢測電路，腔體和水平調(diào)節(jié)基座；振子單元設置在腔體的內(nèi)部，振子單元包括：負剛度彈簧、正剛度彈簧、檢驗質(zhì)量和外框；檢驗質(zhì)量通過正剛度彈簧和負剛度彈簧與外框相連，且正剛度彈簧與負剛度彈簧關于檢驗質(zhì)量對稱設置，外框與腔體固聯(lián)；位移傳感結構設置在檢驗質(zhì)量的表面，位移檢測電路用于檢測位移傳感結構的位移信號；振子單元通過正負剛度彈簧的匹配實現(xiàn)本征頻率的降低；通過檢測檢驗質(zhì)量的位移進而檢測重力加速度的變化。MEMS重力儀穩(wěn)定性高，體積小，質(zhì)量輕，能夠有效地降低生產(chǎn)成本，并且能有效降低信號檢測單元和穩(wěn)定平臺的研發(fā)難度。

技術研發(fā)人員：涂良成;唐世豪;劉金全;范繼
受保護的技術使用者：華中科技大學
技術研發(fā)日：2017.06.19
技術公布日：2017.08.25