本申請涉及激光技術領域，特別是涉及一種波長測量系統(tǒng)和一種激光波長測量系統(tǒng)的測量方法。

背景技術：

在光通訊領域發(fā)射機光源的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，從晶圓生長，芯片的切割、封裝，元器件的耦合、封裝、再到模塊的組裝，中間經(jīng)過了數(shù)十道復雜的工序，每一個工序都需要大量的波長測量操作。如果光源為可調諧激光器，相比于固定波長激光器，波長測試的工作量更是成倍地增加，為找出激光器的工作點，需要測量波長的測試次數(shù)將多達幾萬甚至數(shù)十萬次。

基于發(fā)射機光源生產(chǎn)中大量的波長測量需求，采用常規(guī)的光譜分析儀或波長計來測量會帶來巨大的時間成本和設備價格成本。本申請?zhí)峁┮环N波長測量系統(tǒng)，用以解決波長測試的成本問題，實現(xiàn)快速、精準、低成本地測量激光波長。

技術實現(xiàn)要素：

鑒于上述問題，提出了本申請實施例以便提供一種克服上述問題或者至少部分地解決上述問題的一種波長測量系統(tǒng)和相應的一種波長測量系統(tǒng)的波長測量方法。

為了解決上述問題，本申請實施例公開了一種波長測量系統(tǒng)，包括：

分光模塊、雙法布里-玻羅干涉標準具模塊、線性濾波器、第一光電探測器以及第二光電探測器；

所述分光模塊用于將輸入的待測激光分成多路，并分別輸入到所述線性濾波器、所述第一光電探測器和所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊；

入射到所述線性濾波器的激光輸出到所述第二光電探測器；

所述第一光電探測器測量的光電流和所述第二光電探測器測量的光電流用于計算激光通過線性濾波器的透射率，用以測量初步波長；

所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊用于測量多個精確波長，所述多個精確波長與所述初步波長用于確定所述待測激光的波長。

優(yōu)選的，所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊包括：第一分光鏡、第二分光鏡、第一法布里-玻羅干涉標準具、第二法布里-玻羅干涉標準具、第三光電探測器、第四光電探測器、第五光電探測器、第六光電探測器；

入射到所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊的激光經(jīng)過所述第一分光鏡后，一部分激光被反射進入所述第一法布里-玻羅干涉標準具，另一部分透過所述第一分光鏡進入所述第二分光鏡；

入射到所述第一法布里-玻羅干涉標準具的激光輸出到所述第三光電探測器；

入射到所述第二分光鏡的激光，一部分被反射進入所述第二法布里-玻羅干涉標準具，另一部分透過所述第二分光鏡輸出到所述第四光電探測器；

入射到所述第二法布里-玻羅干涉標準具的激光，一部分通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具進入所述第五光電探測器；另一部分被所述第二法布里-玻羅干涉標準具反射，再次進入所述第二分光鏡；

由所述第二法布里-玻羅干涉標準具反射進入所述第二分光鏡的激光，一部分透過所述第二反光鏡進入所述第六光電探測器；

所述第三光電探測器測量的光電流和所述第四光電探測器測量的光電流用于計算激光通過所述第一法布里-玻羅干涉標準具的透射率，用以確定多個第一精確波長；

所述第五光電探測器測量的光電流和所述第六光電探測器測量的光電流用于計算激光通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具的透射率，用以確定多個第二精確波長；

所述多個第一精確波長、所述多個第二精確波長，與所述初步波長用于確定所述待測激光的波長。

優(yōu)選的，所述分光模塊包括：1x4分光器、光耦合器、平面光波導式的分光器件。

優(yōu)選的，所述第一法布里-玻羅干涉標準具和所述第二法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線的頻率周期相同。

優(yōu)選的，所述第一法布里-玻羅干涉標準具和所述第二法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線的頻率周期，小于所述線性濾波器的頻率誤差范圍。

