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堆棧式測(cè)試接口板件的制作方法

文檔序號(hào):12779576閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,包括:

一間距轉(zhuǎn)換板,由一微間距轉(zhuǎn)換板與一寬間距轉(zhuǎn)換板組成,所述微間距轉(zhuǎn)換板的一側(cè)具有數(shù)個(gè)第一接點(diǎn)用于電性連接一半導(dǎo)體半成品或半導(dǎo)體成品,所述寬間距轉(zhuǎn)換板的一側(cè)具有數(shù)個(gè)第二接點(diǎn);以及

一印刷電路板,其一側(cè)電性連接至所述寬間距轉(zhuǎn)換板的所述數(shù)個(gè)第二接點(diǎn);

其中所述微間距轉(zhuǎn)換板與所述寬間距轉(zhuǎn)換板兩者垂直向堆棧組成所述間距轉(zhuǎn)換板,且所述數(shù)個(gè)第一接點(diǎn)的間距小于所述數(shù)個(gè)第二接點(diǎn)的間距,所述微間距轉(zhuǎn)換板的另一側(cè)設(shè)有數(shù)個(gè)第三接點(diǎn),所述數(shù)個(gè)第三接點(diǎn)用于電性連接至所述寬間距轉(zhuǎn)換板的另一側(cè),進(jìn)而分別電性連通所述數(shù)個(gè)第二接點(diǎn)。

2.如權(quán)利要求1所述的堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,每一所述第三接點(diǎn)為一金屬凸塊并以焊錫焊接至所述寬間距轉(zhuǎn)換板的所述另一側(cè)上的焊墊以形成電性連接。

3.如權(quán)利要求1所述的堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,每一所述第二接點(diǎn)為一金屬凸塊并以焊錫焊接至所述印刷電路板的所述側(cè)上的焊墊以形成電性連接。

4.如權(quán)利要求1所述的堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,所述印刷電路板為一探針卡板(Probe card PCB),用于測(cè)試所述半導(dǎo)體半成品且其另一側(cè)用于電性連接一測(cè)試機(jī)臺(tái)。

5.如權(quán)利要求1所述的堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,所述印刷電路板為一測(cè)試載板(Loadboard PCB),用于測(cè)試所述半導(dǎo)體成品且其另一側(cè)用于電性連接一測(cè)試機(jī)臺(tái)。

6.如權(quán)利要求4所述的堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,所述探針卡板與所述間距轉(zhuǎn)換板兩者的邊緣分別形成至少一邊孔以供固定螺絲貫通,進(jìn)而與固定螺帽固定。

7.如權(quán)利要求5所述的堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,所述測(cè)試載板與所述間距轉(zhuǎn)換板兩者的邊緣分別形成至少一邊孔以供固定螺絲貫通,進(jìn)而與固定螺帽固定。

8.如權(quán)利要求2或3所述的堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,每一所述金屬凸塊為銅凸塊。

9.如權(quán)利要求1所述的堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,所述微間距轉(zhuǎn)換板的所述數(shù)個(gè)第一接點(diǎn)是扇入(fan-in)配置,并于其中至少一所述第一接點(diǎn)處設(shè)有通孔或盲孔。

10.如權(quán)利要求1所述的堆棧式測(cè)試接口板件,其特征在于,所述寬間距轉(zhuǎn)換板的所述數(shù)個(gè)第二接點(diǎn)是扇出(fan-out)配置,并于其中至少一所述第二接點(diǎn)處設(shè)有通孔或盲孔。

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