1.基于對(duì)稱式變間距光柵倍頻式讀數(shù)系統(tǒng)的微位移測量裝置，包括光源，析光鏡，對(duì)稱式變間距光柵、透鏡，反射鏡，限光狹縫，光電探測器，光源發(fā)出單色平面波經(jīng)析光鏡入射到第一透鏡(3)上，調(diào)整為平行光經(jīng)過光柵(4)，平行光經(jīng)過第二透鏡(5)聚焦在反光鏡(6)上的m點(diǎn)處，經(jīng)反光鏡(6)反射，再經(jīng)第二透鏡(5)，調(diào)整為平行光，入射到光柵(4)上，形成干涉，干涉光經(jīng)第一透鏡(3)、析光鏡(2)和限光狹縫(7)聚焦到光電探測器(8)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于對(duì)稱式變間距光柵倍頻式讀數(shù)系統(tǒng)的微位移測量裝置，其特征在于：對(duì)稱式變間距光柵是與其自身鏡像發(fā)生干涉。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)稱式變間距光柵倍頻式讀數(shù)系統(tǒng)的微位移測量裝置，其特征在于：采用一種新型的對(duì)稱式變間距光柵，光柵以中間刻槽為對(duì)稱線，兩側(cè)按照等差數(shù)列變化，可以得到位移與光柵光強(qiáng)變化周期的對(duì)應(yīng)關(guān)系。