本發(fā)明具體涉及一種基于單晶硅差壓傳感器的靜力水準(zhǔn)儀。

背景技術(shù)：

靜力水準(zhǔn)儀是一種高精密液位測(cè)量儀器，用于測(cè)量基礎(chǔ)和建筑物各個(gè)測(cè)點(diǎn)的相對(duì)沉降，應(yīng)用于大型建筑物，包括水電站廠、大壩、高層建筑物、核電站、水利樞紐工程、鐵路、地鐵、高鐵等各測(cè)點(diǎn)不均勻沉降的測(cè)量。

傳統(tǒng)的靜力水準(zhǔn)儀系統(tǒng)利用連通器原理通過測(cè)量液位變化來測(cè)量位移變化。測(cè)量原理是利用連通器原理的整個(gè)系統(tǒng)液位平衡，測(cè)點(diǎn)液位會(huì)隨著位移變化而變化，通過測(cè)量測(cè)點(diǎn)液位變化從而測(cè)出位移變化。傳統(tǒng)原理測(cè)量量程直接與體積相關(guān)，要想測(cè)量大量程必須要高體積；液體流動(dòng)有遲滯性，只有系統(tǒng)液位徹底平衡后測(cè)量結(jié)果才有效，這就導(dǎo)致系統(tǒng)響應(yīng)速度較慢，一般響應(yīng)時(shí)間在10分鐘左右；并且傳統(tǒng)的靜力水準(zhǔn)儀安裝只能沿液位方向豎直安裝。傳統(tǒng)儀器的這些缺點(diǎn)直接導(dǎo)致在諸如鐵路鐵軌沉降監(jiān)測(cè)，橋梁動(dòng)態(tài)位移監(jiān)測(cè)、鐵塔沉降監(jiān)測(cè)等等需要?jiǎng)討B(tài)監(jiān)測(cè)、安裝空間小、安裝方向隨意的場(chǎng)合的應(yīng)用受到了極大的限制。因此，利用壓力場(chǎng)原理進(jìn)行測(cè)量的靜力水準(zhǔn)儀開始出現(xiàn)，這種靜力水準(zhǔn)儀主要利用差壓傳感器作為壓力采集器，溫度特性優(yōu)良，穩(wěn)定性好，反應(yīng)迅速。

現(xiàn)有技術(shù)中存在一些改進(jìn)型的靜力測(cè)量裝置，如專利號(hào)為201520614833.7的中國實(shí)用新型專利公開了一種靜力水準(zhǔn)儀，其包括本體，該本體設(shè)有測(cè)壓腔與電氣腔，位于大氣側(cè)的該測(cè)壓腔的兩個(gè)側(cè)壁分別設(shè)有進(jìn)水口和出水口，該靜力水準(zhǔn)儀還包括：壓力傳感器，設(shè)置于該電氣腔內(nèi)，且該壓力傳感器用于測(cè)量該測(cè)壓腔內(nèi)的壓力；放大電路模塊，設(shè)置于該電氣腔內(nèi)，且該放大電路模塊可拆卸地連接于該本體，該放大電路模塊與該壓力傳感器電連接；密封模塊，設(shè)置于該本體上，且該密封模塊用于密封該測(cè)壓腔的開口。

這種靜力水準(zhǔn)儀測(cè)量精度比傳統(tǒng)測(cè)量體系的精度高，反應(yīng)時(shí)間快，但是仍存在一些缺陷，采用擴(kuò)散硅芯體壓力傳感器，體積略大，并且整個(gè)靜力水準(zhǔn)儀的外部接口較多，不利于減小靜力水準(zhǔn)儀的體積，用排氣閥進(jìn)行排出氣體，必須配合墊圈等小部件，因此多次使用后，易損壞，穩(wěn)定性差。后蓋采用密封圈和卡槽結(jié)構(gòu)進(jìn)行密封，密封強(qiáng)度不夠高。

