本發(fā)明涉及掃描檢測
技術領域：
，尤其涉及一種多光源掃描檢測方法。
背景技術：
：掃描檢測是光學檢測中最常見的檢測方式，它是指在同一時刻僅對被測樣品上某一點進行檢測，并通過不同時刻對不同位置的檢測實現(xiàn)整片樣品的檢測，其中不同時刻掃描點的改變主要通過對樣品移動以及照明位置移動兩種方式實現(xiàn)。掃描檢測方式中，檢測速度不僅取決于單個點的測試速度，掃描軌跡、移動速度等因素成為檢測速度的重要影響因素。提高檢測速度主要從以下二方面實現(xiàn)：一、提高樣品/照明點的移動速度；二、優(yōu)化掃描軌跡。這二類方式中，加快移動速度是最直接的方式，然而過快的移動速度會減小單個點的測量時間，可能影響檢測精度，而且移動速度也受機械控制件限制，無法無限制提高。掃描軌跡優(yōu)化是指合理選擇掃描點位置變化的路徑，保證快速掃描完樣品表面所有點。為了保證定位精度，掃描軌跡優(yōu)化還需要考慮樣品/照明點改變移動方向及速度達到穩(wěn)定所需時間，在此基礎上進行優(yōu)化?，F(xiàn)有技術在同一時刻僅對被測樣品上某一點進行檢測，快速掃描存在變向的加速、減速過程，導致設計移動速度與實際移動速度之間存在誤差，且存在重復掃描的問題。技術實現(xiàn)要素：本申請解決的技術問題是提供一種多光源掃描檢測方法，提高掃描效率和穩(wěn)定性，提高定位精度。本申請實施例提供一種多光源掃描檢測方法，樣品臺表面呈圓形分布；光源為兩個，所述兩個光源成線性排列，且與所述樣品臺的半徑重合；所述樣品臺圍繞其圓心以恒定角速度轉動；所述樣品臺以所述恒定角速度轉動的同時，所述樣品臺沿所述光源的排列方向以恒定線速度平移。優(yōu)選的，所述樣品臺的半徑為R；所述光源為n個點光源，所述n個點光源沿著所述樣品臺的一條半徑以等距離R/n成直線排列，n為大于2的整數(shù)。優(yōu)選的，所述n個點光源中最下方的光源位于所述樣品臺的最下方邊緣處。優(yōu)選的，當所述樣品臺的旋轉速度達到穩(wěn)定時記為0時刻，開始掃描檢測；檢測中使所述樣品臺一邊旋轉一邊沿所述光源的排列方向以恒定線速度平移，直至所述樣品臺的最上方邊緣處移動至最上方的光源位置處。優(yōu)選的，第i個光源點的極坐標掃描軌跡滿足公式θi=ω·tri=iR/n+v·t]]>其中，i＝1,2，…，n，n為光源個數(shù)，ω為樣品臺圍繞其圓心轉動的角速度，t為掃描時間，v為樣品臺沿光源的排列方向平移的線速度。優(yōu)選的，利用真空將樣品吸附至所述樣品臺表面。優(yōu)選的，所述光源的照明位置固定。本申請實施例中提供的一個或多個技術方案，至少具有如下技術效果或優(yōu)點：在本申請實施例中，采用樣品臺勻速旋轉和單方向勻速平移的方式實現(xiàn)移動，避免樣品臺在加減速過程中消耗時間，避免掃描過程中由于樣品臺速度變化不穩(wěn)定造成的定位誤差，能有效提高掃描速度及定位精度。此外，兩個光源位置的設計與樣品臺的移動方式相結合，實現(xiàn)互不干擾環(huán)形阿基米德螺旋線式掃描軌跡，避免了不同掃描點的掃描區(qū)域出現(xiàn)重合的問題，且避免了同一點重復掃描的問題，提高了掃描效率。進一步的，在本申請實施例中，采用多光源掃描，有效提高了掃描速度。進一步的，在本申請實施例中，光源固定的方式避免了照明光路運動引起的光束變化，具有更好地穩(wěn)定性。附圖說明為了更清楚地說明本實施例中的技術方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一個實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1為本發(fā)明實施例提供的一種多光源掃描檢測方法的示意圖。具體實施方式本申請實施例通過提供一種多光源掃描檢測方法，提高掃描效率和穩(wěn)定性，提高定位精度。本申請實施例的技術方案為解決上述技術問題，總體思路如下：一種多光源掃描檢測方法，樣品臺表面呈圓形分布；光源為兩個，所述兩個光源成線性排列，且與所述樣品臺的半徑重合；所述樣品臺圍繞其圓心以恒定角速度轉動；所述樣品臺以所述恒定角速度轉動的同時，所述樣品臺沿所述光源的排列方向以恒定線速度平移。