優(yōu)選的，所述第一法布里-玻羅干涉標準具和所述第二法布里-玻羅干涉標準具之間的透射率譜線的最大值點的位置錯開四分之一個頻率周期。

優(yōu)選的，所述分光模塊、所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊、所述線性濾波器、所述第一光電探測器以及所述第二光電探測器為光纖器件；

所述分光模塊與所述線性濾波器通過光纖連接器連接；

所述線性濾波器與所述第二光電探測器通過光纖連接器連接；

所述分光模塊與所述第一光電探測器通過光纖連接器連接；

所述分光模塊與所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊通過光纖連接器連接。

優(yōu)選的，所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊還包括光纖準直器，所述光纖準直器用于將光纖連接器輸出的入射光轉換為準直光。

本申請實施例還公開了一種波長測量系統(tǒng)的波長測量方法，其中，所述波長測量系統(tǒng)包括：分光模塊、雙法布里-玻羅干涉標準具模塊、線性濾波器、第一光電探測器以及第二光電探測器；所述分光模塊用于將輸入的待測激光分成多路，并分別輸入到所述線性濾波器、所述第一光電探測器和所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊；入射到所述線性濾波器的激光輸出到所述第二光電探測器；所述的方法包括：

獲取所述第一光電探測器和所述第二光電探測器的測量的光電流；

采用所述第一光電探測器和所述第二光電探測器的測量的光電流，計算激光通過線性濾波器的透射率；

確定所述激光通過線性濾波器的透射率所對應的初步波長；

采用所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊，計算多個精確波長；

根據(jù)所述多個精確波長與所述初步波長確定所述待測激光的波長。

優(yōu)選的，所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊包括：第一分光鏡、第二分光鏡、第一法布里-玻羅干涉標準具、第二法布里-玻羅干涉標準具、第三光電探測器、第四光電探測器、第五光電探測器、第六光電探測器；入射到所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊的激光經(jīng)過所述第一分光鏡后，一部分激光被反射進入所述第一法布里-玻羅干涉標準具，另一部分透過所述第一分光鏡進入所述第二分光鏡；入射到所述第一法布里-玻羅干涉標準具的激光輸出到所述第三光電探測器；入射到所述第二分光鏡的激光，一部分被反射進入所述第二法布里-玻羅干涉標準具，另一部分透過所述第二分光鏡輸出到所述第四光電探測器；入射到所述第二法布里-玻羅干涉標準具的激光，一部分通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具進入所述第五光電探測器；另一部分被所述第二法布里-玻羅干涉標準具反射，再次進入所述第二分光鏡；由所述第二法布里-玻羅干涉標準具反射進入所述第二分光鏡的激光，一部分透過所述第二反光鏡進入所述第六光電探測器；

所述采用所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊，計算多個精確波長的步驟包括：

獲取所述第三光電探測器和所述第四光電探測器測量的光電流；

采用所述第三光電探測器和所述第四光電探測器測量的光電流，計算激光通過所述第一法布里-玻羅干涉標準具的透射率；

獲取所述第五光電探測器和所述第六光電探測器測量的光電流；

采用所述第五光電探測器和所述第六光電探測器測量的光電流，計算激光通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具的透射率；

根據(jù)激光通過所述第一法布里-玻羅干涉標準具的透射率，確定多個第一精確波長；

根據(jù)激光通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具的透射率，確定多個第二精確波長。

本申請實施例包括以下優(yōu)點：

在本申請實施例中，利用線性濾波器可以大致的測量激光的波長。在線性濾波器的頻率誤差范圍內，雙法布里-玻羅干涉標準具模塊中的兩個法布里-玻羅干涉標準具可以實現(xiàn)在連續(xù)的頻域內高精度的測量激光波長。

本申請實施例的波長測量系統(tǒng)測量波長時，只需測量系統(tǒng)中六個光電探測器的光電流信息即可測得波長，把測量波長轉化為測量光電流，能實現(xiàn)微秒級別高速的測量波長。

