本實(shí)用新型是關(guān)于一種探針卡，尤其是指一種高頻懸臂式探針卡。

背景技術(shù)：

用以檢測(cè)電子產(chǎn)品的各電子元件間的電性連接是否確實(shí)的方法，一般做法是以探針卡作為測(cè)試機(jī)臺(tái)與待測(cè)電子元件之間的測(cè)試訊號(hào)與電源訊號(hào)的傳輸介面。

為了提升電性效能，探針卡上的高頻探針需要達(dá)到抗訊號(hào)衰退的效果，也就是訊號(hào)阻抗匹配效果。請(qǐng)參照?qǐng)D1，其為繪示日本第JP2001-272416A號(hào)專(zhuān)利所揭露的探針卡10的示意圖。如圖1所示，此前案探針卡10上的高頻探針16為一種同軸套管探針，采用銅套管22作為同軸結(jié)構(gòu)的外部接地導(dǎo)體套設(shè)于絕緣層(圖未示)及探針(圖未示)外，以使高頻探針16達(dá)到訊號(hào)阻抗匹配效果。然而，一般探針卡上分布有走一般訊號(hào)的一般探針與走高頻訊號(hào)的高頻探針，倘若使用圖1的高頻探針16的話(huà)，由于銅套管22太粗，因此若需要將銅套管22拉近靠近針尖處24，則銅套管22會(huì)影響旁邊非走高頻的一般探針，使得探針卡的整體效能也受到影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種使探針結(jié)構(gòu)的架構(gòu)穩(wěn)定度得以增加，而訊號(hào)阻抗匹配效果也得以改善，有助提升探針結(jié)構(gòu)的電性效能的探針卡。

本實(shí)用新型的一技術(shù)形式在于提供一種探針卡，其能針對(duì)直徑范圍為50微米至170微米之間的針體，使探針結(jié)構(gòu)的架構(gòu)穩(wěn)定度得以增加，而訊號(hào)阻抗匹配效果也得以改善，有助提升探針結(jié)構(gòu)的電性效能。

根據(jù)本實(shí)用新型的一實(shí)施方式，一種探針卡，探針卡包含探針結(jié)構(gòu)。探針結(jié)構(gòu)包含：

針體，針體的直徑范圍為50微米至170微米之間，并且針體具有相對(duì)的第一端與第二端；

絕緣套管，絕緣套管套設(shè)于針體外，針體的第一端與針體第二端均暴露于絕緣套管之外；以及

金屬膜套管，金屬膜套管套設(shè)于絕緣套管外。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的金屬膜套管的內(nèi)徑與針體的直徑具有直徑差，直徑差小于或等于絕緣套管的壁厚的六倍。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的直徑差進(jìn)一步小于或等于絕緣套管的壁厚的四倍。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針卡更包含：

電路板，電路板具有相對(duì)的第一表面以及第二表面；

固定環(huán)，固定環(huán)設(shè)置于第一表面，針體的第一端電性連接第一表面，且探針結(jié)構(gòu)固定于固定環(huán)上，并且針體的第二端露出，針體的第二端能接觸測(cè)試物；以及

黏著物，黏著物設(shè)置于固定環(huán)，固定環(huán)位于黏著物與電路板之間。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的電路板具有多個(gè)訊號(hào)接點(diǎn)與多個(gè)接地接點(diǎn)，訊號(hào)接點(diǎn)與接地接點(diǎn)位于第一表面，且多個(gè)訊號(hào)接點(diǎn)與多個(gè)接地接點(diǎn)呈間隔排列，針體的第一端連接對(duì)應(yīng)的訊號(hào)接點(diǎn)，且金屬膜套管連接對(duì)應(yīng)的接地接點(diǎn)。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針卡更包含：

至少一接地針，接地針通過(guò)黏著物固定，接地針的一端電性連接至對(duì)應(yīng)的接地接點(diǎn)，接地針的另一端延伸穿出黏著物；以及

導(dǎo)電件，黏著物包覆導(dǎo)電件。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針卡更包含：

導(dǎo)體，導(dǎo)體電性連接導(dǎo)電件與對(duì)應(yīng)的接地接點(diǎn)。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的黏著物包覆接地針的一端，導(dǎo)體為金屬線(xiàn)，導(dǎo)電件為銅箔，銅箔上擺放有接地針與金屬線(xiàn)。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針結(jié)構(gòu)由黏著物固定在固定環(huán)上，固定環(huán)為能導(dǎo)電的材質(zhì)制成的固定環(huán)，黏著物為能導(dǎo)電的材質(zhì)制成的黏著物，固定環(huán)用于接地。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針結(jié)構(gòu)由黏著物固定在固定環(huán)上，固定環(huán)為絕緣的材質(zhì)制成的固定環(huán)，且黏著物為絕緣的材質(zhì)制成的黏著物，固定環(huán)的部分表面與黏著物的部分表面上包覆有用于接地的金屬簿膜。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針結(jié)構(gòu)由黏著物固定在固定環(huán)上，固定環(huán)為能導(dǎo)電的材質(zhì)制成的固定環(huán)，黏著物為絕緣的材質(zhì)制成的黏著物，固定環(huán)的部分表面與黏著物的部分表面上包覆有用于接地的金屬薄膜。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針結(jié)構(gòu)由黏著物固定在固定環(huán)上，固定環(huán)為絕緣的材質(zhì)制成的固定環(huán)，黏著物為能導(dǎo)電的材質(zhì)制成的黏著物，固定環(huán)的部分表面與黏著物的部分表面上包覆有用于接地的金屬薄膜。