鑒于此，設(shè)計(jì)一種體積更加小巧輕便，經(jīng)濟(jì)實(shí)用，排氣機(jī)構(gòu)穩(wěn)定性好，排氣方便、不易損壞，整體連接氣密性好、緊固強(qiáng)度好，更加便于安裝使用的靜力水準(zhǔn)儀，具有重要應(yīng)用價(jià)值。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了進(jìn)一步減小靜力水準(zhǔn)儀的的體積、降低制作成本、增加排氣機(jī)構(gòu)的穩(wěn)定性、改進(jìn)氣密性、提高緊固強(qiáng)度、并更加便于安裝使用，本發(fā)明提供了一種基于單晶硅差壓傳感器的靜力水準(zhǔn)儀。本發(fā)明要解決的技術(shù)問題通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

一種基于單晶硅差壓傳感器的靜力水準(zhǔn)儀，包括上外殼、下外殼和膜盒式單晶硅差壓傳感器，所述上外殼和下外殼通過螺柱固定連接之后圍成封閉的安裝腔；

所述安裝腔被所述上外殼內(nèi)部側(cè)壁上的第一凸起部和所述下外殼內(nèi)部側(cè)壁上的第二凸起部隔成相互連通的右安裝腔和左安裝腔，所述第一凸起部和第二凸起部相對(duì)設(shè)置；

所述膜盒式單晶硅差壓傳感器的主體固定安裝在右安裝腔中，所述膜盒式單晶硅差壓傳感器的尾部位于所述左安裝腔中，所述膜盒式單晶硅差壓傳感器將右安裝腔分隔成互相獨(dú)立的液腔和氣腔，并將所述左安裝腔與所述右安裝腔隔離成互不連通的獨(dú)立腔室；

所述液腔位于靠近所述上外殼一側(cè)，所述氣腔位于靠近所述下外殼一側(cè)；

所述上外殼的側(cè)壁上開設(shè)有與所述液腔連通的進(jìn)液口，所述下外殼的側(cè)壁上開設(shè)有與所述氣腔連通的進(jìn)氣口。

更具體地，本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀中，所述膜盒式單晶硅差壓傳感器的h端壓力膜片與所述液腔充分接觸用于感受液腔內(nèi)的壓力，l端壓力膜片與所述氣腔充分接觸用于感受氣腔內(nèi)的壓力。

更具體地，本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀中，所述上外殼上還設(shè)置有排氣孔，所述排氣孔與所述液腔連通，用于排出液腔中的氣泡。

更具體地，本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀中，所述排氣孔用球頭頂絲進(jìn)行密封。

更具體地，本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀中，所述上外殼上還設(shè)有視窗，所述視窗處安裝有與所述視窗形狀匹配的透明的有機(jī)玻璃。

更具體地，本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀中，所述有機(jī)玻璃和所述視窗之間設(shè)有第一密封圈，采用硅膠材質(zhì)所述膜盒式單晶硅差壓傳感器的h端與所述有機(jī)玻璃之間依次設(shè)有第二密封圈和圓環(huán)狀的頂環(huán)，所述頂環(huán)上具有通孔，該通孔與上外殼上的排氣孔相互連通；

所述液腔通過依次相互壓緊的膜盒式單晶硅差壓傳感器的h端、第二密封圈、頂環(huán)、有機(jī)玻璃、第一密封圈、視窗實(shí)現(xiàn)密封；

所述下外殼與所述膜盒式單晶硅差壓傳感器的l端之間設(shè)有第三密封圈，所述氣腔通過依次相互壓緊的下外殼、第三密封圈、膜盒式單晶硅差壓傳感器的l端實(shí)現(xiàn)密封。

更具體地，本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀中，所述上外殼內(nèi)側(cè)的四個(gè)角位置均設(shè)有一個(gè)螺紋盲孔；

