技術(shù)編號(hào)：12783800
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種壓力傳感器，特別涉及一種具有微結(jié)構(gòu)化的多相介電層電容式壓力傳感器及制法，屬于傳感器技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)近年來，隨著柔性電子學(xué)的發(fā)展，應(yīng)用于假肢的觸覺傳感器、智能機(jī)器人以及健康監(jiān)測方面的柔性傳感器因其優(yōu)異的性能而被廣泛關(guān)注。自1991年具有觸覺傳感功能的電子皮膚首次應(yīng)用于機(jī)器人起，研制輕、薄、柔的高靈敏度的新型柔性傳感器已經(jīng)成為前沿的科研方向。近15年來，隨著新原理、新材料、新工藝等不斷地應(yīng)用于柔性傳感器的研發(fā)，柔性傳感器的發(fā)展成果舉世矚目。但在實(shí)際的機(jī)理研究和產(chǎn)品開發(fā)中，我們發(fā)現(xiàn)還存...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。