整個波長測量系統(tǒng)的結構簡單，極大地降低波長測量的成本。

附圖說明

圖1是本申請的一種波長測量系統(tǒng)實施例的結構框圖；

圖2是為本申請實施例中線性濾波器的透射率譜線圖；

圖3是法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線的示意圖；

圖4是本申請實施例中雙法布里-玻羅干涉標準具模塊測量波長的示意圖；

圖5是本申請的一種波長測量系統(tǒng)的波長測量方法實施例的步驟流程圖。

具體實施方式

為使本申請的上述目的、特征和優(yōu)點能夠更加明顯易懂，下面結合附圖和具體實施方式對本申請作進一步詳細的說明。

激光波長的測量，通常用光譜分析儀或波長計這兩種設備測量。光譜分析儀的出現(xiàn)至今有很長的歷史，采用的技術也比較多，主要有棱鏡光譜儀和光柵光譜儀。在光通信領域，激光波長的測量主要使用波長計。波長計的測量精度較高。

光譜分析儀測量波長的精度較差，各種型號的光譜分析儀的波長精度從10pm至100pm不等，測量的時間也長，從0.2秒到0.5秒不等。波長計測量激光波長，雖測量精度高，但測量時間也長，從0.25秒至0.5秒不等。光譜分析儀及波長計設備都非常昂貴，一個臺設備的價格要數(shù)萬美元，造成了波長測量的成本非常高。

參照圖1，示出了本申請的一種波長測量系統(tǒng)實施例的結構框圖，具體可以包括：

分光模塊11、雙法布里-玻羅干涉標準具etalon模塊12、線性濾波器13、第一光電探測器14以及第二光電探測器15；

所述分光模塊11用于將輸入的待測激光分成多路，并分別輸入到所述線性濾波器13、所述第一光電探測器14和所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊12；

在本申請實施例中，分光模塊11可以包括：1x4分光器、光耦合器、平面光波導式的分光器件；

入射到所述線性濾波器13的激光輸出到所述第二光電探測器15；

所述第一光電探測器14測量的光電流和所述第二光電探測器15測量的光電流用于計算激光通過線性濾波器13的透射率，用以測量初步波長；

所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊12用于測量多個精確波長，所述多個精確波長與所述初步波長用于確定所述待測激光的波長。

參照圖2所示為本申請實施例中線性濾波器的透射率譜線圖。

線性濾波器的透射率隨波長單調遞增(或者是遞減)，利用譜線中透射率與波長的對應關系，可以利用它來測量波長。如果待測激光通過線性濾波器的透射率知道了，就可以通過線性濾波器譜線中透射率與波長的關系，得到波長。本申請實施例的波長測量系統(tǒng)利用第一光電探測器測量參考光的光電流，利用第二光電探測器測量線性濾波器透射光的光電流。將第二光電探測器測量的光電流除以第一光電探測器測量的光電流得到透射率，進而根據(jù)透射率譜線得到初步波長。

由于線性濾波器的制作工藝、非線性效應等因素影響，其測得的波長存在一定誤差，但是可以把待測激光波長確定在一個較小的范圍，這時利用雙法布里-玻羅干涉標準具模塊在這個誤差范圍內精確測量波長。

在本申請實施例中，利用線性濾波器可以大致的測量激光的波長。在線性濾波器的頻率誤差范圍內，雙法布里-玻羅干涉標準具模塊中的兩個法布里-玻羅干涉標準具可以實現(xiàn)在連續(xù)的頻域內高精度的測量激光波長。

在本申請實施例中，所述分光模塊11、所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊12、所述線性濾波器13、所述第一光電探測器14以及所述第二光電探測器15都為光纖器件；

