本發(fā)明關(guān)于一種自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的群組化時(shí)間測(cè)量模塊及其方法，特別是可以一次性地觸發(fā)同一測(cè)試群組中的測(cè)試通道進(jìn)行時(shí)序測(cè)量的群組化時(shí)間測(cè)量模塊及其方法。

背景技術(shù)：

集成電路元件在出廠前必須經(jīng)過(guò)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備(automatictestingequipment，ate)進(jìn)行多種電氣測(cè)試，以確定集成電路元件的使用功能及品質(zhì)。而時(shí)間測(cè)量模塊是自動(dòng)測(cè)試設(shè)備中的一個(gè)測(cè)量項(xiàng)目，主要以多個(gè)時(shí)間測(cè)量單元(timemeasurementinit)來(lái)測(cè)量待測(cè)集成電路元件的信號(hào)頻率、傳輸延遲、建立/保持時(shí)間(setup/holdtime)、上升時(shí)間(risetime)、下降時(shí)間(falltime)及工作周期(dutycycle)，以取得待測(cè)集成電路元件的運(yùn)作時(shí)序、待測(cè)物兩個(gè)事件(event)發(fā)生之間的間隔時(shí)間、計(jì)算事件發(fā)生的個(gè)數(shù)或其他測(cè)試結(jié)果。

然而，現(xiàn)有的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備中，當(dāng)以具有時(shí)間測(cè)量單元的測(cè)試通道(channels)來(lái)對(duì)待測(cè)集成電路元件進(jìn)行時(shí)序測(cè)量時(shí)，每一個(gè)測(cè)試通道的時(shí)間測(cè)量單元都需要被設(shè)定一次檢測(cè)內(nèi)容，且于開(kāi)始進(jìn)行時(shí)序測(cè)量時(shí)，每一個(gè)測(cè)試通道亦必須分別被觸發(fā)以開(kāi)始進(jìn)行測(cè)量，例如自動(dòng)測(cè)試設(shè)備要使4個(gè)測(cè)試通道進(jìn)行時(shí)序測(cè)量時(shí)，總共至少要設(shè)定4次檢測(cè)內(nèi)容及執(zhí)行4次觸發(fā)。如此一來(lái)，現(xiàn)有的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備在設(shè)定和觸發(fā)開(kāi)始測(cè)量上必須耗費(fèi)許多的設(shè)定時(shí)間和執(zhí)行多道觸發(fā)程序。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明在于提供一種自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的群組化時(shí)間測(cè)量模塊及其方法，藉以解決現(xiàn)有的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備耗費(fèi)設(shè)定時(shí)間和觸發(fā)程序繁多的問(wèn)題。

本發(fā)明所揭露的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的群組化時(shí)間測(cè)量模塊，具有多個(gè)測(cè)試群組和控制單元。每一個(gè)測(cè)試群組包含多個(gè)測(cè)試通道，每一個(gè)測(cè)試群組中的每一個(gè)測(cè)試通道具有通道控制單元及時(shí)間測(cè)量單元。通道控制單元電性連接時(shí)間測(cè)量單元。通道控制單元依據(jù)觸發(fā)信號(hào)提供測(cè)試信號(hào)至?xí)r間測(cè)量單元，使時(shí)間測(cè)量單元依據(jù)測(cè)試信號(hào)測(cè)量待測(cè)信號(hào)的時(shí)序。待測(cè)信號(hào)關(guān)聯(lián)于測(cè)試通道電性連接的待測(cè)物?？刂茊卧娦赃B接測(cè)試群組，并依據(jù)選擇信號(hào)，產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)至其中至少一個(gè)測(cè)試群組中的每一個(gè)測(cè)試通道。選擇信號(hào)指定其中一個(gè)測(cè)試群組進(jìn)行時(shí)序測(cè)量。