所述下外殼的四個(gè)角位置均具有一個(gè)階梯狀的螺紋通孔，所述螺紋通孔內(nèi)側(cè)直徑較小且與所述螺紋盲孔直徑一致，用于安裝固定螺柱，連接緊固上外殼和下外殼；

所述螺紋通孔外側(cè)孔徑較大，用于將靜力水準(zhǔn)儀固定在測(cè)量點(diǎn)。

更具體地，本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀中，所述下外殼的進(jìn)液口相對(duì)側(cè)壁上開設(shè)有出線孔，所述出線孔為不銹鋼防水過線孔，用于連接信息采集設(shè)備的電纜線。

更具體地，本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀中，所述液腔的內(nèi)壁上涂有防銹油層。

更具體地，本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀中，還包括電路板，所述電路板上設(shè)有信號(hào)轉(zhuǎn)換/放大電路，所述信號(hào)放大電路的輸入端與所述膜盒式單晶硅差壓傳感器尾部的輸出端電纜連接，所述信號(hào)放大電路的輸出端與信息采集設(shè)備電連接。

另一方面，本發(fā)明還提供了一種包括本發(fā)明所述的靜力水準(zhǔn)儀的靜力水準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)。

本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀的有益效果：

1、選用的膜盒式單晶硅差壓傳感器具備：體積小、精度高，成本低，易實(shí)現(xiàn)微壓、長期穩(wěn)定性好、不受溫度影響等特點(diǎn)。

2、外殼上只有一個(gè)進(jìn)液口一個(gè)進(jìn)氣口和一個(gè)出線孔，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)更加便于減小靜力水準(zhǔn)儀的體積，使整體結(jié)構(gòu)更加小巧，便攜；

3、上殼體上設(shè)置安裝有透明的有機(jī)玻璃視窗，便于在測(cè)量時(shí)液體灌注過程中及時(shí)觀察發(fā)現(xiàn)靜力測(cè)量儀中是否存在氣泡，上殼體上還設(shè)有排氣孔，配合安裝時(shí)在液腔內(nèi)壁，使得液腔中的氣泡可以及時(shí)方便的被排出，避免測(cè)量誤差，測(cè)量精度高；

4、排氣孔用球頭頂絲進(jìn)行密封，相比于現(xiàn)有技術(shù)中用排氣閥或者加密封墊的平口頂絲密封方式，沒有易損部件，結(jié)構(gòu)更簡單，穩(wěn)定性更好；

5、液腔內(nèi)壁涂有防銹油層，更利于排氣，也可以提高靜力水準(zhǔn)儀的使用壽命；

6、下外殼上具有階梯狀的螺紋通孔，既可以實(shí)現(xiàn)上外殼和下外殼之間的緊固，同時(shí)還可以更方便的實(shí)現(xiàn)靜力水準(zhǔn)儀與測(cè)點(diǎn)之間的緊固；靜力水準(zhǔn)儀的安裝方向及方法也非常隨意，不需要沿液位方向豎直安裝，適用范圍更廣泛。

以下將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步詳細(xì)說明。

附圖說明

圖1是本發(fā)明靜力水準(zhǔn)儀的爆炸圖；

圖2是本發(fā)明靜力水準(zhǔn)儀的外部側(cè)面視圖；

圖3是的本發(fā)明靜力水準(zhǔn)儀的剖面圖；

圖4是是本發(fā)明靜力水準(zhǔn)儀的上外殼及其a-a剖面圖；

圖5是是本發(fā)明靜力水準(zhǔn)儀的下外殼及其b-b剖面圖；

圖中：

1-上外殼、11-進(jìn)液口、12進(jìn)液管、13-排氣孔、14-球頭頂絲、15-視窗、16-有機(jī)玻璃、161-第一密封圈、162-第二密封圈、163-第三密封圈、17-頂環(huán)、18-螺紋盲孔；2-下外殼、21-進(jìn)氣口、22-進(jìn)氣管、23-出線孔、24-螺紋通孔；3-膜盒式單晶硅差壓傳感器、31-主體、32-尾部、33-h端壓力膜片、34-l端壓力膜片；4-安裝腔、41-右安裝腔、42-左安裝腔、43-液腔、44-氣腔；5-電路板；6-第一凸起部；7-第二凸起部。