所述分光模塊11與所述線性濾波器13通過光纖連接器連接；

所述線性濾波器13與所述第二光電探測器15通過光纖連接器連接；

所述分光模塊11與所述第一光電探測器14通過光纖連接器連接；

所述分光模塊11與所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊12通過光纖連接器連接。

在本申請實施例中，雙法布里-玻羅干涉標準具模塊12可以包括：第一分光鏡121、第二分光鏡122、第一法布里-玻羅干涉標準具123、第二法布里-玻羅干涉標準具124、第三光電探測器125、第四光電探測器126、第五光電探測器127、第六光電探測器128；

入射到所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊12的激光經(jīng)過所述第一分光鏡121后，一部分激光被第一分光鏡121反射進入所述第一法布里-玻羅干涉標準具123，另一部分透過所述第一分光鏡121進入所述第二分光鏡122；

入射到所述第一法布里-玻羅干涉標準具123的激光輸出到所述第三光電探測器125；

入射到所述第二分光鏡122的激光，一部分被所述第二分光鏡122反射進入所述第二法布里-玻羅干涉標準具124，另一部分透過所述第二分光鏡122輸出到所述第四光電探測器126；

入射到所述第二法布里-玻羅干涉標準具124的激光，一部分通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具124進入所述第五光電探測器127；另一部分被所述第二法布里-玻羅干涉標準具124反射，再次進入所述第二分光鏡122；

由所述第二法布里-玻羅干涉標準具124反射進入所述第二分光鏡122的激光，一部分透過所述第二反光鏡122進入所述第六光電探測器128；

所述第三光電探測器125測量的光電流和所述第四光電探測器126測量的光電流用于計算激光通過所述第一法布里-玻羅干涉標準具123的透射率，用以確定多個第一精確波長；

所述第五光電探測器127測量的光電流和所述第六光電探測器128測量的光電流用于計算激光通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具124的透射率，用以確定多個第二精確波長；

所述多個第一精確波長、所述多個第二精確波長，與所述初步波長用于確定所述待測激光的波長。

參照圖3為法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線的示意圖。經(jīng)過法布里-玻羅干涉標準具的激光的透射率，隨激光的頻率呈周期性變化，并且頻率周期較小，因此可以用于準確的測量激光頻率。

由于法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線是周期性的，因此一個透射率對應多個頻率，也就是一個透射率對應多個波長。通常法布里-玻羅干涉標準具被制作為精確測量某一頻率段內的頻率，測量范圍在一個或幾個頻率周期之間。也就是說通過一個法布里-玻羅干涉標準具的激光的透射率所對應的測量波長是在一固定頻率段內的。

又由于線性濾波器能唯一確定初步波長，因此可以將多個第一精確波長中與初步波長最接近的波長，或者將多個第二精確波長中與初步波長最接近的波長作為待測激光的波長。

在本申請實施例中，使用不同波段的線性濾波器，即可靈活切換波長測量系統(tǒng)的工作波段。

在本申請實施例中，所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊12還包括光纖準直器(圖中未示出)，所述光纖準直器用于將光纖連接器輸出的入射光轉換為準直光。分光模塊11通過光纖連接器與雙法布里-玻羅干涉標準具模塊12的光纖準直器連接，光纖輸出的光經(jīng)過光纖準直器后轉換為準直光，然后入射到第一分光鏡121。

在本申請實施例中，所述第一法布里-玻羅干涉標準具123和所述第二法布里-玻羅干涉標準具124的透射率譜線的頻率周期相同，并且所述第一法布里-玻羅干涉標準具123和所述第二法布里-玻羅干涉標準具124的透射率譜線的頻率周期，小于所述線性濾波器13的頻率誤差范圍。線性濾波器的誤差范圍一般在數(shù)十ghz至100ghz之間，在這里用頻率來表示波長單位。

在本申請實施例中，雙法布里-玻羅干涉標準具模塊12還可以包括：與所述第一法布里-玻羅干涉標準具123連接的第一帕爾貼(圖中未示出)，與所述第二法布里-玻羅干涉標準具124連接的第二帕爾貼(圖中未示出)，用于測量所述第一法布里-玻羅干涉標準具123的溫度的第一溫度傳感器(圖中未示出)，以及用于測量所述第二法布里-玻羅干涉標準具124的溫度的第二溫度傳感器(圖中未示出)。

