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具有圖案化微結(jié)構(gòu)陣列的電容式觸覺傳感器的制作方法

文檔序號:12060817閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種具有圖案化微結(jié)構(gòu)陣列的電容式觸覺傳感器。由從上至下依次的指紋狀表面微凸起、上層電容電極基底、上層電容電極、二維正弦微凸起介電層、下層電容電極和下層電容電極基底層疊而成,指紋狀表面微凸起用于接收外部力刺激,上、下層電容電極基底作為結(jié)構(gòu)支撐,上、下層電容電極上的電極極片串聯(lián)方向呈正交布置,并與二維正弦微凸起介電層三者共同構(gòu)成傳感器的電容主體,在指紋狀表面微凸起上表面受到外部力刺激后,通過電容主體感測電容變化并轉(zhuǎn)換獲得受力的大小、方向。本發(fā)明解決了傳感器對于多維力的高靈敏度實時檢測問題,可在對靈敏度要求高的人工假肢、手術(shù)機械手等領(lǐng)域應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員:汪延成;朱凌鋒;梅德慶;童俊偉
受保護的技術(shù)使用者:浙江大學(xué)
文檔號碼:201611047561
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.23
技術(shù)公布日:2017.05.24

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