本實(shí)用新型涉及真空熱處理技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空熱處理設(shè)備的測(cè)溫系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

目前真空熱處理設(shè)備，比如真空離子滲氮，真空涂層設(shè)備中，溫度的測(cè)量往往是熱電偶伸入真空10cm的空間中，處于靜止?fàn)顟B(tài)。由于工件上加載有偏壓，并且處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)，與熱電偶處于相對(duì)運(yùn)動(dòng)中，所以熱電偶測(cè)得的溫度與工件的實(shí)際溫度偏差較大，從而影響了工藝的穩(wěn)定性及產(chǎn)品品質(zhì)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為了克服現(xiàn)有技術(shù)熱電偶測(cè)得的溫度與工件的實(shí)際溫度偏差較大的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種真空熱處理設(shè)備的測(cè)溫系統(tǒng)。

本實(shí)用新型提供了一種真空熱處理設(shè)備的測(cè)溫系統(tǒng)，將熱電偶測(cè)溫端固定在一個(gè)熱電偶夾具上，熱電偶夾具夾在工件轉(zhuǎn)架上，熱電偶接線端從真空室頂部探出，在真空室頂部裝有旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸處為動(dòng)密封結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，在真空室外面，熱電偶與傳感器之間通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)換信號(hào)，并裝有負(fù)偏壓隔離裝置。負(fù)偏壓隔離裝置與旋轉(zhuǎn)接頭出來(lái)的信號(hào)線相連，這樣可以隔離工件上加載的負(fù)偏壓對(duì)于溫度信號(hào)的影響，從而得到更為真實(shí)可靠的溫度值。

優(yōu)選的，熱電偶夾具上、中、下位置依次設(shè)置一組熱電偶。

有益效果：在真空熱處理設(shè)備中，用獨(dú)特的旋轉(zhuǎn)密封機(jī)構(gòu)以及負(fù)偏壓隔離技術(shù)，使得熱電偶隨工件旋轉(zhuǎn)，并加載負(fù)偏壓，從而能更好地監(jiān)測(cè)并控制工件的溫度。在保證產(chǎn)品質(zhì)量及均勻性的同時(shí)，降低工件被回火的風(fēng)險(xiǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種真空熱處理設(shè)備的測(cè)溫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型解決的技術(shù)問(wèn)題、采用的技術(shù)方案和達(dá)到的技術(shù)效果更加清楚，下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明?？梢岳斫獾氖?，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本實(shí)用新型，而非對(duì)本實(shí)用新型的限定。另外還需要說(shuō)明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與本實(shí)用新型相關(guān)的部分而非全部?jī)?nèi)容。

請(qǐng)參照?qǐng)D1，本實(shí)施例的真空熱處理設(shè)備的測(cè)溫系統(tǒng)，將熱電偶測(cè)溫端固定在一個(gè)熱電偶夾具3上，熱電偶夾具3夾在工件轉(zhuǎn)架2上，熱電偶接線端4從真空室1頂部探出，在真空室1頂部裝有旋轉(zhuǎn)軸5，旋轉(zhuǎn)軸5處為動(dòng)密封結(jié)構(gòu)。

在真空室1外面，熱電偶與傳感器之間通過(guò)旋轉(zhuǎn)接頭轉(zhuǎn)換信號(hào)，并裝有負(fù)偏壓隔離裝置。負(fù)偏壓隔離裝置與旋轉(zhuǎn)接頭出來(lái)的信號(hào)線相連，這樣可以隔離工件上加載的負(fù)偏壓對(duì)于溫度信號(hào)的影響，從而得到更為真實(shí)可靠的溫度值。

熱電偶夾具3上、中、下位置依次設(shè)置一組熱電偶。

在真空室縱向方向上，從上到下裝置了3組熱電偶，能夠準(zhǔn)確的反映真空室縱向溫度變化。熱電偶工作時(shí)，固定熱電偶的夾具隨工件轉(zhuǎn)架一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能得到更為準(zhǔn)確的溫度

在加載負(fù)偏壓轟擊過(guò)程中，測(cè)得的溫度比傳統(tǒng)的測(cè)量方式測(cè)得的溫度高100℃以上。

驗(yàn)證：放入高速鋼樣片，加載負(fù)偏壓持續(xù)轟擊4小時(shí)，傳統(tǒng)測(cè)溫方式測(cè)得的溫度大約為450度左右，而我們測(cè)得的溫度為550℃，樣片最終檢測(cè)洛氏硬度有明顯下降，說(shuō)明爐內(nèi)溫度已經(jīng)超過(guò)了高速鋼的回火溫度(530℃)，從而驗(yàn)證了我們的測(cè)溫方式更為準(zhǔn)確。

在保證產(chǎn)品質(zhì)量及均勻性的同時(shí)，降低工件被回火的風(fēng)險(xiǎn)。

最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上各實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。