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三維碳納米材料場效應柔性力敏傳感元件及制備方法與流程

文檔序號:12655577閱讀:來源:國知局
技術總結
本發(fā)明涉及一類基于連續(xù)三維石墨烯或碳納米管場效應結構的柔性力敏傳感元件的設計和制備方法。該傳感元件利用覆蓋在彈性體棱錐條帶表面石墨烯或碳納米管在恒定柵壓下的場效應電導變化,設計柵極為覆蓋在石墨烯或碳納米管棱錐條帶或陣列頂端的平面柔性電極,柵極對棱錐壓縮形變下使得源漏溝道面積增加,且場效應電導增加,元件呈現(xiàn)很高的形變或載荷靈敏度。通過設計條帶寬度、陣列密度、基體彈性體材料彈性模量,可以獲得載荷測量范圍0到3MPa范圍內(nèi)不同靈敏度的力敏傳感元件,并可設計制備成透明度高于80%、彎曲曲率小于3毫米的力敏傳感薄膜。

技術研發(fā)人員:巴龍;劉杰;陳超;宋航;胡松濤;吳云
受保護的技術使用者:東南大學
文檔號碼:201710062972
技術研發(fā)日:2017.01.25
技術公布日:2017.06.13

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