技術(shù)編號：12110799
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及光學(xué)領(lǐng)域和微納系統(tǒng)領(lǐng)域，具體為基于回音壁模式的垂直耦合光柵芯片級多環(huán)波導(dǎo)腔級聯(lián)矢量高靈敏聲傳感器。背景技術(shù)隨著MEMS技術(shù)的進步，基于MOEMS技術(shù)的傳感器具備了光學(xué)傳感器和MEMS技術(shù)的特點，具有良好的抗電磁干擾性、環(huán)境適應(yīng)性強、微型化、易集成、低成本、可靠性高等優(yōu)點，適用于高壓變電環(huán)境、生化分析、軍事等應(yīng)用中的形變、振動/聲信號等的探測和識別。光纖傳聲器陣列探測是除雷達、光電外對低空慢速小目標和地面目標探測的新型手段，可以滿足戰(zhàn)場偵察、陣地防護、攻擊預(yù)警等多方面的應(yīng)用需求，具備極高...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。