具體實(shí)施方式

為進(jìn)一步闡述本發(fā)明達(dá)成預(yù)定目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式、結(jié)構(gòu)特征及其功效，詳細(xì)說明如下。

實(shí)施例1：

如圖1-圖3所示的基于單晶硅差壓傳感器的靜力水準(zhǔn)儀，外觀為四個(gè)角呈圓弧角的長方體，外殼采用不銹鋼材料銑切而成，包括上外殼1、下外殼2和膜盒式單晶硅差壓傳感器3，上外殼1和下外殼2通過螺柱固定連接之后圍成封閉的安裝腔4。上外殼1、下外殼2外形均為長方體，上外殼1和下外殼2的長邊相對(duì)側(cè)壁上各具有一對(duì)位置對(duì)應(yīng)且均向中心線處延伸的凸起部；上外殼1內(nèi)部側(cè)壁上的為第一凸起部6，下外殼2內(nèi)部側(cè)壁上的為第二凸起部7，安裝腔4被相對(duì)設(shè)置的第一凸起部6和第二凸起部7隔成相互連通的右安裝腔41和左安裝腔42。

膜盒式單晶硅差壓傳感器3由圓柱狀的主體31和帶有電纜線的尾部32組成，膜盒式單晶硅差壓傳感器3的主體31固定安裝在右安裝腔41中，膜盒式單晶硅差壓傳感器3的尾部32位于左安裝腔42中，膜盒式單晶硅差壓傳感器3將右安裝腔41分隔成互相獨(dú)立的液腔43和氣腔44，并將左安裝腔42與右安裝腔41隔離成互不連通的獨(dú)立腔室。液腔43位于靠近上外殼1一側(cè)，氣腔44位于靠近下外殼2一側(cè)；上外殼1的側(cè)壁上開設(shè)有與液腔43連通的進(jìn)液口11，下外殼2的側(cè)壁上開設(shè)有與氣腔44連通的進(jìn)氣口21。

為了減小靜力水準(zhǔn)儀的體積，進(jìn)氣口和進(jìn)液口的口徑小于目前常用的靜力水準(zhǔn)儀上的進(jìn)液口口徑，可以選用口徑6-10mm。本實(shí)施例中進(jìn)氣口和進(jìn)液口的口徑均為6mm。

靜力水準(zhǔn)儀接入靜力水準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)中使用時(shí)，進(jìn)液口上用不銹鋼密封快插接頭安裝有進(jìn)液管，進(jìn)液管與基準(zhǔn)點(diǎn)的液體腔室連通；進(jìn)氣口上用不銹鋼密封快插接頭安裝有進(jìn)氣管，進(jìn)氣管與基準(zhǔn)點(diǎn)的氣體腔室連通。

膜盒式單晶硅差壓傳感器3的主體31具有h端（高壓端）和l端（低壓端），h端為接觸液腔43的一端，l端為接觸氣腔44的一端，h端和l端均具有壓力膜片，其中，h端壓力膜片33與液腔43充分接觸用于感受液腔43內(nèi)的壓力（高壓），l端壓力膜片34與氣腔44充分接觸用于感受氣腔44內(nèi)的壓力（低壓）。

靜力水準(zhǔn)儀中還包括電路板5，電路板5上設(shè)有信號(hào)轉(zhuǎn)換/放大電路，信號(hào)放大電路的輸入端與膜盒式單晶硅差壓傳感器3尾部32的輸出端電纜連接，信號(hào)放大電路的輸出端與信息采集設(shè)備電連接。數(shù)據(jù)輸出形式有4-20ma模擬電流信號(hào)和標(biāo)準(zhǔn)485數(shù)字信號(hào)兩種可選。本實(shí)施例中的膜盒式單晶硅差壓傳感器3和電路板5為配套購買，具體為drs300型號(hào)。