本發(fā)明所揭露的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的群組化時(shí)間測(cè)量方法，具有依據(jù)選擇信號(hào)，指定多個(gè)測(cè)試群組其中至少一個(gè)進(jìn)行時(shí)序測(cè)量，每一個(gè)測(cè)試群組具有多個(gè)測(cè)試通道，且每一個(gè)測(cè)試通道具有時(shí)間測(cè)量單元。被指定的測(cè)試群組中的每一個(gè)測(cè)試通道接收觸發(fā)信號(hào)。觸發(fā)接收到觸發(fā)信號(hào)的每一個(gè)測(cè)試通道的時(shí)間測(cè)量單元。被觸發(fā)的時(shí)間測(cè)量單元測(cè)量待測(cè)信號(hào)的時(shí)序。待測(cè)信號(hào)關(guān)聯(lián)于測(cè)試通道電性連接的待測(cè)物。

根據(jù)上述本發(fā)明所揭露的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的群組化時(shí)間測(cè)量模塊及其方法，藉由群組化測(cè)試通道的方式，在設(shè)定檢測(cè)內(nèi)容方面，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備可以一次性地設(shè)定多個(gè)測(cè)試通道，在觸發(fā)程序方面，亦可以一次性地觸發(fā)一個(gè)或多個(gè)測(cè)試群組，使測(cè)試群組中的測(cè)試通道被觸發(fā)以進(jìn)行待測(cè)物的時(shí)序測(cè)量，據(jù)以減少自動(dòng)測(cè)試設(shè)備設(shè)定和進(jìn)行觸發(fā)程序的時(shí)間，提升測(cè)量效率。

以上的關(guān)于本揭露內(nèi)容的說(shuō)明及以下的實(shí)施方式的說(shuō)明用以示范與解釋本發(fā)明的精神與原理，并且提供本發(fā)明的專(zhuān)利申請(qǐng)范圍更進(jìn)一步的解釋。

附圖說(shuō)明

圖1是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例所繪示的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的功能方塊圖。

圖2是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例所繪示的測(cè)試通道的功能方塊圖。

圖3是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例所繪示的時(shí)間測(cè)量單元的功能方塊圖。

圖4是根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例所繪示的群組化時(shí)間測(cè)量方法的步驟流程圖。

其中，附圖標(biāo)記：

10自動(dòng)測(cè)試設(shè)備

11控制單元

13通道控制單元

15時(shí)間測(cè)量單元

151同步電路

152參考計(jì)數(shù)器

153測(cè)量電路

17輸入輸出接口

20待測(cè)物

30主機(jī)

ga～gx測(cè)試群組

a1～an、b1～bm、x1～xi測(cè)試通道

rfc參考時(shí)脈

rfr重置信號(hào)

wc工作時(shí)脈

ce致能信號(hào)

sc擷取時(shí)脈

rfs參考計(jì)數(shù)信號(hào)

具體實(shí)施方式

以下在實(shí)施方式中詳細(xì)敘述本發(fā)明的詳細(xì)特征以及優(yōu)點(diǎn)，其內(nèi)容足以使任何熟習(xí)相關(guān)技藝者了解本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，且根據(jù)本說(shuō)明書(shū)所揭露的內(nèi)容、申請(qǐng)專(zhuān)利范圍及圖式，任何熟習(xí)相關(guān)技藝者可輕易地理解本發(fā)明相關(guān)的目的及優(yōu)點(diǎn)。以下的實(shí)施例是進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的觀點(diǎn)，但非以任何觀點(diǎn)限制本發(fā)明的范疇。

請(qǐng)參照?qǐng)D1及圖2，圖1是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例所繪示的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的功能方塊圖，圖2是根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例所繪示的測(cè)試通道的功能方塊圖。如圖1所示，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10具有控制單元11及多個(gè)測(cè)試群組ga～gx，每一個(gè)測(cè)試群組中又分別具有多個(gè)測(cè)試通道，例如測(cè)試群組ga中具有測(cè)試通道a1～an、測(cè)試群組gb中具有測(cè)試通道b1～bm及測(cè)試群組gx中具有測(cè)試通道x1～xi。

