技術特征：

技術總結
本發(fā)明涉及材料領域，一種測量薄膜導熱系數(shù)的裝置包括襯底、待測薄膜、位移臺、光電二極管、可見光源、紅外攝像機、透孔、計算機，襯底由銅制成并位于樣品架，待測薄膜位于襯底上面，光電二極管連接位移臺下側，紅外攝像機固定于襯底正上方且高于位移臺，可見光源從襯底下方向上照射，待測薄膜和襯底吸收光能后產(chǎn)生熱流，通過對薄膜溫度增量、光照能量密度、薄膜光吸收率、薄膜厚度等參數(shù)的計算能夠得到薄膜導熱系數(shù)；襯底具有貫穿上下表面的形狀一致的若干透孔，襯底能夠作為導熱通道，以快速將多余熱量傳輸走，使得待測薄膜產(chǎn)生溫度梯度，襯底又能夠作為光掩膜反射了大部分入射光，即使在可見光源最高光強照射下，襯底溫度的上升在1K之內(nèi)。

技術研發(fā)人員：趙永建;方曉華;張向平
受保護的技術使用者：金華職業(yè)技術學院
技術研發(fā)日：2017.05.18
技術公布日：2017.08.18