技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種基于光纖的原子力顯微鏡探頭及原子力顯微鏡系統(tǒng)，基于光纖的原子力顯微鏡探頭包括探針和微懸臂梁，探針位于微懸臂梁的一端，所述微懸臂梁位于光纖的一端，微懸臂梁通過一連接臂與光纖一端面之間形成光纖F?P腔，微懸臂梁用來感應(yīng)探針與樣品之間距離的變化，當(dāng)微懸臂梁發(fā)生形變引起所述光纖F?P腔的腔長發(fā)生變化時，反射光強度被光纖F?P腔所調(diào)制。

技術(shù)研發(fā)人員：曹弘毅;張雷;姜明順;隋青美;曹玉強;張法業(yè)
受保護的技術(shù)使用者：山東大學(xué)
文檔號碼：201611245753
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.29
技術(shù)公布日：2017.03.15