1.一種T形結(jié)固支梁耦合在線式微波相位檢測(cè)器，其特征是在高阻硅襯底(1)上制作SiO2層(23)，在SiO2層(23)上設(shè)有共面波導(dǎo)傳輸線、固支梁結(jié)構(gòu)、T形結(jié)以及直接加熱式微波功率傳感器1和直接加熱式微波功率傳感器2，所述的共面波導(dǎo)傳輸線由共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(2)和地線(3)構(gòu)成，所述的固支梁結(jié)構(gòu)包括固支梁(4)、第一錨區(qū)(5)和第二錨區(qū)(6)，固支梁結(jié)構(gòu)懸于共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(2)上的絕緣介質(zhì)層(7)的上方，固支梁結(jié)構(gòu)的第一錨區(qū)(5)通過(guò)直接加熱式微波功率傳感器1的共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(12)連接直接加熱式微波功率傳感器1，第二錨區(qū)(6)通過(guò)T形結(jié)的第一共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(16)連接T形結(jié)的一個(gè)輸入端口，另一個(gè)輸入端口通過(guò)T形結(jié)的第二共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(17)連接到參考信號(hào)輸入端口，T形結(jié)的輸出端通過(guò)T形結(jié)的第三共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(18)連接直接加熱式微波功率傳感器2。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的T形結(jié)固支梁耦合在線式微波相位檢測(cè)器，其特征是采用T形結(jié)進(jìn)行功率合成，所述的T形結(jié)由第一空氣橋(13)、第二空氣橋(14)、第三空氣橋(15)、第一共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(16)、第二共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(17)和第三共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(18)構(gòu)成，為三端口器件，可用于功率合成，無(wú)需隔離電阻，其中第一空氣橋(13)、第二空氣橋(14)、第三空氣橋(15)用于共面波導(dǎo)傳輸線的地線(3)之間的互連，同時(shí)為了方便這三個(gè)空氣橋的釋放，在其上制作了一組小孔陣列。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的T形結(jié)固支梁耦合在線式微波相位檢測(cè)器，其特征是采用直接加熱式微波功率傳感器進(jìn)行功率檢測(cè)，所述的直接加熱式微波功率傳感器1包括半導(dǎo)體熱偶臂(8)、終端電阻(9)、直流輸出塊(10)、隔絕直流電容(11)、共面波導(dǎo)傳輸線的信號(hào)線(12)；所述的直接加熱式微波功率傳感器2包括半導(dǎo)體熱偶臂(19)終端電阻(20)、直流輸出塊(21)、隔絕直流電容(22)。