技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種電致發(fā)光缺陷檢測(cè)儀空間分辨力測(cè)試板，所述空間分辨力測(cè)試板上分布有復(fù)數(shù)個(gè)檢測(cè)方塊組，每一所述檢測(cè)方塊組包括復(fù)數(shù)個(gè)具有不同線對(duì)條紋寬度的檢測(cè)方塊，每一所述檢測(cè)方塊由復(fù)數(shù)個(gè)黑白間隔的線對(duì)條紋組成，不同所述檢測(cè)方塊組內(nèi)線對(duì)條紋的方向不同，同一所述檢測(cè)方塊組內(nèi)線對(duì)條紋的方向相同，每一個(gè)線對(duì)條紋內(nèi)黑白條紋的寬度一樣，所述空間分辨力測(cè)試板具有近紅外光可穿透性。本發(fā)明還提供一種電致發(fā)光缺陷檢測(cè)儀空間分辨力測(cè)試方法，可實(shí)現(xiàn)對(duì)電致發(fā)光缺陷檢測(cè)儀的空間分辨力進(jìn)行檢測(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員：林劍春;楊愛軍;李杰;沈熠輝;沈懌珩
受保護(hù)的技術(shù)使用者：福建省計(jì)量科學(xué)研究院
文檔號(hào)碼：201611206147
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.23
技術(shù)公布日：2017.05.31