本實(shí)用新型的另一技術(shù)形式在于提供一種探針卡，其能針對(duì)直徑范圍為170微米至300微米之間的針體，使探針結(jié)構(gòu)的架構(gòu)穩(wěn)定度得以增加，而訊號(hào)阻抗匹配效果也得以改善，有助提升探針結(jié)構(gòu)的電性效能。

根據(jù)本實(shí)用新型的另一實(shí)施方式，一種探針卡，探針卡包含探針結(jié)構(gòu)。探針結(jié)構(gòu)包含：

針體，針體的直徑范圍為170微米至300微米之間，并且針體具有相對(duì)的第一端與第二端；

第一絕緣套管，第一絕緣套管套設(shè)于針體外，針體的第一端與針體的第二端均暴露于第一絕緣套管之外；

第二絕緣套管，第二絕緣套管套設(shè)于第一絕緣套管外；以及

金屬膜套管，金屬膜套管套設(shè)于第二絕緣套管外。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的金屬膜套管的內(nèi)徑與針體的直徑具有直徑差，直徑差大于第一絕緣套管的壁厚的六倍。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的直徑差進(jìn)一步大于第一絕緣套管的壁厚的四倍與第二絕緣套管的壁厚的總和。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針卡更包含電路板、固定環(huán)與黏著物。電路板具有相對(duì)的第一表面以及第二表面。固定環(huán)設(shè)置于第一表面，針體的第一端電性連接第一表面，且探針結(jié)構(gòu)固定于固定環(huán)上，并且針體的第二端露出，針體的第二端用以接觸測(cè)試物。黏著物設(shè)置于固定環(huán)，固定環(huán)位于黏著物與電路板之間。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的電路板具有多個(gè)訊號(hào)接點(diǎn)與多個(gè)接地接點(diǎn)，訊號(hào)接點(diǎn)與接地接點(diǎn)位于第一表面，且多個(gè)訊號(hào)接點(diǎn)與多個(gè)接地接點(diǎn)呈間隔排列，針體的第一端連接對(duì)應(yīng)的訊號(hào)接點(diǎn)，且金屬膜套管連接對(duì)應(yīng)的接地接點(diǎn)。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針卡更包含至少一接地針與導(dǎo)電件。接地針通過(guò)黏著物固定，接地針的一端電性連接至對(duì)應(yīng)的接地接點(diǎn)，接地針的另一端延伸穿出黏著物。黏著物包覆導(dǎo)電件。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針卡更包含導(dǎo)體。此導(dǎo)體電性連接導(dǎo)電件與對(duì)應(yīng)的接地接點(diǎn)。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的黏著物包覆接地針的一端，導(dǎo)體為金屬線(xiàn)，導(dǎo)電件為銅箔，銅箔上擺放有接地針與金屬線(xiàn)。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針結(jié)構(gòu)由黏著物固定在固定環(huán)上，固定環(huán)為能導(dǎo)電的材質(zhì)制成的固定環(huán)，黏著物為能導(dǎo)電的材質(zhì)制成的黏著物，固定環(huán)用于接地。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針結(jié)構(gòu)由黏著物固定在固定環(huán)上，固定環(huán)為絕緣的材質(zhì)制成的固定環(huán)，黏著物為絕緣的材質(zhì)制成的黏著物，固定環(huán)的部分表面與黏著物的部分表面上包覆有用于接地的金屬簿膜。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針結(jié)構(gòu)由黏著物固定在固定環(huán)上，固定環(huán)為能導(dǎo)電的材質(zhì)制成的固定環(huán)，黏著物為絕緣的材質(zhì)制成的黏著物，固定環(huán)的部分表面與黏著物的部分表面上包覆有用于接地的金屬簿膜。

在本實(shí)用新型一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的探針結(jié)構(gòu)由黏著物固定在固定環(huán)上，固定環(huán)為絕緣的材質(zhì)制成的固定環(huán)，黏著物為能導(dǎo)電的材質(zhì)制成的黏著物，固定環(huán)的部分表面與黏著物的部分表面上包覆有用于接地的金屬簿膜。

本實(shí)用新型上述實(shí)施方式與已知先前技術(shù)相較，至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、針對(duì)直徑范圍為50微米至170微米之間的針體而言，由于絕緣套管套設(shè)于針體外，而金屬膜套管套設(shè)于絕緣套管外，因此，金屬膜套管與針體之間因距離過(guò)大而造成訊號(hào)阻抗不匹配的問(wèn)題得以減輕，使得探針結(jié)構(gòu)的架構(gòu)穩(wěn)定度得以增加，而訊號(hào)阻抗匹配效果也得以改善，有助提升探針結(jié)構(gòu)的電性效能。

2、針對(duì)直徑范圍為170微米至300微米之間的針體而言，由于有第一絕緣套管與第二絕緣套管位于針體與金屬膜套管之間，因此，金屬膜套管與針體之間因距離過(guò)大而造成訊號(hào)阻抗不匹配的問(wèn)題得以減輕，使得探針結(jié)構(gòu)的架構(gòu)穩(wěn)定度得以增加，而訊號(hào)阻抗匹配效果也得以改善，有助提升探針結(jié)構(gòu)的電性效能。