于自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10的群組化時(shí)間測(cè)量模塊中，每一個(gè)測(cè)試群組中的每一個(gè)測(cè)試通道具有通道控制單元及時(shí)間測(cè)量單元。為了方便說(shuō)明，以測(cè)試通道a1來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，如圖2所示，測(cè)試通道a1具有通道控制單元13、時(shí)間測(cè)量單元15及輸入輸出接口17。通道控制單元13電性連接控制單元11及時(shí)間測(cè)量單元15，用以依據(jù)控制單元11產(chǎn)生的觸發(fā)信號(hào)，提供測(cè)試信號(hào)至?xí)r間測(cè)量單元15，使時(shí)間測(cè)量單元15依據(jù)測(cè)試信號(hào)來(lái)測(cè)量待測(cè)信號(hào)的時(shí)序。輸入輸出接口17電性連接時(shí)間測(cè)量單元15及待測(cè)物20，用以接收關(guān)聯(lián)于待測(cè)物20的待測(cè)信號(hào)，并將待測(cè)信號(hào)輸出給時(shí)間測(cè)量單元15。待測(cè)信號(hào)例如為自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10輸出至待測(cè)物20以檢測(cè)待測(cè)物20的信號(hào)，亦例如為待測(cè)物20受自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10的檢測(cè)而回復(fù)給自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10的信號(hào)，本實(shí)施例不予限制。

于一個(gè)實(shí)施例中，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10電性連接主機(jī)30，且依據(jù)主機(jī)30所下的選擇信號(hào)，指定多個(gè)測(cè)試群組ga～gx其中至少一個(gè)測(cè)試群組進(jìn)行時(shí)序測(cè)量。也就是說(shuō)，當(dāng)主機(jī)30指定測(cè)試群組ga進(jìn)行時(shí)序測(cè)量時(shí)，控制單元11會(huì)產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)至測(cè)試群組ga中的每一個(gè)測(cè)試通道，使測(cè)試群組ga中的每一個(gè)測(cè)試通道進(jìn)行時(shí)序測(cè)量。以測(cè)試群組ga的測(cè)試通道a1為例來(lái)說(shuō)，當(dāng)控制單元11指定測(cè)試群組ga進(jìn)行時(shí)序測(cè)量時(shí)，測(cè)試通道a1的通道控制單元13會(huì)接收到觸發(fā)信號(hào)，并輸出測(cè)試信號(hào)至?xí)r間測(cè)量單元15，以觸發(fā)時(shí)間測(cè)量單元15通過(guò)輸入輸出接口17來(lái)測(cè)量待測(cè)信號(hào)的時(shí)序。

于本實(shí)施例中，測(cè)試通道未限制以實(shí)體連接的方式包含于測(cè)試群組中，且于不同的測(cè)試程序中，測(cè)試通道會(huì)被配置于不同的測(cè)試群組，例如當(dāng)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10用以測(cè)試待測(cè)物a時(shí)，測(cè)試通道a1被配置于測(cè)試群組ga，當(dāng)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10用以測(cè)試待測(cè)物b時(shí)，測(cè)試通道a1被配置于測(cè)試群組gb。實(shí)際上，測(cè)試通道是依據(jù)預(yù)設(shè)對(duì)待測(cè)物檢測(cè)的內(nèi)容而被配置于測(cè)試群組中，例如預(yù)設(shè)檢測(cè)相同內(nèi)容的測(cè)試通道會(huì)被配置于同一個(gè)測(cè)試群組中，換言之，同一個(gè)測(cè)試群組中的每一個(gè)測(cè)試通道將以相同的設(shè)定對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)量，但不以此為限。于所屬技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識(shí)者亦可以對(duì)每一個(gè)測(cè)試通道設(shè)定不同的檢測(cè)內(nèi)容，本實(shí)施例不予限制。

