技術(shù)編號：12464898
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及掃描檢測技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多光源掃描檢測方法。背景技術(shù)掃描檢測是光學(xué)檢測中最常見的檢測方式，它是指在同一時刻僅對被測樣品上某一點進(jìn)行檢測，并通過不同時刻對不同位置的檢測實現(xiàn)整片樣品的檢測，其中不同時刻掃描點的改變主要通過對樣品移動以及照明位置移動兩種方式實現(xiàn)。掃描檢測方式中，檢測速度不僅取決于單個點的測試速度，掃描軌跡、移動速度等因素成為檢測速度的重要影響因素。提高檢測速度主要從以下二方面實現(xiàn)：一、提高樣品/照明點的移動速度；二、優(yōu)化掃描軌跡。這二類方式中，加快移動速度是最直接的方...
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