附圖說(shuō)明

以下附圖僅旨在于對(duì)本實(shí)用新型做示意性說(shuō)明和解釋?zhuān)⒉幌薅ū緦?shí)用新型的范圍。其中：

圖1為繪示日本第JP2001-272416A號(hào)專(zhuān)利所揭露的探針卡10的示意圖。

圖2為繪示依照本實(shí)用新型一實(shí)施方式的探針結(jié)構(gòu)的剖面圖，其中金屬膜套管的中心、絕緣套管的中心與針體的中心彼此重疊。

圖3為繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針結(jié)構(gòu)的剖面圖，其中金屬膜套管的中心、絕緣套管的中心與針體的中心彼此偏移。

圖4為繪示依照本實(shí)用新型一實(shí)施方式的探針卡的剖面示意圖。

圖5為繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針卡的剖面示意圖。

圖6為繪示依照本實(shí)用新型再一實(shí)施方式的探針卡的剖面示意圖。

圖7為繪示依照本實(shí)用新型又一實(shí)施方式的探針卡的剖面示意圖。

圖8為繪示圖7的探針卡的局部剖面俯視圖。

圖9為繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針卡的局部剖面俯視圖。

圖10為繪示沿圖9的線(xiàn)段A-A的剖面圖。

圖11為繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針結(jié)構(gòu)的剖面圖，其中金屬膜套管的中心、第二絕緣套管的中心、第一絕緣套管的中心與針體的中心彼此重疊。

圖12為繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針結(jié)構(gòu)的剖面圖，其中金屬膜套管的中心、第二絕緣套管的中心、第一絕緣套管的中心與針體的中心彼此偏移。

附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明：

10：探針卡

16：高頻探針

22：銅套管

24：針尖處

100：探針卡

110a：探針結(jié)構(gòu)

110a’：探針結(jié)構(gòu)

110b：探針結(jié)構(gòu)

110b’：探針結(jié)構(gòu)

111、111’：針體

111a：第一端

111b：第二端

113：絕緣套管

113’：第一絕緣套管

115’：第二絕緣套管

117：金屬膜套管

117a：絕緣內(nèi)層

117b：金屬膜

120：電路板

121：第一表面

122：第二表面

123：訊號(hào)接點(diǎn)

124：接地接點(diǎn)

130：固定環(huán)

140：黏著物

150：導(dǎo)體

160：接地針

170：導(dǎo)電件

170a：開(kāi)口

180：金屬簿膜

190：內(nèi)部焊墊

A-A：線(xiàn)段

D11、D11’：直徑

D12、D12’：直徑

D21、D21’：內(nèi)徑

D22、D22’：內(nèi)徑

G11、G11’：距離

G12、G12’：距離

G21、G21’：距離

G22、G22’：距離

T1、T2、T3：壁厚

具體實(shí)施方式

以下將以附圖揭露本實(shí)用新型的多個(gè)實(shí)施方式，為明確說(shuō)明，許多實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)將在以下敘述中一并說(shuō)明。然而，應(yīng)了解到，這些實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)不應(yīng)用以限制本實(shí)用新型。也就是說(shuō)，在本實(shí)用新型部分實(shí)施方式中，這些實(shí)務(wù)上的細(xì)節(jié)是非必要的。此外，為簡(jiǎn)化附圖，一些現(xiàn)有技術(shù)慣用的結(jié)構(gòu)與元件在附圖中將以簡(jiǎn)單示意的方式繪示；以及在此說(shuō)明，在以下將要介紹的實(shí)施方式以及附圖中，相同的標(biāo)號(hào)，表示相同或類(lèi)似的元件或其結(jié)構(gòu)特征。

除非另有定義，本文所使用的所有詞匯(包括技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ))具有其通常的涵義，其涵義能夠被熟悉此領(lǐng)域的普通技術(shù)人員所理解。更進(jìn)一步的說(shuō)，上述的詞匯在普遍常用的字典中的定義，在本說(shuō)明書(shū)的內(nèi)容中應(yīng)被解讀為與本實(shí)用新型相關(guān)領(lǐng)域一致的涵義。除非有特別明確定義，這些詞匯將不被解釋為理想化的或過(guò)于正式的涵義。

請(qǐng)參照?qǐng)D2，其繪示依照本實(shí)用新型一實(shí)施方式的探針結(jié)構(gòu)110a的剖面圖，其中金屬膜套管117的中心、絕緣套管113的中心與針體111的中心彼此重疊。需說(shuō)明的是，本實(shí)用新型指的是一種懸臂式探針卡(cantilever probe card；CPC)，更詳而言，是指一種高頻懸臂式探針卡。如圖2所示，探針結(jié)構(gòu)110a包含針體111、絕緣套管113與金屬膜套管117。需說(shuō)明的是，本實(shí)用新型的金屬膜套管117并非如先前技術(shù)中使用的銅套管22。針體111的直徑D11范圍實(shí)質(zhì)上為50微米至170微米之間，并且針體111具有相對(duì)的第一端111a與第二端111b(圖2未示第一端111a與第二端111b，請(qǐng)參照?qǐng)D4～圖9)。絕緣套管113套設(shè)于針體111外，第一端111a與第二端111b均暴露于絕緣套管113之外。金屬膜套管117套設(shè)于絕緣套管113外。絕緣套管113具有壁厚T1，金屬膜套管117為于絕緣內(nèi)層117a的外表面鍍上金屬膜117b的結(jié)構(gòu)，絕緣內(nèi)層117a具有壁厚T3。