法布里-玻羅干涉標準具是溫度敏感光器件，在標準具模塊工作時，需要分別對兩個標準具進行控溫，讓它們在設定的工作溫度環(huán)境中工作。

在本申請實施例中，根據(jù)第一溫度傳感器測量第一法布里-玻羅干涉標準具123的溫度，由第一帕爾貼控制第一法布里-玻羅干涉標準具123的工作溫度保持恒定。

根據(jù)第二溫度傳感器測量第一法布里-玻羅干涉標準具124的溫度，由第二帕爾貼控制第二法布里-玻羅干涉標準具124的工作溫度保持恒定。

參照圖4為本申請實施例中雙法布里-玻羅干涉標準具模塊測量波長的示意圖。在本申請實施例中，所述第一法布里-玻羅干涉標準具123和所述第二法布里-玻羅干涉標準具124之間的透射率譜線的最大值點的位置錯開四分之一個頻率周期。在法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線中，在峰值和谷值附近的譜線的斜率較低，因而分辨率較低。在峰值和峰谷之間的譜線的斜率較高，分辨率較高。將第一法布里-玻羅干涉標準具123和第二法布里-玻羅干涉標準具124之間的透射率譜線的最大值點的位置錯開四分之一個頻率周期的好處是，在兩個法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線中，待測激光的透射率位于至少一條透射率譜線中斜率較大的區(qū)域，即實現(xiàn)在連續(xù)的頻域內精確測量波長。

如上所述，可以將多個第一精確波長中與初步波長最接近的波長作為待測激光的波長，或者將多個第二精確波長中與初步波長最接近的波長作為待測激光的波長。

在選擇是將多個第一精確波長中與初步波長最接近的波長作為待測激光的波長，或者將多個第二精確波長中與初步波長最接近的波長作為待測激光的波長時，可以根據(jù)波長所對應在透射率譜線的位置的斜率來選擇。將波長所對應在透射率譜線的位置的斜率較大的波長，作為待測激光的波長。

例如，多個第一精確波長中與初步波長最接近的波長對應在透射率譜線的位置為波峰，多個第二精確波長中與初步波長最接近的波長對應在透射率譜線的位置為在波峰和波谷之間的位置。由于波峰和波谷之間的位置的斜率較大，因此選擇多個第二精確波長中與初步波長最接近的波長作為待測激光的波長。

本申請實施例的波長測量系統(tǒng)測量波長時，只需測量系統(tǒng)中六個光電探測器的光電流信息即可測得波長，把測量波長轉化為測量光電流，能實現(xiàn)微秒級別高速的測量波長。

雙法布里-玻羅干涉標準具模塊中，兩個法布里-玻羅干涉標準具之間的透射率譜線的最大值點的位置錯開四分之一個頻率周期，可以實現(xiàn)在連續(xù)的頻域內精確測量波長。

整個波長測量系統(tǒng)的結構簡單，極大地降低波長測量的成本。

參照圖5示出了本申請的一種波長測量系統(tǒng)的波長測量方法實施例的步驟流程圖，其中，所述波長測量系統(tǒng)包括：分光模塊、雙法布里-玻羅干涉標準具模塊、線性濾波器、第一光電探測器以及第二光電探測器；所述分光模塊用于將輸入的待測激光分成多路，并分別輸入到所述線性濾波器、所述第一光電探測器和所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊；入射到所述線性濾波器的激光輸出到所述第二光電探測器；所述的方法可以包括：