為了更清楚時(shí)間測(cè)量單元15測(cè)量待測(cè)信號(hào)的方法，茲舉一個(gè)實(shí)施例說(shuō)明。請(qǐng)參照?qǐng)D3，圖3是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例所繪示的時(shí)間測(cè)量單元的功能方塊圖，如圖3所示，時(shí)間測(cè)量單元15具有同步電路151、參考計(jì)數(shù)器152以及測(cè)量電路153，且通道控制單元13提供參考時(shí)脈rfc與重置信號(hào)rfr作為測(cè)試信號(hào)給時(shí)間測(cè)量單元15。

時(shí)間測(cè)量單元15的同步電路151接收通道控制單元13提供的參考時(shí)脈rfc與重置信號(hào)rfr，并依據(jù)參考時(shí)脈rfc與重置信號(hào)rfr其中至少一分別產(chǎn)生工作時(shí)脈wc、致能信號(hào)ce與擷取時(shí)脈sc，其中工作時(shí)脈wc輸出給參考計(jì)數(shù)器152和測(cè)量電路153，致能信號(hào)ce提供給參考計(jì)數(shù)器152，擷取時(shí)脈sc提供給測(cè)量電路153。

參考計(jì)數(shù)器152依據(jù)同步電路151產(chǎn)生的致能信號(hào)ce，對(duì)工作時(shí)脈wc進(jìn)行計(jì)數(shù)，以提供參考計(jì)數(shù)信號(hào)rfs給測(cè)量電路153。測(cè)量電路153依據(jù)工作時(shí)脈wc進(jìn)行運(yùn)作，并依據(jù)同步電路151產(chǎn)生的擷取時(shí)脈sc，通過(guò)輸入輸出接口17來(lái)擷取待測(cè)信號(hào)。測(cè)量電路153以參考計(jì)數(shù)信號(hào)rfs作為時(shí)序的基準(zhǔn)，測(cè)量并記錄待測(cè)信號(hào)的時(shí)序，并將記錄的結(jié)果經(jīng)由控制單元11傳送至主機(jī)30。

于另一個(gè)實(shí)施例中，測(cè)試群組ga～gx的每一個(gè)測(cè)試通道設(shè)定有一個(gè)測(cè)量條件，并當(dāng)每一個(gè)測(cè)試通道的時(shí)間測(cè)量單元測(cè)量待測(cè)信號(hào)的時(shí)序時(shí)，時(shí)間測(cè)量單元依據(jù)測(cè)量條件，判斷并記錄待測(cè)信號(hào)符合測(cè)量條件的時(shí)間點(diǎn)。舉例來(lái)說(shuō)，測(cè)量條件例如為測(cè)量次數(shù)10次及門(mén)檻值設(shè)定為正緣2v。當(dāng)測(cè)量電路153通過(guò)輸入輸出接口17測(cè)量到待測(cè)信號(hào)于正緣觸發(fā)且電壓到達(dá)2v時(shí)，測(cè)量電路153記錄該時(shí)間點(diǎn)，并連續(xù)記錄10次。當(dāng)記錄符合測(cè)量條件的時(shí)間點(diǎn)達(dá)10次時(shí)，測(cè)量電路153通過(guò)通道控制單元13輸出測(cè)量結(jié)果至控制單元11。測(cè)量結(jié)果即為10次待測(cè)信號(hào)符合門(mén)檻值的時(shí)間點(diǎn)。此外，于本實(shí)施例中，測(cè)量條件設(shè)定于每個(gè)測(cè)試通道的通道控制單元13中，于其他實(shí)施例亦可通過(guò)其他合適的方式來(lái)設(shè)定每個(gè)測(cè)試通道的測(cè)量條件，本實(shí)施例不予限制。

