技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種多波長(zhǎng)可調(diào)諧顯微干涉的測(cè)量方法及其裝置。多波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器經(jīng)調(diào)控同步或分時(shí)輸出三路波長(zhǎng)可調(diào)諧激光信號(hào)，經(jīng)合束光纖復(fù)合為一路復(fù)合激光信號(hào)，聚焦耦合至勻速旋轉(zhuǎn)的毛玻璃片表面，再經(jīng)準(zhǔn)直擴(kuò)束鏡后成為平行光入射至分束器表面，反射進(jìn)入干涉顯微物鏡后，照射至載物臺(tái)上的被測(cè)元件表面，其反射信號(hào)再依次通過(guò)干涉顯微物鏡和分束器，經(jīng)成像鏡頭耦合至彩色相機(jī)靶面，由計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)輸出信號(hào)的調(diào)控和對(duì)采集數(shù)據(jù)的同步控制。本發(fā)明采用多個(gè)不同波長(zhǎng)的單波長(zhǎng)可調(diào)諧激光器模塊的技術(shù)方案，實(shí)現(xiàn)光學(xué)移相和多波長(zhǎng)干涉檢測(cè)，尤其適用于對(duì)面形變化復(fù)雜、非連續(xù)的微結(jié)構(gòu)元件的快速、精確測(cè)量，可有效抑制因機(jī)械部件掃描移動(dòng)引入的測(cè)量誤差。

技術(shù)研發(fā)人員：馬鎖冬
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州大學(xué)
文檔號(hào)碼：201611105825
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.05
技術(shù)公布日：2017.03.15