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無(wú)線無(wú)源氣體、溫度雙參數(shù)傳感器及其制備方法與流程

文檔序號(hào):11474190閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域,為解決現(xiàn)有氣體傳感器穩(wěn)定性差、重復(fù)使用率低及需要電源供電導(dǎo)致傳感器壽命年限短、不能在高溫工作的技術(shù)問(wèn)題,提供了一種無(wú)線無(wú)源氣體、溫度雙參數(shù)傳感器及其制備方法,傳感器包括介質(zhì)基底,介質(zhì)基底的一側(cè)設(shè)置氣體測(cè)試電感線圈和叉指電容,叉指電容設(shè)置在氣體測(cè)試電感線圈的內(nèi)側(cè),且叉指電容與氣體測(cè)試電感線圈的內(nèi)圈相連,叉指電容表面附著GO/In2O3氣敏薄膜,介質(zhì)基底的另一側(cè)設(shè)置溫度測(cè)試線圈,溫度測(cè)試線圈與其自身存在的寄生電容形成一個(gè)LC諧振回路。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單合理,利用無(wú)線無(wú)源的方法進(jìn)行測(cè)量,提高了測(cè)量的穩(wěn)定性,降低了功耗,利于實(shí)現(xiàn)氣體、溫度雙參數(shù)傳感器的一體化、微型化,便于加工,成本低廉。

技術(shù)研發(fā)人員:譚秋林;郭曉威;熊繼軍;翟成瑞;張文棟;董和磊;王海星;張磊;郭彥杰;逯斐;劉文怡
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中北大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.11
技術(shù)公布日:2017.08.22
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