于前述的實(shí)施例中，雖然以測(cè)試通道a1為例來(lái)說(shuō)，實(shí)際上于所屬技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識(shí)者可以從前述的揭示中，推得其他測(cè)試通道的運(yùn)作方式。接下來(lái)，將說(shuō)明自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10群組化設(shè)定測(cè)試通道和觸發(fā)測(cè)試通道的方式。為了方便說(shuō)明，請(qǐng)重新參照?qǐng)D1，于圖1中雖然是顯示一個(gè)待測(cè)物20，但實(shí)際上待測(cè)物20可以為一個(gè)或多個(gè)待測(cè)的半導(dǎo)體元件。舉例來(lái)說(shuō)，當(dāng)有10個(gè)待測(cè)的半導(dǎo)體元件時(shí)，每一個(gè)待測(cè)半導(dǎo)體元件的接腳a被設(shè)定檢測(cè)相同的內(nèi)容，則10個(gè)待測(cè)半導(dǎo)體元件的接腳a所電性連接的測(cè)試通道會(huì)被設(shè)定于測(cè)試群組ga中。于另一種實(shí)施方式中，當(dāng)一個(gè)待測(cè)半導(dǎo)體的接腳b～f被設(shè)定檢測(cè)相同的內(nèi)容，且接腳g～k被設(shè)定檢測(cè)另一種內(nèi)容時(shí)，則接腳b～g電性連接的測(cè)試通道會(huì)被設(shè)定于測(cè)試群組gb中，接腳g～k電性連接的測(cè)試通道會(huì)被設(shè)定于另一個(gè)測(cè)試群組gc中。

同理地，于再一種實(shí)施方式中，當(dāng)有10個(gè)待測(cè)的半導(dǎo)體元件時(shí)，每一個(gè)待測(cè)半導(dǎo)體元件的接腳b～f被設(shè)定檢測(cè)相同的內(nèi)容，接腳g～k被設(shè)定檢測(cè)另一種內(nèi)容時(shí)，10個(gè)待測(cè)半導(dǎo)體元件中每一個(gè)半導(dǎo)體元件的接腳b～f電性連接的測(cè)試通道會(huì)被設(shè)定于同一個(gè)測(cè)試群組gb中，而每一個(gè)半導(dǎo)體元件的接腳g～k電性連接的測(cè)試通道會(huì)被設(shè)定于同一個(gè)測(cè)試群組gc中。

于一個(gè)實(shí)施例中，通道對(duì)應(yīng)表記錄每一個(gè)測(cè)試群組所包含的測(cè)試通道。通道對(duì)應(yīng)表可以?xún)?chǔ)存于控制單元11或其他的記憶單元中，當(dāng)控制單元11接收到主機(jī)30用以設(shè)定測(cè)試通道檢測(cè)內(nèi)容的指令時(shí)，控制單元11依據(jù)通道對(duì)應(yīng)表設(shè)定每一個(gè)測(cè)試群組的測(cè)量條件。例如主機(jī)30指示測(cè)試群組ga的測(cè)量條件為正緣2v時(shí)，則控制單元11會(huì)自動(dòng)地設(shè)定測(cè)試群組ga中每一個(gè)測(cè)試通道a1～an的測(cè)量條件為正緣2v。換言之，藉由本實(shí)施例揭示的群組化時(shí)間測(cè)量模塊，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10可以一次性地設(shè)定所有需要被設(shè)定為相同測(cè)量條件的測(cè)試通道，而不用分別地對(duì)每一個(gè)測(cè)試通道進(jìn)行設(shè)定。另一方面，當(dāng)開(kāi)始進(jìn)行時(shí)序測(cè)量時(shí)，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10亦可以一次性地觸發(fā)同一個(gè)測(cè)試群組中的所有測(cè)試通道進(jìn)行時(shí)序測(cè)量。