步驟201，獲取所述第一光電探測器和所述第二光電探測器的測量的光電流；

在本申請實施例中，分光模塊11可以包括：1x4分光器、光耦合器、平面光波導式的分光器件。

步驟202，采用所述第一光電探測器和所述第二光電探測器的測量的光電流，計算激光通過線性濾波器的透射率；

將第二光電探測器測量的光電流除以第一光電探測器測量的光電流得到激光通過線性濾波器的透射率。

步驟203，確定所述激光通過線性濾波器的透射率所對應的初步波長；

根據(jù)線性濾波器的透射率譜線，可以確定透射率所對應的初步波長。

步驟204，采用所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊，計算多個精確波長；

由于法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線是周期性的，因此一個透射率對應多個頻率，也就是一個透射率對應多個波長。

步驟205，根據(jù)所述多個精確波長與所述初步波長，確定所述待測激光的波長。

在本申請實施例中，所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊包括：第一分光鏡、第二分光鏡、第一法布里-玻羅干涉標準具、第二法布里-玻羅干涉標準具、第三光電探測器、第四光電探測器、第五光電探測器、第六光電探測器；入射到所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊的激光經(jīng)過所述第一分光鏡后，一部分激光被反射進入所述第一法布里-玻羅干涉標準具，另一部分透過所述第一分光鏡進入所述第二分光鏡；入射到所述第一法布里-玻羅干涉標準具的激光輸出到所述第三光電探測器；入射到所述第二分光鏡的激光，一部分被反射進入所述第二法布里-玻羅干涉標準具，另一部分透過所述第二分光鏡輸出到所述第四光電探測器；入射到所述第二法布里-玻羅干涉標準具的激光，一部分通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具進入所述第五光電探測器；另一部分被所述第二法布里-玻羅干涉標準具反射，再次進入所述第二分光鏡；由所述第二法布里-玻羅干涉標準具反射進入所述第二分光鏡的激光，一部分透過所述第二反光鏡進入所述第六光電探測器；

所述步驟204具體可以包括如下子步驟：

子步驟s11，獲取所述第三光電探測器和所述第四光電探測器測量的光電流；

子步驟s12，采用所述第三光電探測器和所述第四光電探測器測量的光電流，計算激光通過所述第一法布里-玻羅干涉標準具的透射率；

子步驟s13，獲取所述第五光電探測器和所述第六光電探測器測量的光電流；

子步驟s14，采用所述第五光電探測器和所述第六光電探測器測量的光電流，計算激光通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具的透射率；

子步驟s15，根據(jù)激光通過所述第一法布里-玻羅干涉標準具的透射率，確定多個第一精確波長；

子步驟s16，根據(jù)激光通過所述第二法布里-玻羅干涉標準具的透射率，確定多個第二精確波長。

所述步驟205具體可以包括：

子步驟s21，將所述多個第一精確波長中與所述初步波長最接近的波長，或者，所述多個第二精確波長中與所述初步波長最接近的波長，作為所述待測激光的波長。

在本申請實施例中，所述第一法布里-玻羅干涉標準具和所述第二法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線的頻率周期相同。所述第一法布里-玻羅干涉標準具和所述第二法布里-玻羅干涉標準具之間的透射率譜線的最大值點的位置錯開四分之一個頻率周期。

在本申請實施例中，所述子步驟s21具體可以包括：

確定所述多個第一精確波長中與所述初步波長最接近的波長，對應在透射率譜線的第一位置；

確定所述多個第二精確波長中與所述初步波長最接近的波長，對應在透射率譜線的第二位置；

比較所述第一位置和所述第二位置的斜率。

將對應位置的斜率較高的波長作為待測激光的波長。

在本申請實施例中，所述第一法布里-玻羅干涉標準具和所述第二法布里-玻羅干涉標準具的透射率譜線的頻率周期，小于所述線性濾波器的頻率誤差范圍。

在本申請實施例中，所述分光模塊、所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊、所述線性濾波器、所述第一光電探測器以及所述第二光電探測器為光纖器件；

