技術(shù)編號(hào):12638569
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種新型結(jié)構(gòu)位移檢測(cè)裝置,尤其涉及一種對(duì)稱式變間距光柵讀數(shù)結(jié)構(gòu)背景技術(shù)目前用光柵檢測(cè),有著結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)便,數(shù)據(jù)處理簡(jiǎn)單的特點(diǎn)。因此,利用光柵進(jìn)行位移檢測(cè)在各個(gè)行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。在微位移領(lǐng)域內(nèi),檢測(cè)的分辨能力對(duì)整個(gè)裝置的性能有著決定性的影響。較為常見(jiàn)的光柵,一般為等間距的,無(wú)法滿足一些特殊情況下對(duì)球差,畸變等要求。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明旨在發(fā)明一種結(jié)構(gòu)較為簡(jiǎn)單,能夠滿足特殊情況的變間距光柵的倍頻式讀數(shù)系統(tǒng)。該系統(tǒng)具有較為簡(jiǎn)便的結(jié)構(gòu)特征,并且分辨率在原有的基礎(chǔ)上實(shí)現(xiàn)加倍。該裝置包括光源(1),析光鏡(...
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