技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種高精度表面形貌測量儀，包括基座、安裝在所述基座上的花崗巖立柱、活動安裝在所述花崗巖立柱上的升降裝置、安裝在升降裝置上的橫向驅(qū)動箱和安裝在所述花崗巖立柱頂部的縱向傳動箱，所述基座上安裝有固定座，所述固定座上安裝有花崗巖立柱，所述花崗巖立柱的兩側(cè)豎直安裝有第一滾珠絲杠和第二滾珠絲杠；所述升降裝置的上底面上鑲嵌安裝有第一距離傳感器，所述升降裝置的下底面上鑲嵌安裝有第二位距離感器，所述縱向傳動箱的底面和固定座的頂面上均安裝有反光機(jī)構(gòu)。本實用新型的一種高精度表面形貌測量儀，采用雙絲杠結(jié)構(gòu)進(jìn)行傳動，采用上下兩個距離傳感器進(jìn)行上下移動間距的測量，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、定位精度和測量精度高。

技術(shù)研發(fā)人員：何紹木;張新華
受保護(hù)的技術(shù)使用者：徐靈娟
文檔號碼：201620294725
技術(shù)研發(fā)日：2016.04.08
技術(shù)公布日：2016.11.16