技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明一種高靈敏度且大形變量的柔性應(yīng)力傳感器及其制造方法。本發(fā)明通過(guò)使用陽(yáng)極氧化鋁模板在硅橡膠基底上引入團(tuán)簇的納米線結(jié)構(gòu)，在其上面噴鍍一層金屬膜作為導(dǎo)電層，相對(duì)于無(wú)結(jié)構(gòu)的基底極大地提高了柔性應(yīng)力傳感器的拉伸范圍，同時(shí)傳感器具有極高的靈敏度。本發(fā)明的傳感器通過(guò)中間存在的納米線結(jié)構(gòu)減緩基底拉伸對(duì)頂部金屬膜的影響，避免了金屬膜貫穿性裂痕的產(chǎn)生和電阻值的急劇上升，從而提高基于金屬膜的傳感器拉伸范圍。本發(fā)明的柔性應(yīng)力傳感器具有以下優(yōu)點(diǎn)：具有大的拉伸范圍，最大可以探測(cè)130％的形變；極高的靈敏度，靈敏度參數(shù)(GaugeFactor)最高達(dá)到3.3×107，初始狀態(tài)最小可探測(cè)0.015％的形變；制備流程簡(jiǎn)單，成本低。

技術(shù)研發(fā)人員：苗偉寧;鄭爽;肖夢(mèng)婕;田野;江雷
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京航空航天大學(xué)
文檔號(hào)碼：201710291096
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.28
技術(shù)公布日：2017.06.27