下外殼2的進(jìn)液口21相對(duì)側(cè)壁上開設(shè)有出線孔23，出線孔23為不銹鋼防水過線孔，用于連接信息采集設(shè)備的電纜線。

實(shí)施例2：

與實(shí)施例1相比本實(shí)施例的特別之處在于，靜力水準(zhǔn)儀的上外殼1上設(shè)有視窗15，視窗15處安裝有與視窗15形狀匹配的有機(jī)玻璃16。

靜力水準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)中，上殼體上設(shè)置安裝有透明的有機(jī)玻璃的視窗，便于在測(cè)量時(shí)液體灌注過程中及時(shí)觀察發(fā)現(xiàn)靜力測(cè)量儀中是否存在氣泡，上殼體上還設(shè)有排氣孔，配合安裝時(shí)在液腔內(nèi)壁涂抹防銹油層，使得液腔中的氣泡可以及時(shí)方便的被排出，避免測(cè)量誤差，測(cè)量精度高。

實(shí)施例3：

與實(shí)施例1相比本實(shí)施例的特別之處在于，靜力水準(zhǔn)儀的上外殼1上還設(shè)置有排氣孔13，排氣孔13與液腔43連通，用于排出液腔43中的氣泡，排氣孔13用球頭頂絲14進(jìn)行密封，球頭頂絲在本實(shí)施例中具體為帶鋼珠的內(nèi)六頂絲。在液腔43的內(nèi)壁上還涂有一層防銹油層。

靜力水準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)中，設(shè)計(jì)了排氣孔用于排出液體灌注過程中產(chǎn)生的氣泡，使測(cè)量系統(tǒng)的測(cè)量結(jié)果更準(zhǔn)確，實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量。排氣孔的密封是用帶球頭的頂絲，相比于現(xiàn)有技術(shù)中用排氣閥或者加密封墊的平口頂絲密封方式，沒有易損部件，結(jié)構(gòu)更簡單，穩(wěn)定性更好；液腔的內(nèi)壁上涂有防銹油層一方面可以便于排除氣泡，另一方面可增加靜力水準(zhǔn)儀的使用壽命。

實(shí)施例4：

與實(shí)施例1相比本實(shí)施例的特別之處在于，靜力水準(zhǔn)儀的有機(jī)玻璃16和視窗15之間設(shè)有第一密封圈161，膜盒式單晶硅差壓傳感器3的h端與有機(jī)玻璃16之間依次設(shè)有第二密封圈162和圓環(huán)狀的頂環(huán)17，頂環(huán)17上具有通孔，該通孔與上外殼1上的排氣孔13相互連通，液腔43通過依次相互壓緊的膜盒式單晶硅差壓傳感器3的h端、第二密封圈162、頂環(huán)17、有機(jī)玻璃16、第一密封圈161、視窗15實(shí)現(xiàn)密封。下外殼2與膜盒式單晶硅差壓傳感器3的l端之間設(shè)有第三密封圈163，氣腔44通過依次相互壓緊的下外殼2、第三密封圈163、膜盒式單晶硅差壓傳感器3的l端實(shí)現(xiàn)密封。本實(shí)施例中第一密封圈、第二密封圈和第三密封圈均采用硅膠材質(zhì)。

上殼體、下殼體、有機(jī)玻璃、膜盒式單晶硅差壓傳感器和頂環(huán)配合三個(gè)密封圈實(shí)現(xiàn)靜力水準(zhǔn)儀的整體的壓緊，一方面達(dá)到固定膜盒式單晶硅差壓傳感器的目的；另一個(gè)方面，相互壓緊的膜盒式單晶硅差壓傳感器的h端、第二密封圈、頂環(huán)、有機(jī)玻璃、第一密封圈和視窗也同時(shí)將有機(jī)玻璃緊固在靜力水準(zhǔn)儀上外殼的內(nèi)側(cè)，相比于傳統(tǒng)的將視窗玻璃凸出固定在殼體外部、用螺釘緊固的設(shè)計(jì)方式而言，既不需要額外使用螺絲單獨(dú)緊固視窗，又減小了靜力水準(zhǔn)儀整體的體積。