換句話(huà)說(shuō)，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為50微米至170微米之間的針體111而言，由于絕緣套管113套設(shè)于針體111外，而金屬膜套管117套設(shè)于絕緣套管113外，也就是絕緣套管113位于針體111與金屬膜套管117之間，并且絕緣套管113與針體111之間存在著適當(dāng)?shù)木嚯x以供容置空氣，而絕緣套管113與金屬膜套管117之間也同樣地存在著適當(dāng)?shù)鼐嚯x以供容置空氣，因此，金屬膜套管117與針體111之間因距離過(guò)大而造成訊號(hào)阻抗不匹配的問(wèn)題得以減輕，使得探針結(jié)構(gòu)110a的架構(gòu)穩(wěn)定度得以增加，而訊號(hào)阻抗匹配效果(也就是抗訊號(hào)衰退效果)也得以改善，有助提升探針結(jié)構(gòu)110a的電性效能。

具體而言，為了有效避免金屬膜套管117與針體111之間的距離過(guò)大而造成訊號(hào)阻抗不匹配的問(wèn)題，針體111與金屬膜套管117之間的距離以及絕緣套管113的壁厚T1必須符合特定的限制條件。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)金屬膜套管117的中心、絕緣套管113的中心與針體111的中心相互重疊時(shí)，前述限制條件金屬膜套管117與絕緣套管113之間的距離G11，加上絕緣套管113與針體111之間的距離G21，小于或等于絕緣套管113的壁厚T1的兩倍。也就是說(shuō)，距離G11、距離G21與壁厚T1的關(guān)系為：

G11+G21≦2T1

再者，金屬膜套管117的內(nèi)徑D21與針體111的直徑D11具有直徑差DXa(圖2未示直徑差DXa，直徑差DXa實(shí)質(zhì)上為內(nèi)徑D21減去直徑D11的數(shù)值)，當(dāng)金屬膜套管117的中心、絕緣套管113的中心與針體111的中心相互重疊時(shí)，直徑差DXa等于距離G11、距離G21與壁厚T1總和的兩倍，也就是說(shuō)，直徑差DXa、距離G11、距離G21與壁厚T1的關(guān)系為：

DXa＝2(G11+G21+T1)

如此一來(lái)，可以進(jìn)一步得出以下關(guān)系：

DXa＝2(G11+G21+T1)≦2(2T1+T1)

也就是說(shuō)，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為50微米至170微米之間的針體111而言，直徑差DXa小于或等于絕緣套管113的壁厚T1的六倍，如下：

DXa≦6T1

在一些實(shí)施方式中，絕緣套管113的壁厚T1，大于或等于距離G11與距離G21的總和。

請(qǐng)參照?qǐng)D3，其繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針結(jié)構(gòu)110a’的剖面圖，其中金屬膜套管117的中心、絕緣套管113的中心與針體111的中心彼此偏移。需說(shuō)明的是，此偏移情況較容易或可能發(fā)生于如圖2中的探針結(jié)構(gòu)110a的中間段，因探針結(jié)構(gòu)110a的中間段較無(wú)支撐；或是針體111在安裝擺放的過(guò)程中不可避免地會(huì)有彎曲情形。如圖3所示，例如相對(duì)于金屬膜套管117，絕緣套管113的中心與針體111的中心均朝圖3的左方偏移，并且金屬膜套管117、絕緣套管113與針體111產(chǎn)生接觸。當(dāng)然地，一些時(shí)候，金屬膜套管117、絕緣套管113與針體111三者之間均仍是會(huì)有一些距離，此處提及的前述三者之間的距離，并非是指如圖2般的金屬膜套管117的中心、絕緣套管113的中心與針體111的中心可以相互重疊的距離，僅是指金屬膜套管117、絕緣套管113與針體111三者之間并未接觸到的意思，只是這些距離并不會(huì)實(shí)質(zhì)影響到預(yù)先為了阻抗匹配而預(yù)設(shè)的距離的結(jié)果。也就是說(shuō)，不論是三者之間產(chǎn)生接觸或是三者之間均仍是有些距離，均可以得到預(yù)期阻抗匹配的效果。

請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D3，由于絕緣套管113與金屬膜套管117及針體111產(chǎn)生接觸，使得絕緣套管113的右側(cè)與金屬膜套管117之間具有距離G11’，而針體111的右側(cè)與絕緣套管113之間具有距離G21’。在實(shí)務(wù)的應(yīng)用中，距離G11’實(shí)質(zhì)上可以是小于或等于距離G11的兩倍；而距離G21’則實(shí)質(zhì)上可以是小于或等于距離G21的兩倍。如上所述，為了避免訊號(hào)阻抗不匹配的問(wèn)題，限制條件為距離G11’、距離G21’的總和小于或等于絕緣套管113的壁厚T1的兩倍。因此，在本實(shí)施方式的偏移情況下，金屬膜套管117的內(nèi)徑D21’與針體111的直徑D11’之間的直徑差DXa’(也就是實(shí)質(zhì)上為內(nèi)徑D21’減去直徑D11’的數(shù)值)，相等于距離G11’、距離G21’與兩倍壁厚T1的總和，也就是：

