技術總結
本發(fā)明屬于掃描檢測技術領域，公開了一種多光源掃描檢測方法，樣品臺表面呈圓形分布；光源為兩個，所述兩個光源成線性排列，且與所述樣品臺的半徑重合；所述樣品臺圍繞其圓心以恒定角速度轉動；所述樣品臺以所述恒定角速度轉動的同時，所述樣品臺沿所述光源的排列方向以恒定線速度平移。本發(fā)明提高了掃描效率和穩(wěn)定性，提高了定位精度。

技術研發(fā)人員：陳魯;劉虹遙;張朝前;楊樂;馬硯忠;路鑫超
受保護的技術使用者：中國科學院嘉興微電子儀器與設備工程中心
文檔號碼：201610688833
技術研發(fā)日：2016.08.18
技術公布日：2016.12.21