實(shí)施例5：

如圖4和圖5所示，上外殼1內(nèi)側(cè)的四個(gè)角位置均設(shè)有一個(gè)螺紋盲孔18；下外殼2的四個(gè)角位置均具有一個(gè)階梯狀的螺紋通孔24，螺紋通孔24內(nèi)側(cè)直徑較小且與螺紋盲孔18直徑一致，用于安裝固定螺柱，連接緊固上外殼1和下外殼2，螺紋通孔24外側(cè)孔徑較大，用于將靜力水準(zhǔn)儀固定在測(cè)量點(diǎn)。

靜力水準(zhǔn)儀的外殼只分為上下兩部分，這樣的設(shè)計(jì)一方面部件較少，便于制作、使用和安裝，另一方面采用螺柱對(duì)上外殼和下外殼進(jìn)行緊固，緊固強(qiáng)度更大，不易損壞，適應(yīng)劇烈的工作環(huán)境；并且這種設(shè)計(jì)減少了外殼上整體的接縫數(shù)量，更好的防止灰塵進(jìn)入靜力水準(zhǔn)儀內(nèi)部，保護(hù)內(nèi)部器件和電路，延長使用壽命。

實(shí)施例6：

本發(fā)明的靜力水準(zhǔn)儀可以用于各種靜力水準(zhǔn)測(cè)量系統(tǒng)中，其中一種實(shí)施方式：

測(cè)量系統(tǒng)包括作為參考點(diǎn)的儲(chǔ)液罐、氣體連接管、液體連接管和至少一個(gè)靜力水準(zhǔn)儀（作為測(cè)量點(diǎn)），儲(chǔ)液罐包括氣體腔室和液體腔室，靜力水準(zhǔn)儀通過氣體連接管與氣體腔室連通，并且通過液體連接管與液體腔室連通，以使測(cè)量系統(tǒng)中所有氣體腔室導(dǎo)通且壓力平衡。

靜力水準(zhǔn)儀的數(shù)量至少有兩個(gè)，第一個(gè)靜力水準(zhǔn)儀的進(jìn)液管與液體連接管連通；第一個(gè)靜力水準(zhǔn)儀的進(jìn)氣管與氣體連接管連通；后一個(gè)靜力水準(zhǔn)儀的進(jìn)液管也與液體連接管連通，后一個(gè)靜力水準(zhǔn)儀的進(jìn)氣管也與氣體連接管連通；氣體連接管和液體連接管末端封閉以保持系統(tǒng)的半封閉狀態(tài)。各靜力水準(zhǔn)儀之間氣腔相連通，壓力平衡，液腔中的壓力根據(jù)相對(duì)于參考點(diǎn)（儲(chǔ)液罐）產(chǎn)生向下或者向上的位移的不同而不同，各測(cè)點(diǎn)的靜力水準(zhǔn)儀的壓差信息經(jīng)過出線孔中連接的信息采集設(shè)備的電纜線傳送至信息采集設(shè)備，進(jìn)行信息處理。

使用靜力水準(zhǔn)儀進(jìn)行測(cè)量的實(shí)際工作過程：測(cè)量時(shí)將儲(chǔ)液罐放置在參考點(diǎn)，在測(cè)量點(diǎn)分別放置一個(gè)靜力水準(zhǔn)儀，通過上外殼和下外殼上的螺紋階梯孔，將靜力水準(zhǔn)儀固定在測(cè)點(diǎn)，然后，分別接通參考點(diǎn)的氣體腔室、各靜力水準(zhǔn)儀的氣腔和參考點(diǎn)液體腔室和各靜力水準(zhǔn)儀的液腔，使測(cè)量系統(tǒng)中的各靜力水準(zhǔn)儀的氣腔之間壓力平衡；液體進(jìn)行快速灌注。通過透明的有機(jī)玻璃視窗觀察各測(cè)點(diǎn)的靜力水準(zhǔn)儀的液腔中是否存在氣泡，如果有氣泡，擰松球頭頂絲進(jìn)行排氣，排氣后重新擰緊球頭頂絲，實(shí)現(xiàn)液腔密封。