DXa’＝G11’+G21’+2T1

如此一來(lái)，可以進(jìn)一步得出以下關(guān)系：

DXa’＝G11’+G21’+2T1≦2T1+2T1

也就是說(shuō)，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為50微米至170微米之間的針體111而言，當(dāng)金屬膜套管117的中心、絕緣套管113的中心與針體111的中心彼此偏移時(shí)，直徑差DXa’更進(jìn)一步小于或等于絕緣套管113的壁厚T1的四倍，如下：

DXa’≦4T1

也就是說(shuō)，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為50微米至170微米之間的針體111而言，只要直徑差DXa’小于或等于絕緣套管113的壁厚T1的四倍，即使金屬膜套管117的中心、絕緣套管113的中心與針體111的中心彼此偏移，前述限制條件的金屬膜套管117與絕緣套管113之間的距離G11’，加上絕緣套管113與針體111之間的距離G21’，小于或等于絕緣套管113的壁厚T1的兩倍的關(guān)系也能得以滿(mǎn)足。

在一些實(shí)施方式中，距離G11’與距離G21’分別大于或等于絕緣套管113的壁厚T1。

在實(shí)務(wù)的應(yīng)用中，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為50微米至170微米之間的針體111而言，絕緣套管113的壁厚T1可至少大于0.02毫米。具體而言，如上所述，金屬膜套管117為于絕緣內(nèi)層117a的外表面鍍上金屬膜117b的結(jié)構(gòu)，絕緣內(nèi)層117a可以視為絕緣套管，絕緣內(nèi)層117a與金屬膜117b之間沒(méi)有間隙可供空氣容置，而絕緣內(nèi)層117a的壁厚T3可至少大于0.02毫米。因此，在本實(shí)施方式中，當(dāng)絕緣套管113與金屬膜套管117及針體111產(chǎn)生接觸時(shí)，金屬膜117b與針體111的最短距離，至少大于0.04毫米。

請(qǐng)參照?qǐng)D4，其繪示依照本實(shí)用新型一實(shí)施方式的探針卡100的剖面示意圖。如圖4所示，探針卡100更包含電路板120、固定環(huán)130與黏著物140。電路板120具有相對(duì)的第一表面121以及第二表面122。固定環(huán)130設(shè)置于第一表面121，針體111的第一端111a電性連接第一表面121，且探針結(jié)構(gòu)110a固定于固定環(huán)130上，并使針體111的第二端111b露出，用以接觸測(cè)試物(device under test；DUT)(圖未示)。黏著物140設(shè)置于固定環(huán)130，固定環(huán)130位于黏著物140與電路板120之間。需說(shuō)明的是，在其他實(shí)施方式中圖4～圖7中所示的探針結(jié)構(gòu)110a，由于因在中間段處較無(wú)支撐或是由于針體111在安裝擺放的過(guò)程中不可避免地會(huì)有彎曲的情形，則也可以是如圖3中所示的探針結(jié)構(gòu)110a’，不應(yīng)用以限制本實(shí)用新型。

在本實(shí)施方式中，電路板120具有多個(gè)訊號(hào)接點(diǎn)123與多個(gè)接地接點(diǎn)124，訊號(hào)接點(diǎn)123與接地接點(diǎn)124位于第一表面121，且呈間隔排列，第二表面122面向測(cè)試機(jī)臺(tái)(圖未示)，以及形成有若干的測(cè)試接點(diǎn)(圖未示)，與訊號(hào)接點(diǎn)123及接地接點(diǎn)124電氣接通，用以電氣連接至測(cè)試機(jī)臺(tái)，以接收測(cè)試機(jī)臺(tái)提供的訊號(hào)。針體111的第一端111a連接對(duì)應(yīng)的訊號(hào)接點(diǎn)123，而金屬膜套管117連接對(duì)應(yīng)的接地接點(diǎn)124。

在實(shí)務(wù)的應(yīng)用中，探針結(jié)構(gòu)110a由黏著物140固定在固定環(huán)130上，固定環(huán)130與黏著物140均為可導(dǎo)電的材質(zhì)，利用固定環(huán)130作為接地之用。

因此，在本實(shí)施方式中，可以類(lèi)同于先前技術(shù)中所提及的高頻探針16，也使得訊號(hào)能有效地加以隔離以避免阻抗不匹配的情形發(fā)生，而且利用本實(shí)施方式則較不會(huì)影響走一般訊號(hào)的一般探針。重要的是，本實(shí)用新型的金屬膜套管117較先前技術(shù)中所提及的銅套管22小，因此，可調(diào)整性更佳。

進(jìn)一步來(lái)說(shuō)，在本實(shí)施方式中，針體111介于電路板120至黏著物140之間的針段更因受到金屬膜套管117的包覆，且通過(guò)絕緣套管113所提供的隔離，使得針體111與連接至接地接點(diǎn)124的金屬膜117b之間維持著固定的間距，則有助于穩(wěn)定針體111的傳輸效能以提升其電性傳輸能力。

請(qǐng)參照?qǐng)D5，其為繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針卡100的剖面示意圖。另一方面，如圖5所示，也可根據(jù)實(shí)際狀況，固定環(huán)130與黏著物140均為絕緣的材質(zhì)，因此，為使探針能有效接地，可利用金屬簿膜180包覆于固定環(huán)130與黏著物140的部分表面上以作為接地之用。

