1.垂直耦合光柵芯片級(jí)多環(huán)波導(dǎo)腔級(jí)聯(lián)矢量高靈敏聲傳感器，其特征在于包括多環(huán)環(huán)形波導(dǎo)腔級(jí)聯(lián)傳感單元和高速采集系統(tǒng)，多環(huán)環(huán)形波導(dǎo)腔級(jí)聯(lián)傳感單元包括刻蝕在SOI片上的中心環(huán)形波導(dǎo)腔（1），中心環(huán)形波導(dǎo)腔（1）四周均勻耦合有方位環(huán)形波導(dǎo)腔（2），中心環(huán)形波導(dǎo)腔（1）上還耦合有納米垂直耦合輸入光柵（3），每個(gè)方位環(huán)形波導(dǎo)腔（2）上還耦合有納米垂直耦合輸出光柵（5），高速采集系統(tǒng)包括光電探測(cè)器、AD采集模塊和FPGA處理器，每個(gè)納米垂直耦合輸出光柵（5）都和光電探測(cè)器連接，光電探測(cè)器和AD采集模塊連接，AD采集模塊和FPGA處理器連接。