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一種MEMS電場(chǎng)探空儀系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):12116607閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種MEMS電場(chǎng)探空儀系統(tǒng),其特征在于:包括溫度傳感單元、氣壓傳感器、濕度傳感單元、AD采集器、電場(chǎng)傳感器、微處理器以及無(wú)線通信模塊;溫度傳感單元的信號(hào)輸出端以及氣壓傳感器的信號(hào)輸出端分別連接在AD采集器的兩路信號(hào)采集端口上;AD采集器的輸出端以及電場(chǎng)傳感器的輸出端分別連接在微處理器的兩個(gè)輸入端口上;濕度傳感單元的信號(hào)輸出端與微處理器的另一輸入端相連;微處理器的通信端與無(wú)線通信模塊相連;在電場(chǎng)傳感器的外部設(shè)有保溫泡沫層,在保溫泡沫層的外部設(shè)有防靜電外殼。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS電場(chǎng)探空儀系統(tǒng),其特征在于:濕度傳感單元包括電容C1、電容C2、濕敏電容CH、諧振電阻R0以及多路選擇器K1;電容C1、電容C2以及濕敏電容CH的一端分別與多路選擇器K1的三路選擇輸入端相連;電容C1、電容C2以及濕敏電容CH的另一端均與諧振電阻R0的一端相連;諧振電阻R0的另一端分別與多路選擇器K1的輸出端以及微處理器的輸入端相連;微處理器的第一選擇信號(hào)輸出端與多路選擇器K1的控制信號(hào)輸入端相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MEMS電場(chǎng)探空儀系統(tǒng),其特征在于:溫度傳感單元包括熱敏珠狀電阻RT、電阻R2、電阻R1、電阻R3以及多路選擇器K2;電阻R2和電阻R1的一端均接參考電壓;熱敏珠狀電阻RT的一端分別與電阻R2的另一端以及多路選擇器K2的一路選擇輸入端相連;電阻R3的一端分別與電阻R1的另一端以及多路選擇器K2的另一路選擇輸入端相連;熱敏珠狀電阻RT的另一端接地;電阻R3的另一端接地;多路選擇器K2的輸出端連接在AD采集器的一路信號(hào)采集端口上;微處理器的第二選擇信號(hào)輸出端與多路選擇器K2的控制信號(hào)輸入端相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的MEMS電場(chǎng)探空儀系統(tǒng),其特征在于:熱敏珠狀電阻RT的表面設(shè)有真空鍍鋁涂層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MEMS電場(chǎng)探空儀系統(tǒng),其特征在于:電場(chǎng)傳感器諧振式微型電場(chǎng)傳感器。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的MEMS電場(chǎng)探空儀系統(tǒng),其特征在于:氣壓傳感器和AD采集器均設(shè)置于金屬屏蔽盒內(nèi)。

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