請(qǐng)參照?qǐng)D6，其為繪示依照本實(shí)用新型再一實(shí)施方式的探針卡100的剖面示意圖。另外，如圖6所示，也可根據(jù)實(shí)際狀況，固定環(huán)130為絕緣的材質(zhì)，黏著物140則為可導(dǎo)電的材質(zhì)，則可利用金屬簿膜180包覆于固定環(huán)130與黏著物140的部分表面上以作為接地之用。

另外，也可根據(jù)實(shí)際狀況，固定環(huán)130為可導(dǎo)電的材質(zhì)，黏著物140則為絕緣的材質(zhì)，則也可利用金屬簿膜180包覆于固定環(huán)130與黏著物140的部分表面上以作為接地之用。

請(qǐng)參照?qǐng)D7～圖8。圖7為繪示依照本實(shí)用新型又一實(shí)施方式的探針卡100的剖面示意圖。圖8為繪示圖7的探針卡100的局部剖面俯視圖。如圖7～圖8所示，探針卡100更包含接地針160與導(dǎo)電件170。接地針160為黏著物140所固定，接地針160的一端電性連接至對(duì)應(yīng)的接地接點(diǎn)124，另一端延伸穿出黏著物140。導(dǎo)電件170為黏著物140所包覆。此時(shí)，黏著物140為使用絕緣材質(zhì)的絕緣材料所制成，而金屬膜套管117的一端延伸至黏著物140內(nèi)部，且擺設(shè)在以銅箔為例的導(dǎo)電件170上，也就是金屬膜套管117的金屬膜117b的一端仍維持在接觸接地接點(diǎn)124的狀態(tài)，金屬膜117b的另一端則是與銅箔接觸，而內(nèi)部焊墊190具有將探針結(jié)構(gòu)110a及接地針160固定于導(dǎo)電件170之功效。在一些實(shí)施方式中，探針卡100更包含導(dǎo)體150(圖7未示導(dǎo)體150，請(qǐng)參照?qǐng)D8)，且銅箔更通過(guò)導(dǎo)體150電性連接至接地接點(diǎn)124，以形成另一種接地回路，并進(jìn)一步提高探針結(jié)構(gòu)110a的訊號(hào)阻抗匹配效果。在實(shí)務(wù)的應(yīng)用中，導(dǎo)體150為金屬線(xiàn)，為一種具有絕緣漆膜的漆包線(xiàn)結(jié)構(gòu)。

換言之，于接地接點(diǎn)124之間的金屬膜117b、導(dǎo)電件170及接地探針160所連結(jié)將構(gòu)成接地回路，使金屬膜117b、與針體111之間形成阻抗匹配功能，據(jù)以提高針體111的頻寬以提升其電性傳輸能力。當(dāng)然地，導(dǎo)電件170也可以是金屬焊墊或銀膠，銅箔只是方便金屬線(xiàn)(即導(dǎo)體150)與接地針160的擺放而已。

請(qǐng)參照?qǐng)D9～圖10。圖9為繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針卡100的局部剖面俯視圖，主要是揭露探針卡100具有多針層。圖10為繪示沿圖9的線(xiàn)段A-A的剖面圖。如圖9～圖10所示，為達(dá)成上、下位探針結(jié)構(gòu)110a的金屬膜117b能夠電性連接至接地接點(diǎn)124，銅箔(即導(dǎo)電件170)的開(kāi)口170a是對(duì)應(yīng)著下位的探針結(jié)構(gòu)110a(即圖9～圖10中左側(cè)的探針結(jié)構(gòu)110a)，而內(nèi)部焊墊190則是固定及電性連接上、下位探針結(jié)構(gòu)110a的金屬膜117b與接地針160。需說(shuō)明的是，上述擺放方式有助于減縮上、下位探針結(jié)構(gòu)110a之間的距離，使得探針卡100得以應(yīng)用于更精密的電子產(chǎn)品檢測(cè)用。

請(qǐng)參照?qǐng)D11，其繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針結(jié)構(gòu)110b的剖面圖，其中金屬膜套管117的中心、第二絕緣套管115’的中心、第一絕緣套管113’的中心與針體111’的中心彼此重疊。如圖11所示，探針結(jié)構(gòu)110b包含針體111’、第一絕緣套管113’、第二絕緣套管115’與金屬膜套管117。在本實(shí)施方式中，針體111’的直徑D12范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間，并具有相對(duì)的第一端111a以及第二端111b(圖11未示第一端111a與第二端111b，請(qǐng)參照?qǐng)D4～圖9)。第一絕緣套管113’套設(shè)于針體111’外，針體111’的第一端111a以及第二端111b均暴露于第一絕緣套管113’之外。第二絕緣套管115’套設(shè)于第一絕緣套管113’外。金屬膜套管117套設(shè)于第二絕緣套管115’外。第一絕緣套管113’具有壁厚T1，第二絕緣套管115’具有壁厚T2，金屬膜套管117為于絕緣內(nèi)層117a的外表面鍍上金屬膜117b的結(jié)構(gòu)，絕緣內(nèi)層117a具有壁厚T3。