為了更清楚說(shuō)明群組化時(shí)間測(cè)量模塊的實(shí)施方式，以下以一個(gè)具體實(shí)際的例子來(lái)說(shuō)明。以自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10檢測(cè)三個(gè)待測(cè)晶片的運(yùn)作時(shí)間為例來(lái)說(shuō)，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10通過(guò)測(cè)試通道a1提供測(cè)量信號(hào)至第一待測(cè)晶片的接腳pin1_1，通過(guò)測(cè)試通道a2提供測(cè)量信號(hào)至第二待測(cè)晶片的接腳pin2_1和通過(guò)測(cè)試通道a3提供測(cè)量信號(hào)至第三待測(cè)晶片的接腳pin3_1。并且，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10通過(guò)測(cè)試通道b1來(lái)測(cè)試第一待測(cè)晶片從接腳pin1_2輸出至自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10的反饋信號(hào)，通過(guò)測(cè)試通道b2來(lái)測(cè)試第二待測(cè)晶片從接腳pin2_2輸出至自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10的反饋信號(hào)，通過(guò)測(cè)試通道b3來(lái)測(cè)試第三待測(cè)晶片從接腳pin3_2輸出至自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10的反饋信號(hào)。

當(dāng)主機(jī)30指示自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10設(shè)定測(cè)試通道a1～a3的測(cè)量條件為正緣觸發(fā)2v的時(shí)間點(diǎn)10次，并指示自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10設(shè)定測(cè)試通道b1～b3的測(cè)量條件為負(fù)緣觸發(fā)2v的時(shí)間點(diǎn)10次，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10就會(huì)將測(cè)試通道a1～a3包含于測(cè)試群組ga中，測(cè)試通道b1～b3包含測(cè)試群組gb中，并通過(guò)控制單元11設(shè)定測(cè)試群組ga的測(cè)量條件為正緣觸發(fā)2v的時(shí)間點(diǎn)10次，并設(shè)定測(cè)試群組gb的測(cè)量條件為負(fù)緣觸發(fā)2v的時(shí)間點(diǎn)10次。

接著，主機(jī)30指定測(cè)試群組ga和測(cè)試群組gb進(jìn)行時(shí)序測(cè)量。自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10依據(jù)主機(jī)30下的指示，使控制單元11產(chǎn)生觸發(fā)信號(hào)至測(cè)試群組ga中的測(cè)試通道a1～a3和測(cè)試群組gb中的測(cè)試通道b1～b3。測(cè)試通道a1～a3的時(shí)間測(cè)量單元被觸發(fā)，對(duì)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10提供至第一待測(cè)晶片、第二待測(cè)晶片和第二待測(cè)晶片的測(cè)量信號(hào)進(jìn)行時(shí)序測(cè)量。測(cè)試通道b1～b3中的時(shí)間測(cè)量單元亦被觸發(fā)，對(duì)第一待測(cè)晶片、第二待測(cè)晶片和第二待測(cè)晶片輸出至自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10的反饋信號(hào)進(jìn)行時(shí)序測(cè)量。

當(dāng)測(cè)試通道a1～a3和測(cè)試通道b1～b3測(cè)量結(jié)束后，每一個(gè)測(cè)試通道可以分別將測(cè)量結(jié)果輸出至控制單元11，抑或是每一個(gè)測(cè)試群組中的測(cè)試通道都測(cè)量結(jié)束后，再將測(cè)試群組的測(cè)量結(jié)果輸出至控制單元11，本實(shí)施例不予限制。當(dāng)測(cè)試通道a1～a3和測(cè)試通道b1～b3將測(cè)量的結(jié)果輸出至控制單元11后，控制單元11比對(duì)測(cè)試通道a1和測(cè)試通道b1的測(cè)量結(jié)果，判斷第一待測(cè)晶片的運(yùn)作時(shí)間，比對(duì)測(cè)試通道a2和測(cè)試通道b2的測(cè)量結(jié)果，判斷第二待測(cè)晶片的運(yùn)作時(shí)間，比對(duì)測(cè)試通道a3和測(cè)試通道b3的測(cè)量結(jié)果，判斷第三待測(cè)晶片的運(yùn)作時(shí)間。換言之，控制單元11比對(duì)兩個(gè)不同測(cè)試群組中，用以測(cè)量同一個(gè)待測(cè)晶片的待測(cè)通道的測(cè)量結(jié)果，判斷待測(cè)晶片的測(cè)試結(jié)果。于一個(gè)實(shí)施例中，控制單元11亦可以預(yù)設(shè)一個(gè)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)，并依據(jù)測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)判斷待測(cè)晶片的測(cè)試結(jié)果是否符合標(biāo)準(zhǔn)。

