技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種用于光學(xué)元件加工質(zhì)量在線檢測(cè)的光纖干涉共焦系統(tǒng)，系統(tǒng)采用光纖器件將白光干涉系統(tǒng)和激光共焦系統(tǒng)進(jìn)行了共光路集成，以實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件多參數(shù)同步在線檢測(cè)。其中，使用光延遲線和壓電陶瓷相結(jié)合的光程調(diào)整方法以迅速定位干涉位置并實(shí)現(xiàn)軸向掃描；將CCD相機(jī)和多孔環(huán)帶濾波器插件等器件以空間光路的形式集成于測(cè)量探頭，可實(shí)現(xiàn)白光干涉全場(chǎng)測(cè)量以及激光共焦高分辨率測(cè)量；集成測(cè)量探頭馱載于五維運(yùn)動(dòng)臺(tái)上，可實(shí)現(xiàn)測(cè)量探頭的高自由度位姿調(diào)整。本發(fā)明系統(tǒng)具有尺寸小、結(jié)構(gòu)緊湊、抗干擾能力強(qiáng)等特點(diǎn)，測(cè)量探頭與系統(tǒng)主體裝置分離且空間距離可靈活調(diào)整，無(wú)需調(diào)整待測(cè)光學(xué)元件位置，對(duì)于大口徑光學(xué)元件加工質(zhì)量的在線檢測(cè)具有很大的優(yōu)勢(shì)。

技術(shù)研發(fā)人員：楊樹(shù)明;張國(guó)鋒;薛興昌;楊新宇;楊林林
受保護(hù)的技術(shù)使用者：西安交通大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.25
技術(shù)公布日：2017.09.08