換句話(huà)說(shuō)，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間的針體111’而言，由于第一絕緣套管113’套設(shè)于針體111’外，第二絕緣套管115’套設(shè)于第一絕緣套管113’外，且金屬膜套管117套設(shè)于第二絕緣套管115’外，也就是第一絕緣套管113’與第二絕緣套管115’均位于針體111’與金屬膜套管117之間，并且第一絕緣套管113’與針體111’之間、第一絕緣套管113’與第二絕緣套管115’之間以及第二絕緣套管115’與金屬膜套管117之間，均分別存在著適當(dāng)?shù)木嚯x以供容置空氣，因此，金屬膜套管117與針體111’之間因距離過(guò)大而造成訊號(hào)阻抗不匹配的問(wèn)題得以減輕，使得探針結(jié)構(gòu)110b的架構(gòu)穩(wěn)定度得以增加，而訊號(hào)阻抗匹配效果也得以改善，有助提升探針結(jié)構(gòu)110b的電性效能。

具體而言，當(dāng)金屬膜套管117的中心、第一絕緣套管113’的中心與針體111’的中心相互重疊時(shí)，金屬膜套管117與第一絕緣套管113’之間的距離G12，加上第一絕緣套管113’與針體111’之間的距離G22，大于第一絕緣套管113’的壁厚T1的兩倍。也就是說(shuō)，距離G12、距離G22與壁厚T1的關(guān)系為：

G12+G22>2T1

相似地，金屬膜套管117的內(nèi)徑D22與針體111’的直徑D12具有直徑差DXb(圖11未示直徑差DXb，直徑差DXb實(shí)質(zhì)上為內(nèi)徑D22減去直徑D12的數(shù)值)，當(dāng)金屬膜套管117的中心、第一絕緣套管113’的中心與針體111’的中心相互重疊時(shí)，直徑差DXb等于距離G12、距離G22與壁厚T1總和的兩倍，也就是說(shuō)，直徑差DXb、距離G12、距離G22與壁厚T1的關(guān)系為：

DXb＝2(G12+G22+T1)

如此一來(lái)，可以進(jìn)一步得出以下關(guān)系：

DXb＝2(G12+G22+T1)>2(2T1+T1)

也就是說(shuō)，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間的針體111’而言，直徑差DXb大于第一絕緣套管113’的壁厚T1的六倍，如下：

DXb>6T1

總結(jié)而言，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為50微米至170微米之間的針體111而言，在金屬膜套管117的中心、絕緣套管113的中心與針體111的中心相互重疊的情況下，若直徑差DXa小于或等于絕緣套管113的壁厚T1的六倍，則探針結(jié)構(gòu)110a并不包含第二絕緣套管115’。另外，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間的針體111’而言，在金屬膜套管117的中心、第一絕緣套管113’的中心與針體111’的中心相互重疊的情況下，若直徑差DXb大于第一絕緣套管113’的壁厚T1的六倍，則探針結(jié)構(gòu)110b包含第二絕緣套管115’，以進(jìn)一步減輕金屬膜套管117與針體111’之間因距離過(guò)大而造成訊號(hào)阻抗不匹配的問(wèn)題。

請(qǐng)參照?qǐng)D12，其繪示依照本實(shí)用新型另一實(shí)施方式的探針結(jié)構(gòu)110b’的剖面圖，其中金屬膜套管117的中心、第二絕緣套管115’的中心、第一絕緣套管113’的中心與針體111’的中心彼此偏移。需說(shuō)明的是，此偏移情況較容易或可能發(fā)生于如圖11中的探針結(jié)構(gòu)110b的中間段(因中間段較無(wú)支撐)，或是針體111’在安裝擺放的過(guò)程中不可避免地會(huì)有彎曲情形。舉例而言，如圖12所示，例如相對(duì)于金屬膜套管117，第一絕緣套管113’的中心、第二絕緣套管115’的中心與針體111’的中心均朝圖12的左方偏移，并且第一絕緣套管113’與第二絕緣套管115’及針體111’產(chǎn)生接觸，而第二絕緣套管115’與金屬膜套管117及第一絕緣套管113’產(chǎn)生接觸，當(dāng)然地，如上所述，不論是第一絕緣套管113’、第二絕緣套管115’、金屬膜套管117及針體111’四者之間產(chǎn)生接觸或是四者之間仍是有些距離，均可以得到預(yù)期阻抗匹配的效果。

請(qǐng)繼續(xù)參照?qǐng)D12，由于第一絕緣套管113’、第二絕緣套管115’、金屬膜套管117及針體111’產(chǎn)生接觸，使得第一絕緣套管113’的右側(cè)與金屬膜套管117之間具有距離G12’，而針體111’的右側(cè)與第一絕緣套管113’之間具有距離G22’。如上所述，距離G12’、距離G22’的總和大于第一絕緣套管113’的壁厚T1的兩倍。在此情況下，金屬膜套管117的內(nèi)徑D22’與針體111’的直徑D12’之間的直徑差DXb’(也即實(shí)質(zhì)上為內(nèi)徑D22’減去直徑D12’的數(shù)值)，系相等于距離G12’、距離G22’與壁厚T2及兩倍壁厚T1的總和，也就是：