于本實(shí)施例中，當(dāng)主機(jī)30指定測(cè)試群組ga和測(cè)試群組gb進(jìn)行時(shí)序測(cè)量時(shí)，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10將測(cè)試群組ga和測(cè)試群組gb視作為另一測(cè)試群組，而對(duì)測(cè)試群組ga和測(cè)試群組gb一次性地觸發(fā)。于其他實(shí)施例中，主機(jī)30亦可以分別下指令來(lái)觸發(fā)測(cè)試群組ga和測(cè)試群組gb進(jìn)行時(shí)序測(cè)量，本實(shí)施例不予限制。當(dāng)自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10將測(cè)試群組ga和測(cè)試群組gb視作為一個(gè)測(cè)試群組來(lái)觸發(fā)時(shí)，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10則可以更有效率地控制測(cè)試群組ga和測(cè)試群組gb來(lái)進(jìn)行時(shí)序測(cè)量。

自動(dòng)測(cè)試設(shè)備10群組化測(cè)試通道的方式例如以軟件或固件設(shè)定、實(shí)體電路連接、開(kāi)關(guān)切換或其他合適的實(shí)現(xiàn)方式，本實(shí)施例不予限制。此外，前述所舉的實(shí)施例僅為方便說(shuō)明之用，并非用以限制本發(fā)明。

接下來(lái)說(shuō)明本實(shí)施例群組化時(shí)間測(cè)量方法，為了方便說(shuō)明請(qǐng)一并參照?qǐng)D1與圖4，圖4是根據(jù)本發(fā)明再一實(shí)施例所繪示的群組化時(shí)間測(cè)量方法的步驟流程圖。如圖所示，于步驟s401中，控制單元11依據(jù)選擇信號(hào)，指定多個(gè)測(cè)試群組ga～gx中，至少一個(gè)測(cè)試群組進(jìn)行時(shí)序測(cè)量。于步驟s403中，被指定的測(cè)試群組中的每一個(gè)測(cè)試通道接收觸發(fā)信號(hào)。于步驟s405中，觸發(fā)接收到觸發(fā)信號(hào)的每一個(gè)測(cè)試通道的時(shí)間測(cè)量單元。于步驟s407中，被觸發(fā)的時(shí)間測(cè)量單元測(cè)量待測(cè)信號(hào)的時(shí)序。本實(shí)施例所述的群組化時(shí)間測(cè)量方法實(shí)際上均已經(jīng)揭露在前述記載的實(shí)施例中，本實(shí)施例在此不重復(fù)說(shuō)明

綜合以上所述，根據(jù)上述實(shí)施例所揭露的自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的群組化時(shí)間測(cè)量模塊及其方法，自動(dòng)測(cè)試設(shè)備可以藉由群組化測(cè)試通道的方式，一次性地對(duì)多個(gè)測(cè)試通道設(shè)定，抑或是選擇一個(gè)或多個(gè)測(cè)試群組，以一次性地觸發(fā)測(cè)試群組中的每一個(gè)測(cè)試通道開(kāi)始進(jìn)行待測(cè)物的時(shí)序測(cè)量，據(jù)以減少自動(dòng)測(cè)試設(shè)備設(shè)定和進(jìn)行觸發(fā)程序的時(shí)間，進(jìn)而提升自動(dòng)測(cè)試設(shè)備的測(cè)量效率。

當(dāng)然，本發(fā)明還可有其它多種實(shí)施例，在不背離本發(fā)明精神及其實(shí)質(zhì)的情況下，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員當(dāng)可根據(jù)本發(fā)明做出各種相應(yīng)的改變和變形，但這些相應(yīng)的改變和變形都應(yīng)屬于本發(fā)明所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。