技術(shù)編號：11516026
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及材料性質(zhì)表征技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種具有帶孔的襯底、能夠?qū)^對溫度的測量精度的要求降低、簡化實(shí)驗(yàn)過程的一種測量薄膜導(dǎo)熱系數(shù)的裝置。背景技術(shù)現(xiàn)有測量薄膜導(dǎo)熱系數(shù)的方法包括拉曼頻移方法、光學(xué)泵浦-探測技術(shù)等，其共同缺點(diǎn)是實(shí)驗(yàn)前的校準(zhǔn)過程過于復(fù)雜；紅外熱成像技術(shù)有測量速度快的優(yōu)點(diǎn)，但是使用紅外熱成像技術(shù)確定薄膜面內(nèi)導(dǎo)熱系數(shù)時通常使用埃格斯特朗方法，其缺點(diǎn)是對樣品上照亮區(qū)域的定位精度要求較高，即需要聚焦激光束，從而會增加樣品損壞的風(fēng)險。所述一種測量薄膜導(dǎo)熱系數(shù)的裝置能解決這一問題。發(fā)明內(nèi)容為了解決...
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