技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域和微納系統(tǒng)領(lǐng)域，具體為基于回音壁模式的垂直耦合光柵芯片級多環(huán)波導(dǎo)腔級聯(lián)矢量高靈敏聲傳感器，包括中心環(huán)形波導(dǎo)腔，中心環(huán)形波導(dǎo)腔四周均勻耦合有方位環(huán)形波導(dǎo)腔，中心環(huán)形波導(dǎo)腔上還耦合有納米垂直耦合輸入光柵，每個方位環(huán)形波導(dǎo)腔上還耦合有納米垂直耦合輸出光柵，每個納米垂直耦合輸出光柵都和光電探測器連接，光電探測器和AD采集模塊連接，AD采集模塊和FPGA處理器連接，F(xiàn)PGA處理器再與PC機(jī)連接。本發(fā)明與傳統(tǒng)聲探測系統(tǒng)相比，解決了傳統(tǒng)聲探測系統(tǒng)存在的靈敏度低、信號傳輸損耗大、抗電磁干擾能力差等問題，實(shí)現(xiàn)高靈敏度、長探測距離、能夠在強(qiáng)電磁干擾等極端環(huán)境正常工作的聲信號探測。

技術(shù)研發(fā)人員：閆樹斌;張彥軍;趙學(xué)峰;張志東;崔建功;薛晨陽;張文棟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中北大學(xué)
文檔號碼：201611093334
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.02
技術(shù)公布日：2017.03.22