1.一種用于原子力顯微鏡的溫控樣品臺，其特征在于，包括臺面板(11)、樣品池(12)和溫控室(13)；臺面板(11)為圓形盤面結(jié)構(gòu)；樣品池(12)設(shè)于臺面板(11)上，內(nèi)固定有測溫探頭(21)；測溫探頭(21)外接有測溫接頭(31)；溫控室(13)設(shè)于臺面板(11)下方，為樣品池(12)正下方的腔體，內(nèi)設(shè)有半導(dǎo)體溫控片(22)和散熱盤管(23)；半導(dǎo)體溫控片(22)位于散熱盤管(23)的上方，并緊貼臺面板(11)；半導(dǎo)體溫控片(22)外接有溫控接頭(32)；散熱盤管(23)外接有進(jìn)水接頭(331)和出水接頭(332)。
2.如權(quán)利要求1所述的用于原子力顯微鏡的溫控樣品臺，其特征在于，樣品池(12)是由臺面板(11)上方圓環(huán)體所圍成的結(jié)構(gòu)；溫控室(13) 是由臺面板(11)下方帶有側(cè)向開口(132)的圓環(huán)體所圍成的結(jié)構(gòu)；圍成溫控室(13)的圓環(huán)體與圍成樣品池(12)的圓環(huán)體直徑相同，并具有相互重合的中心軸。
3.如權(quán)利要求2所述的用于原子力顯微鏡的溫控樣品臺，其特征在于，溫控接頭(32)、進(jìn)水接頭(331)和出水接頭(332)位于溫控室(13)之外；溫控接頭(32)通過穿過側(cè)向開口(132)的控制線連接半導(dǎo)體溫控片(22)；進(jìn)水接頭(331)和出水接頭(332)通過穿過側(cè)向開口(132)的管體連接散熱盤管(23)。
4.如權(quán)利要求2所述的用于原子力顯微鏡的溫控樣品臺，其特征在于，還包括溫控腔蓋(14)；溫控腔蓋(14)用于封閉溫控室(13)的底端；溫控腔蓋(14)和溫控室(13)通過螺紋方式相互固定。
5.如權(quán)利要求2所述的用于原子力顯微鏡的溫控樣品臺，其特征在于，溫控室(13)內(nèi)還設(shè)有軟墊塞(24)；軟墊塞(24)用于填充溫控室(13)，限制散熱盤管(23)在溫控室(13)內(nèi)的移動，使散熱盤管(23)緊貼在半導(dǎo)體溫控片(22)的下方。
6.如權(quán)利要求1所述的用于原子力顯微鏡的溫控樣品臺，其特征在于，臺面板(11)、樣品池(12)和溫控室(13)是由不銹鋼制成的一體化結(jié)構(gòu)。
7.一種用于原子力顯微鏡的溫控系統(tǒng)，其特征在于，包括溫度測控儀(41)、蠕動泵(42)、以及如權(quán)利要求1或2或3或4或5或6所述的用于原子力顯微鏡的溫控樣品臺；所述溫度測控儀(41)通過測溫接頭(31)和溫控接頭(32)分別連接測溫探頭(21)和半導(dǎo)體溫控片(22)；所述蠕動泵(42)通過進(jìn)水接頭(331)和出水接頭(332)連接散熱盤管(23)；所述溫度測控儀(41)通過測溫探頭(21)獲取樣品池(12)內(nèi)的溫度，然后將其與目標(biāo)溫度對比，當(dāng)樣品池(12)內(nèi)的溫度與目標(biāo)溫度不一致時，通過控制半導(dǎo)體溫控片(22)的電流大小和電流方向?qū)悠烦?12)進(jìn)行加熱或制冷，從而將樣品池(12)內(nèi)的溫度調(diào)整至目標(biāo)溫度，或維持目標(biāo)溫度。