技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種具有微結(jié)構(gòu)化的多相介電層電容式壓力傳感器及制法，所述壓力傳感器包括：彼此相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)柔性電極，所述兩個(gè)柔性電極彼此相對(duì)的兩個(gè)相對(duì)面中的至少一個(gè)上具有由復(fù)數(shù)個(gè)凸起部和/或凹下部形成的微結(jié)構(gòu)；以及，多相介電層，分布于所述的兩個(gè)柔性電極之間，所述多相介電層包括由復(fù)數(shù)個(gè)可自由移動(dòng)的微球聚集形成的微球介電層以及填充所述微球介電層內(nèi)的孔隙的空氣和/或柔性聚合物。本發(fā)明提供的具有微結(jié)構(gòu)化的多相介電層電容式壓力傳感器具有輕薄、柔軟等特點(diǎn)，可以被加工成多種形狀，具有可穿戴、可貼附的優(yōu)點(diǎn)；以多相材料為介電層，可提高器件靈敏度，降低測(cè)量的最小壓力。

技術(shù)研發(fā)人員：張珽;羅袆;李鐵;劉林;顧楊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
文檔號(hào)碼：201710129648
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.06
技術(shù)公布日：2017.06.30