技術(shù)編號:12455187
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提出了T形結(jié)固支梁耦合在線式微波相位檢測器,屬于微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)現(xiàn)代社會中,隨著雷達技術(shù)的發(fā)展,特別是在相控陣雷達、相控陣天線及加速器等較新技術(shù)出現(xiàn)以后,相移量的測量顯得日趨重要?,F(xiàn)有的相位檢測方法有以下幾種:利用二極管檢波,利用乘法器結(jié)構(gòu)和利用矢量運算法實現(xiàn)相位檢測,以上方法的缺點是都需要相對復雜的結(jié)構(gòu)。隨著微電子技術(shù)的發(fā)展,現(xiàn)代個人通信系統(tǒng)和雷達系統(tǒng)要求微波相位檢測器具有簡單的結(jié)構(gòu),小的體積以及小的功耗。MEMS系統(tǒng)具有體積小、功耗低、成本低等優(yōu)點。本發(fā)明...
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