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微型高分辨率光譜儀的制作方法

文檔序號:12746283閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種微型高分辨率光譜儀,所述光譜儀包括:狹縫、準(zhǔn)直透鏡、棱鏡、會聚透鏡、線陣或面陣CCD傳感器、反射鏡組和法珀腔,其中:所述反射鏡組使用兩面反射鏡,與法珀腔構(gòu)成一循環(huán)光路系統(tǒng),兩面反射鏡將法珀腔反射回來的光再次收集,使之重新反射至法珀腔,如此循環(huán)利用,實(shí)現(xiàn)更高的能量利用率。本發(fā)明利用法珀腔獲得分辨率極高的光譜,通過設(shè)計(jì)循環(huán)光路系統(tǒng),產(chǎn)生一系列不同入射角的光,經(jīng)過法珀腔和會聚鏡聚焦后,在探測面上產(chǎn)生一系列不同波長的分立的光譜輸出,實(shí)現(xiàn)多波長通道的光譜測量。本發(fā)明不需要掃描,簡化了機(jī)構(gòu),縮小了體積,提高了光譜測量系統(tǒng)的穩(wěn)定性,又提高了測量速度。

技術(shù)研發(fā)人員:黃梅珍;汪洋;王柯卉;陳婕;陳曉帆
受保護(hù)的技術(shù)使用者:上海交通大學(xué)
文檔號碼:201610757246
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.29
技術(shù)公布日:2017.01.25

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