各測(cè)點(diǎn)的靜力水準(zhǔn)儀中，氣腔相連通，壓力平衡，液腔中的壓力根據(jù)相對(duì)于參考點(diǎn)（儲(chǔ)液罐）產(chǎn)生向下或者向上的位移的不同而不同，因此，各靜力水準(zhǔn)儀中的膜盒式單晶硅差壓傳感器的h端壓力膜片（感受液腔的壓力）與l端壓力膜片（感受氣腔的壓力），所接受到的壓力不同，膜盒式單晶硅差壓傳感器內(nèi)部填充硅油，當(dāng)壓力變化時(shí)，壓力膜片感受壓力而變形，從而差壓通過硅油傳導(dǎo)到單晶硅晶片，晶片會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的變化從而導(dǎo)致電阻變化，這個(gè)變化被電路板上的電路調(diào)理和放大輸出成電信號(hào)。數(shù)據(jù)輸出形式有4-20ma模擬電流信號(hào)和標(biāo)準(zhǔn)485數(shù)字信號(hào)兩種可選。最后通過電纜，將測(cè)量信息傳送至外部信息采集設(shè)備，最終上傳至云平臺(tái)，進(jìn)行處理，直接獲得測(cè)點(diǎn)的垂直位移。

本發(fā)明所設(shè)計(jì)的靜力水準(zhǔn)儀選用的膜盒式單晶硅差壓傳感器具備：體積小、精度高，成本低，易實(shí)現(xiàn)微壓、長期穩(wěn)定性好、不受溫度影響等特點(diǎn)；外殼上開口少，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)更加便于減小靜力水準(zhǔn)儀的體積，使整體結(jié)構(gòu)更加小巧，便攜；上殼體上設(shè)置安裝有透明的視窗，便于在測(cè)量時(shí)液體灌注過程中及時(shí)觀察發(fā)現(xiàn)靜力測(cè)量儀中是否存在氣泡，還設(shè)有排氣孔，使得液腔中的氣泡可以及時(shí)方便的被排出，避免測(cè)量誤差，測(cè)量精度高；排氣孔用球頭頂絲進(jìn)行密封，相比于現(xiàn)有技術(shù)中用排氣閥或者加密封墊的平口頂絲密封方式，沒有易損部件，結(jié)構(gòu)更簡單，穩(wěn)定性更好；液腔內(nèi)壁涂有防銹油層，更利于排氣，也可以提高靜力水準(zhǔn)儀的使用壽命；下外殼上具有階梯狀的螺紋通孔，既可以實(shí)現(xiàn)上外殼和下外殼之間的緊固，同時(shí)還可以更方便的實(shí)現(xiàn)靜力水準(zhǔn)儀與測(cè)點(diǎn)之間的緊固；優(yōu)勢(shì)顯著，具有廣泛適用性。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”、等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”、“固定”等術(shù)語應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接，還可以是通信；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通或兩個(gè)元件的相互作用關(guān)系。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以根據(jù)具體情況理解上述術(shù)語在本發(fā)明中的具體含義。

在本發(fā)明中，除非另有明確的規(guī)定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接觸，或第一和第二特征通過中間媒介間接接觸。

以上內(nèi)容是結(jié)合具體的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明所作的進(jìn)一步詳細(xì)說明，不能認(rèn)定本發(fā)明的具體實(shí)施只局限于這些說明。對(duì)于本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應(yīng)當(dāng)視為屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。