技術總結
本發(fā)明公開了一種異面電極結構芯片的頻率響應測試裝置，涉及光電子器件領域。本發(fā)明提出的頻率響應測試裝置包括：矢量網(wǎng)絡分析儀、探針、探測器，其中，還包括一個測試平臺，該測試平臺針對異面電極結構芯片，結合了共面波導傳輸線結構，采用金絲實現(xiàn)電極之間的最短連接，不僅極大的提高了測試結構的截止頻率，使得寄生參數(shù)的影響大大減小，同時降低了高頻傳輸損耗，使得高頻傳輸特性更好，能夠得到精確、真實的異面電極結構芯片的頻率響應。

技術研發(fā)人員：劉宇;張一鳴;張志珂;趙澤平;祝寧華
受保護的技術使用者：中國科學院半導體研究所
文檔號碼：201611043995
技術研發(fā)日：2016.11.23
技術公布日：2017.05.31