為了更好的理解上述技術方案，下面將結合說明書附圖以及具體的實施方式對上述技術方案進行詳細的說明。實施例1：本實施例提供了一種多光源掃描檢測方法，樣品臺表面呈圓形分布。光源為兩個，所述兩個光源成線性排列，且與所述樣品臺的半徑重合。所述樣品臺圍繞其圓心以恒定角速度轉動。所述樣品臺以所述恒定角速度轉動的同時，所述樣品臺沿所述光源的排列方向以恒定線速度平移。在本申請實施例中，采用樣品臺勻速旋轉和單方向勻速平移的方式實現(xiàn)移動，避免樣品臺在加減速過程中消耗時間，避免掃描過程中由于樣品臺速度變化不穩(wěn)定造成的定位誤差，能有效提高掃描速度及定位精度。此外，兩個光源位置的設計與樣品臺的移動方式相結合，實現(xiàn)互不干擾環(huán)形阿基米德螺旋線式掃描軌跡，避免了不同掃描點的掃描區(qū)域出現(xiàn)重合的問題，且避免了同一點重復掃描的問題，提高了掃描效率。實施例2：如圖1所示，本實施例提供了一種多光源掃描檢測方法，利用真空將樣品吸附至所述樣品臺表面。樣品臺表面呈圓形分布，所述樣品臺的半徑為R。光源為n個點光源，所述n個點光源沿著所述樣品臺的一條半徑以等距離R/n成直線排列，n為大于2的整數(shù)，所述光源的照明位置固定。其中，所述n個點光源中最下方的光源位于所述樣品臺的最下方邊緣處。所述樣品臺圍繞其圓心以恒定角速度轉動。所述樣品臺以所述恒定角速度轉動的同時，所述樣品臺沿所述光源的排列方向以恒定線速度平移。當所述樣品臺的旋轉速度達到穩(wěn)定時記為0時刻，開始掃描檢測；檢測中使所述樣品臺一邊旋轉一邊沿所述光源的排列方向以恒定線速度平移，直至所述樣品臺的最上方邊緣處移動至最上方的光源位置處。整個過程中，所有光源在樣品表面共同形成了一條阿基米德螺旋線的掃描軌跡，每個光源點掃描區(qū)域對應一個圓環(huán)區(qū)域。取初始時刻里樣品臺中心最近的光源點為掃描點1，其下方最近的光源點為掃描點2，并以此類推。則第i個光源點的極坐標掃描軌跡滿足公式θi=ω·tri=iR/n+v·t]]>其中，i＝1,2，…，n，n為光源個數(shù)，ω為樣品臺圍繞其圓心轉動的角速度，t為掃描時間，v為樣品臺沿光源的排列方向平移的線速度。樣品整片掃描所需時間為在本申請實施例中，采用樣品臺勻速旋轉和單方向勻速平移的方式實現(xiàn)移動，避免樣品臺在加減速過程中消耗時間，避免掃描過程中由于樣品臺速度變化不穩(wěn)定造成的定位誤差，能有效提高掃描速度及定位精度。此外，多個光源位置的設計與樣品臺的移動方式相結合，實現(xiàn)互不干擾環(huán)形阿基米德螺旋線式掃描軌跡，避免了不同掃描點的掃描區(qū)域出現(xiàn)重合的問題，且避免了同一點重復掃描的問題，提高了掃描效率。光源固定的方式避免了照明光路運動引起的光束變化，具有更好地穩(wěn)定性。本發(fā)明實施例提供的一種多光源掃描檢測方法至少包括如下技術效果：1、在本申請實施例中，采用樣品臺勻速旋轉和單方向勻速平移的方式實現(xiàn)移動，避免樣品臺在加減速過程中消耗時間，避免掃描過程中由于樣品臺速度變化不穩(wěn)定造成的定位誤差，能有效提高掃描速度及定位精度。此外，兩個光源位置的設計與樣品臺的移動方式相結合，實現(xiàn)互不干擾環(huán)形阿基米德螺旋線式掃描軌跡，避免了不同掃描點的掃描區(qū)域出現(xiàn)重合的問題，且避免了同一點重復掃描的問題，提高了掃描效率。2、在本申請實施例中，采用多光源掃描，有效提高了掃描速度。3、在本申請實施例中，光源固定的方式避免了照明光路運動引起的光束變化，具有更好地穩(wěn)定性。最后所應說明的是，以上具體實施方式僅用以說明本發(fā)明的技術方案而非限制，盡管參照實例對本發(fā)明進行了詳細說明，本領域的普通技術人員應當理解，可以對本發(fā)明的技術方案進行修改或者等同替換，而不脫離本發(fā)明技術方案的精神和范圍，其均應涵蓋在本發(fā)明的權利要求范圍當中。當前第1頁1 2 3