技術(shù)編號：11227924
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)、電子技術(shù)、精密機械、顯微攝像等多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域，具體涉及一種用于光學(xué)元件加工質(zhì)量在線檢測的光纖干涉共焦系統(tǒng)。背景技術(shù)大口徑光學(xué)元件對現(xiàn)代信息科學(xué)具有極為重要的意義。隨著加工精度的不斷發(fā)展，大口徑光學(xué)元件的加工精度不斷提高，其形狀精度需要達(dá)到與光波長相同或者更高量級，表面粗糙度Ra值小于光波長的1/10，也就是處于亞微米或納米水平；另一方面，由于大口徑光學(xué)元件的面形參數(shù)往往處于宏觀尺度，這要求測試系統(tǒng)在測量中能夠兼顧大范圍和高精度測量。大口徑光學(xué)元件的高精度檢測包括表面面形...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。