所述分光模塊與所述線性濾波器通過光纖連接器連接；

所述線性濾波器與所述第二光電探測器通過光纖連接器連接；

所述分光模塊與所述第一光電探測器通過光纖連接器連接；

所述分光模塊與所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊通過光纖連接器連接。

在本申請實施例中，所述雙法布里-玻羅干涉標準具模塊還包括光纖準直器，所述光纖準直器用于將光纖連接器輸出的入射光轉換為準直光。

本申請實施例的波長測量系統(tǒng)測量波長時，只需測量系統(tǒng)中六個光電探測器的光電流信息即可測得波長，把測量波長轉化為測量光電流，能實現(xiàn)微秒級別高速的測量波長。

雙法布里-玻羅干涉標準具模塊中，兩個法布里-玻羅干涉標準具之間的透射率譜線的最大值點的位置錯開四分之一個頻率周期，可以實現(xiàn)在連續(xù)的頻域內精確測量波長。

本說明書中的各個實施例均采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似的部分互相參見即可。

本領域內的技術人員應明白，本申請實施例的實施例可提供為方法、裝置、或計算機程序產(chǎn)品。因此，本申請實施例可采用完全硬件實施例、完全軟件實施例、或結合軟件和硬件方面的實施例的形式。而且，本申請實施例可采用在一個或多個其中包含有計算機可用程序代碼的計算機可用存儲介質(包括但不限于磁盤存儲器、cd-rom、光學存儲器等)上實施的計算機程序產(chǎn)品的形式。

本申請實施例是參照根據(jù)本申請實施例的方法、終端設備(系統(tǒng))、和計算機程序產(chǎn)品的流程圖和/或方框圖來描述的。應理解可由計算機程序指令實現(xiàn)流程圖和/或方框圖中的每一流程和/或方框、以及流程圖和/或方框圖中的流程和/或方框的結合?？商峁┻@些計算機程序指令到通用計算機、專用計算機、嵌入式處理機或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設備的處理器以產(chǎn)生一個機器，使得通過計算機或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設備的處理器執(zhí)行的指令產(chǎn)生用于實現(xiàn)在流程圖一個流程或多個流程和/或方框圖一個方框或多個方框中指定的功能的裝置。

這些計算機程序指令也可存儲在能引導計算機或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設備以特定方式工作的計算機可讀存儲器中，使得存儲在該計算機可讀存儲器中的指令產(chǎn)生包括指令裝置的制造品，該指令裝置實現(xiàn)在流程圖一個流程或多個流程和/或方框圖一個方框或多個方框中指定的功能。

這些計算機程序指令也可裝載到計算機或其他可編程數(shù)據(jù)處理終端設備上，使得在計算機或其他可編程終端設備上執(zhí)行一系列操作步驟以產(chǎn)生計算機實現(xiàn)的處理，從而在計算機或其他可編程終端設備上執(zhí)行的指令提供用于實現(xiàn)在流程圖一個流程或多個流程和/或方框圖一個方框或多個方框中指定的功能的步驟。

盡管已描述了本申請實施例的優(yōu)選實施例，但本領域內的技術人員一旦得知了基本創(chuàng)造性概念，則可對這些實施例做出另外的變更和修改。所以，所附權利要求意欲解釋為包括優(yōu)選實施例以及落入本申請實施例范圍的所有變更和修改。

最后，還需要說明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關系術語僅僅用來將一個實體或者操作與另一個實體或操作區(qū)分開來，而不一定要求或者暗示這些實體或操作之間存在任何這種實際的關系或者順序。而且，術語“包括”、“包含”或者其任何其他變體意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過程、方法、物品或者終端設備不僅包括那些要素，而且還包括沒有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過程、方法、物品或者終端設備所固有的要素。在沒有更多限制的情況下，由語句“包括一個……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的過程、方法、物品或者終端設備中還存在另外的相同要素。

以上對本申請所提供的一種波長測量系統(tǒng)和相應的一種波長測量系統(tǒng)的波長測量方法，進行了詳細介紹，本文中應用了具體個例對本申請的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本申請的方法及其核心思想；同時，對于本領域的一般技術人員，依據(jù)本申請的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本申請的限制。