DXb’＝G12’+G22’+2T1+T2

如此一來(lái)，可以進(jìn)一步得出以下關(guān)系：

DXb’＝G12’+G22’+2T1+T2>2T1+2T1+T2

也就是說(shuō)，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間的針體111’而言，當(dāng)金屬膜套管117的中心、第二絕緣套管115’的中心、第一絕緣套管113’的中心與針體111’的中心彼此偏移時(shí)，直徑差DXb’更進(jìn)一步大于第一絕緣套管113’的壁厚T1的四倍與第二絕緣套管115’的壁厚T2的總和，如下：

DXb’>4T1+T2

也就是說(shuō)，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間的針體111’而言，當(dāng)金屬膜套管117的中心、第二絕緣套管115’的中心、第一絕緣套管113’的中心與針體111’的中心彼此偏移時(shí)，若直徑差DXb’大于第一絕緣套管113’的壁厚T1的四倍與第二絕緣套管115’的壁厚T2的總和，則探針結(jié)構(gòu)110b’包含第二絕緣套管115’。

總結(jié)而言，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間的針體111’而言，當(dāng)金屬膜套管117的中心、第二絕緣套管115’的中心、第一絕緣套管113’的中心與針體111’的中心彼此重疊時(shí)，且直徑差DXb大于第一絕緣套管113’的壁厚T1的六倍，則探針結(jié)構(gòu)110b包含第二絕緣套管115’；在前述限制條件下，若也需要符合金屬膜套管117的中心、第二絕緣套管115’的中心、第一絕緣套管113’的中心與針體111’的中心彼此偏移的限制條件時(shí)，則只要第二絕緣套管115’的壁厚T2小于或等于第一絕緣套管113’的壁厚T1的兩倍，即可以同時(shí)符合直徑差DXb與直徑差DXb’的限制條件，則探針結(jié)構(gòu)110b’仍是會(huì)包含第二絕緣套管115’。反之，倘若第二絕緣套管115’的壁厚T2大于第一絕緣套管113’的壁厚T1的兩倍時(shí)，且也不符合直徑差DXb與直徑差DXb’的限制條件時(shí)，則探針結(jié)構(gòu)110b’不會(huì)包含第二絕緣套管115’。

在實(shí)務(wù)的應(yīng)用中，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間的針體111’而言，第一絕緣套管113’的壁厚T1可至少大于0.02毫米，第二絕緣套管115’的壁厚T2也可至少大于0.02毫米。具體而言，如上所述，金屬膜套管117為于絕緣內(nèi)層117a的外表面鍍上金屬膜117b的結(jié)構(gòu)，而絕緣內(nèi)層117a的壁厚T3可至少大于0.04毫米。因此，在本實(shí)施方式中，當(dāng)?shù)谝唤^緣套管113’與第二絕緣套管115’及針體111’產(chǎn)生接觸，且第二絕緣套管115’與金屬膜套管117及第一絕緣套管113’產(chǎn)生接觸時(shí)，金屬膜117b與針體111’的最短距離，至少大于0.08毫米。

當(dāng)然地，應(yīng)了解到，上述的圖4至圖10中，針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為50微米至170微米之間的針體111所揭露的實(shí)施方式，可視實(shí)際需求而運(yùn)用在針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間的針體111’中，而且應(yīng)可以達(dá)到相似的功效，也就是圖4至圖10中的探針結(jié)構(gòu)110a，除了如上所述可為探針結(jié)構(gòu)110a’外，也可視實(shí)際需求而采用探針結(jié)構(gòu)110b或探針結(jié)構(gòu)110b’，或是探針結(jié)構(gòu)110a與探針結(jié)構(gòu)110a’也可以同時(shí)存在，或是探針結(jié)構(gòu)110b或探針結(jié)構(gòu)110b’也可以同時(shí)存在，容不再贅述，且不應(yīng)用以限制本實(shí)用新型。

綜上所述，本實(shí)用新型的技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)點(diǎn)和有益效果。通過(guò)上述技術(shù)方案，可達(dá)到相當(dāng)?shù)募夹g(shù)進(jìn)步，并具有產(chǎn)業(yè)上的廣泛利用價(jià)值，其至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

1、針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為50微米至170微米之間的針體而言，由于絕緣套管套設(shè)于針體外，而金屬膜套管套設(shè)于絕緣套管外，因此，金屬膜套管與針體之間因距離過(guò)大而造成訊號(hào)阻抗不匹配的問(wèn)題得以減輕，使得探針結(jié)構(gòu)的架構(gòu)穩(wěn)定度得以增加，而訊號(hào)阻抗匹配效果也得以改善，有助提升探針結(jié)構(gòu)的電性效能。

2、針對(duì)直徑范圍實(shí)質(zhì)上為170微米至300微米之間的針體而言，由于有第一絕緣套管與第二絕緣套管位于針體與金屬膜套管之間，因此，金屬膜套管與針體之間因距離過(guò)大而造成訊號(hào)阻抗不匹配的問(wèn)題得以減輕，使得探針結(jié)構(gòu)的架構(gòu)穩(wěn)定度得以增加，而訊號(hào)阻抗匹配效果也得以改善，有助提升探針結(jié)構(gòu)的電性效能。

以上所述說(shuō)明，僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式而已，意在明確本實(shí)用新型的特征，并非用以限定本實(shí)用新型實(shí)施例的保護(hù)范圍，本技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員根據(jù)本實(shí)用新型所作的均等變化，以及本領(lǐng)域普通技術(shù)人員熟知的改變，仍應(yīng)屬本實(shí)用新型涵蓋的范圍。