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用于感測流體介質(zhì)壓力的傳感器的制作方法

文檔序號:12783820閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.用于感測流體介質(zhì)壓力的傳感器(10),所述傳感器包括用于感測流體介質(zhì)壓力的傳感器元件(12)、用于將流體介質(zhì)輸送至所述傳感器元件(12)的輸入通道(24)和用于處理所述傳感器元件(12)的信號的控制和/或分析電路(26),

其特征在于,

所述控制和/或分析電路(26)布置在所述傳感器元件(12)上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器(10),其中,所述控制和/或分析電路(26)直接布置在所述述傳感器元件(12)上。

3.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的傳感器(10),其中,所述控制和/或分析電路(26)如此布置在所述述傳感器元件(12)上,使得所述控制和/或分析電路(26)與所述傳感器元件(12)包圍空腔(28)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的傳感器(10),其中,所述控制和/或分析電路(26)在面向所述傳感器元件(12)的正面(30)上具有凹部(32),其中,所述凹部(32)由所述傳感器元件(12)封閉,以便形成所述空腔(28)。

5.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的傳感器(10),其中,所述控制和/或分析電路(26)布置在所述傳感器元件(12)的背離所述輸入通道(24)的背面(16)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳感器(10),其中,所述傳感器元件(12)和所述控制和/或分析電路(26)沿縱向延伸方向(34)布置,其中,所述控制和/或分析電路(26)的垂直于所述縱向延伸方向(34)的橫截面(36)小于所述傳感器元件(12)的垂直于所述縱向延伸方向(34)的橫截面(38)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的傳感器(10),其中,所述控制和/或分析電路(26)與所述傳感器元件(12)電連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的傳感器(10),其中,在所述傳感器元件(12)的背面(16)上布置有至少一個連接觸點(40),其中,所述控制和/或分析電路(26)與所述連接觸點(40)借助于至少一個鍵合線(42)電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳感器(10),其中,所述連接觸點(40)關(guān)于所述縱向延伸方向(34)而言位于所述控制和/或分析電路(26)旁邊。

10.根據(jù)前述權(quán)利要求中任一項所述的傳感器,其中,所述傳感器元件(12)是硅芯片。

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